晶体硅太阳能电池的硼扩散方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102766908A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102766908A(43)申请公布日2012.11.07(21)申请号201210259115.3(22)申请日2012.07.25(71)申请人苏州阿特斯阳光电力科技有限公司地址215129江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号申请人阿特斯（中国）投资有限公司(72)发明人殷涵玉王栩生章灵军(74)专利代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司32103代理人陶海锋陆金星(51)Int.Cl.C30B31/06(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书44页页附图附图11页(54)发明名称晶体硅太阳能电池的硼扩散方法(57)摘要本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，包括如下步骤：(1)将制绒清洗后的硅片放入扩散炉管内，升温至900~1100℃，通氮气以及较大流量的硼源、氧气进行硼扩散，扩散时间为5~60min；(2)保持步骤(1)中的温度通入氮气以及较低流量的硼源、氧气进行硼扩散，扩散时间为15~80min；(3)保持步骤(1)中的温度或升温至910~1100℃，通入氮气、以及较大流量的硼源、氧气进行硼扩散，扩散时间为2~30min；(4)完成扩散过程。本发明的硼扩散方法在硅片表层较浅的深度范围内形成较高的杂质浓度，以利于形成良好的欧姆接触；降低了扩散层较深范围内的杂质浓度，减少了俄歇复合和由于诱生缺陷产生的复合，提高少子寿命，从而提高电池性能。CN1027698ACN102766908A权利要求书1/1页1.一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将制绒清洗后的硅片放入扩散炉管内，升温至900~1000℃，通硼源、氧气和氮气进行硼扩散，扩散时间为5~60min；所述硼源为BBr3，其流量为100~1000mL/min；氧气流量为100~800mL/min；氮气流量为6~18L/min；(2)保持步骤(1)中的温度进行硼扩散，扩散时间为15~80min，BBr3流量为0~300mL/min；氧气流量为0~200mL/min；氮气流量为5~15L/min；(3)保持步骤(2)中的温度或升温至910~1100℃进行硼扩散，扩散时间为2~30min；BBr3流量为200~2000mL/min；氧气流量为150~2000mL/min；氮气流量为6~20L/min；(4)降温，出舟，完成扩散过程。2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于：所述步骤(3)的升温过程中通入BBr3、氧气和氮气，BBr3流量为0~2000mL/min；氧气流量为0~2000mL/min；氮气流量为5~15L/min；升温速率为5~10℃/min；升温至910~1100℃后再进行所述硼扩散。3.一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将制绒清洗后的硅片放入扩散炉管内，升温至900~1000℃，通硼源、氧气和氮气进行硼扩散，扩散时间为5~60min；所述硼源为BBr3，其流量为100~1000mL/min；氧气流量为100~800mL/min；氮气流量为6~18L/min；(2)升温至910~1100℃进行硼扩散，扩散时间为15~80min，BBr3流量为0~300mL/min；氧气流量为0~200mL/min；氮气流量为5~15L/min；(3)保持步骤(2)中的温度进行硼扩散，扩散时间为2~30min；BBr3流量为200~2000mL/min；氧气流量为150~2000mL/min；氮气流量为6~20L/min；(4)降温，出舟，完成扩散过程。4.根据权利要求3所述的晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，其特征在于：所述步骤(2)的升温过程中通入BBr3、氧气和氮气，BBr3流量为0~300mL/min；氧气流量为0~200mL/min；氮气流量为5~15L/min；升温速率为5~10℃/min；升温至910~1100℃后再进行所述硼扩散。2CN102766908A说明书1/4页晶体硅太阳能电池的硼扩散方法技术领域[0001]本发明涉及一种晶体硅太阳能电池的硼扩散方法，属于晶体硅太阳能电池制造领域。背景技术[0002]常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳能电池中，硅太阳能电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时硅太阳能电池相比其他类型的太阳能电池，有着优异的电学性能和机械性能，硅太阳能电池在光伏领域占据着重要的地位。因此，研发高性价比的硅太阳能电池已经成为各国光伏企业的主要研究方向之一。[0003]在