热处理装置及热处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102637618A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102637618A(43)申请公布日2012.08.15(21)申请号201210030625.3(22)申请日2012.02.10(30)优先权数据2011-0276642011.02.10JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人似鸟弘弥(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇张会华(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)F26B21/00(2006.01)F26B21/02(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书1313页页附图附图1818页(54)发明名称热处理装置及热处理方法(57)摘要本发明提供热处理装置及热处理方法。在从前表面朝向与该前表面相对的后表面的气流形成用的排气口地形成有横向的气流的加载区域内，在处于热处理炉的下方侧的卸载位置的晶圆舟皿与上述排气口之间设有排气风道，该排气风道形成有用于对由于卸载而被加热成高温的气氛气体进行排气的热排气用的排气口。CN1026378ACN102637618A权利要求书1/2页1.一种热处理装置，其是将分层保持有多张基板的基板保持器从立式的热处理炉的下方侧送入到该立式的热处理炉内并对基板进行热处理的装置，其中，该热处理装置包括：加载室，其位于上述热处理炉的下方侧；保持器升降机构，其设在上述加载室内，用于使基板保持器在上述热处理炉内的加载位置与上述热处理炉的下方的卸载位置之间升降；气流形成机构，其用于从上述加载室的前表面朝向与该前表面相对的后表面的第1排气口地形成横向的气流；保持器输送机构，其能够将上述基板保持器输送到上述卸载位置；热排气部，在从左右方向观察处于上述卸载位置的上述基板保持器时，该热排气部位于比该基板保持器的前端靠后方侧且比上述第1排气口靠前方侧的位置、并且形成有第2排气口，该第2排气口至少与上述基板保持器的上部区域相对而用于对由卸载后的上述基板保持器及上述基板加热成高温的气氛气体进行排气。2.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，上述保持器输送机构设在比上述卸载位置靠前方侧的位置，该热处理装置还包括冷却气体供给部，该冷却气体供给部设在比上述卸载位置靠前方侧且比上述保持器输送机构靠后方侧的位置，该冷却气体供给部具有用于朝向处于上述卸载位置的上述基板保持器供给冷却气体的供给口。3.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，上述热排气部包括沿着上下方向延伸的筒状构件，该筒状构件形成有上述第2排气口。4.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，上述冷却气体供给部是沿着上下方向延伸的、并且沿着其长度方向形成有上述供给口的冷却气体喷嘴。5.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，上述热排气部包括第1热排气部和第2热排气部，在从处于上述卸载位置的上述基板保持器观察时，该第1热排气部设在右侧，该第2热排气部设在左侧。6.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，上述冷却气体供给部包括第1冷却气体供给部和第2冷却气体供给部，在从处于上述卸载位置的上述基板保持器观察时，该第1冷却气体供给部设在左侧，该第2冷却气体供给部设在右侧。7.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，上述第2排气口以沿着从处于上述卸载位置的上述基板保持器的上部朝向下方的方向地开口面积渐渐地变小的方式形成。8.一种热处理方法，其是将分层保持有多张基板的基板保持器从立式的热处理炉的下方侧送入到该立式的热处理炉内并对基板进行热处理的方法，其中，该热处理方法包括以下工序：在位于上述热处理炉的下方侧的加载室内从上述加载室的前表面朝向与该前表面相对的后表面的第1排气口地形成横向的气流；2CN102637618A权利要求书2/2页利用保持器输送机构将上述基板保持器输送到上述加载室内的卸载位置；利用保持器升降机构使上述基板保持器从上述卸载位置升降到热处理炉内的加载位置；利用热排气部对由卸载后的上述基板保持器及上述基板加热成高温的气氛气体进行排气，在从左右方向观察处于上述卸载位置的上述基板保持器时，该热排气部位于比该基板保持器的前端靠后方侧且比上述第1排气口靠前方侧的位置、并且至少与上述基板保持器的上部区域相对地形成有第2排气口。9.根据权利要求8所述的热处理方法，其中，上述保持器输送机构设在比上述卸载位置靠前方侧的位置，该热处理方法还包括以下工序：利用设在比上述卸载位置靠前方侧且比上述保持器输送机构靠后方侧的位置的冷却气体供给部向处于上述卸载位置的上述基板保持器供给冷却气体。10.根据权利要求8所述的热处理方法，其中，对由上述卸载后的上述基板保持器及上述基板加热成高温的气氛气体进行排气的工序是利用在沿着上下方向延伸的筒状构件上形成有上