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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103103616A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103103616103103616A(43)申请公布日2013.05.15(21)申请号201310018302.7(22)申请日2013.01.17(71)申请人陈功地址313100浙江省湖州市长兴县县前东街1299号浙江长兴众成电子有限公司(72)发明人陈功(74)专利代理机构杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙)33217代理人胡根良(51)Int.Cl.C30B31/16(2006.01)H01L21/223(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图5页附图5页(54)发明名称磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构(57)摘要本发明公开了一种磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,包括缓冲箱与抽风管,缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,密封门上设有导流结构,缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口;该抽风管为U形管,抽风管一端设置进风口,抽风管另一端设有出风口,出风口连接抽风机;磷扩散炉的炉管通过炉管开口伸入缓冲箱,抽风管进风口通过抽风管开口与缓冲箱连通,炉管口部上设有炉帽,炉帽包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体,帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴,帽体底部内壁焊接有一石英卡环。本发明利用自然空气和雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气,防止熔化抽风管的特氟龙涂层,同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化。CN103103616ACN1036ACN103103616A权利要求书1/1页1.磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:包括缓冲箱与抽风管,该缓冲箱包括方形的缓冲箱体,所述缓冲箱内壁涂覆有特氟龙涂层,所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,所述密封门右侧与缓冲箱体铰接,所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构,所述密封门上设有导流结构,所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口;该抽风管为U形管,抽风管一端设置开口方向与抽风管左侧管道垂直的进风口,抽风管另一端设有高于进风口的出风口,该出风口开口向上并连接抽风机,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层;磷扩散炉的炉管通过所述炉管开口伸入所述缓冲箱,抽风管进风口通过抽风管开口与缓冲箱连通,炉管口部上设有炉帽,所述炉帽包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体,所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴,所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环,所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间。2.根据权利要求1所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:所述密封门上边沿、下边沿及右边沿设有密封条进行密封。3.根据权利要求2所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:所述导流结构为密封门左侧边沿的导流槽。4.根据权利要求3所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:所述锁闭结构包括导流槽中间安装的挂钩及缓冲箱体左侧边对应该挂钩设置的挂扣。5.根据权利要求4所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:所述缓冲箱为312不锈钢结构。6.根据权利要求1所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:所述抽风管的左侧管道顶壁上设有喷淋氨水的氨水喷嘴。7.根据权利要求6所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:所述抽风机为混流风机。8.根据权利要求7所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:所述抽风管包括横截面为方形的管道本体,所述管道本体内设有一竖直的中间隔板将抽风管分隔成U形结构。9.根据权利要求8所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:所述抽风管底端开口并连接一密封水箱。10.根据权利要求1所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构,其特征在于:所述帽体底部外壁焊接有一石英把手,所述开口延嘴长度控制在3-5cm,开口延嘴内径控制在0.5-1cm,所述卡环厚度等于帽体底部壁厚。2CN103103616A说明书1/4页磷扩散炉的三氯氧磷排除装置改进结构技术领域[0001]本发明涉及半导体分立器件和太阳能电池片的制造领域。背景技术[0002]磷扩散是半导体分立器件、集成电路芯片和太阳能电池片制作PN结所必须的一道工艺,目前这道工艺所采用的技术是热扩散技术。半导体分立器件主要用于制造二极管、三极管、功率器件、IGBT及晶闸管等,该系列产品在国内有上百亿的销售额,产能非常庞大。另一方面作为太阳能电池片的用途,硅片运用也非常广泛,全球70%以上的太阳能电池片是使用硅片作为电池片的。2011年已经实现25GW的产能,多晶用量达到18万吨是半导体用量的6倍,因此太阳能的产量比半导体产量更大。国内能够生产太阳能电池硅片厂家约120多家,而能够生产半导体分立器件扩散片的厂