一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102899715A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102899715A(43)申请公布日2013.01.30(21)申请号201210333759.2(22)申请日2012.09.10(71)申请人北京京运通科技股份有限公司地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路158号(72)发明人袁静李岩王军张继宏(74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司11274代理人申健(51)Int.Cl.C30B13/00(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图11页(54)发明名称一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉(57)摘要本发明实施例公开了一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉，涉及半导体材料制备技术领域，用来解决现有锁紧机构开启锁紧费时费力、自动化程度差的问题。所述区熔炉门板锁紧机构，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜面配合的压紧块，所述压紧块固定连接有推杆，所述推杆连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述推杆往复运动以锁紧或开启所述门板。CN1028975ACN102899715A权利要求书1/1页1.一种区熔炉门板锁紧机构，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，其特征在于，所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜面配合的压紧块，所述压紧块固定连接有推杆，所述推杆连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述推杆往复运动以锁紧或打开所述门板。2.根据权利要求1所述的区熔炉门板锁紧机构，其特征在于，所述斜面与所述门板所在的平面的夹角为10-25度。3.根据权利要求1所述的区熔炉门板锁紧机构，其特征在于，所述推杆往复运动的位移为15-40毫米。4.根据权利要求1所述的区熔炉门板锁紧机构，其特征在于，所述压紧块内设有螺纹孔，所述推杆的一端设有与所述螺纹孔配合的螺纹。5.根据权利要求4所述的区熔炉门板锁紧机构，其特征在于，所述推杆上设有与所述螺纹配合的定位螺母。6.根据权利要求1所述的区熔炉门板锁紧机构，其特征在于，所述驱动机构为气动驱动机构、液压驱动机构或机械驱动机构。7.一种区熔炉，包括炉体和覆盖所述炉体的炉门，所述炉门包括门板和设在所述门板外侧并通过螺钉与所述门板连接的固定板，其特征在于,所述门板的两相对侧均设有权利要求1-6中任一项所述的区熔炉门板锁紧机构。8.根据权利要求7所述的区熔炉，其特征在于，所述区熔炉门板锁紧机构中的驱动机构固定安装在机座上，所述机座固定安装在所述炉体上。9.根据权利要求8所述的区熔炉，其特征在于，所述机座上设有通孔，所述区熔炉门板锁紧机构安装在所述通孔内。2CN102899715A说明书1/3页一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉技术领域[0001]本发明涉及半导体材料制备技术领域，尤其涉及一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉。背景技术[0002]立式悬浮区熔炉是在真空或惰性气体环境下利用悬浮区熔技术在悬浮区熔区对半导体材料进行提纯和单晶生长的设备，通过计算机实现区熔单晶生长的半自动控制，用于生产无污染、高电阻、高寿命、高纯度的半导体材料。[0003]传统区熔炉门板的锁紧机构一般都采用多组螺钉锁紧固定板从而锁紧门板的方式，所以需要工人用扳手操作，门板的开启和闭合通常需要几个工人同时花费几分钟操作，开启锁紧非常繁琐，费时费力，效率低下，自动化程度差，影响生产效率。发明内容[0004]本发明的实施例提供一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉，用来解决现有锁紧机构开启锁紧费时费力、自动化程度差的问题。[0005]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：[0006]一种区熔炉门板锁紧机构，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜面配合的压紧块，所述压紧块固定连接有推杆，所述推杆连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述推杆往复运动以压紧或打开所述门板。[0007]优选地，所述斜面与所述门板所在的平面的夹角为10-25度。[0008]优选地，所述推杆往复运动的位移为15-40毫米。[0009]优选地，所述压紧块内设有螺纹孔，所述推杆的一端设有与所述螺纹孔配合的螺纹，所述推杆的另一端连接所述驱动机构。[0010]进一步地，所述推杆上设有与所述螺纹配合的定位螺母。[0011]优选地，所述驱动机构为气动驱动机构、液压驱动机构或机械驱动机构。[0012]一种区熔炉，包括炉体和覆盖所述炉体的炉门，所述炉门包括门板和设在所述门板外侧并通过螺钉与所述门板连接的固定板，所述门板的两相对侧均设有上述区熔炉门板锁紧机构。[0013]优选地，所述区熔炉门板锁紧机构中的驱动机构固定安装在机座上，所述机座固定安装在所述炉体上。[0014]优选地，所述机座上设有通孔，所述锁紧机构安装在所述通