带观察窗的单晶炉上炉盖.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103184503A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103184503103184503A(43)申请公布日2013.07.03(21)申请号201110455232.2(22)申请日2011.12.31(71)申请人汤仁兴地址214434江苏省无锡市江阴市开发区滨江东路299号(72)发明人汤仁兴(74)专利代理机构江阴市同盛专利事务所(普通合伙)32210代理人唐纫兰曾丹(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书1页说明书1页附图1页附图1页(54)发明名称带观察窗的单晶炉上炉盖(57)摘要本发明涉及一种带观察窗的单晶炉上炉盖，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种带观察窗的单晶炉上炉盖，其特征在于：它包括炉盖本体（1），所述炉盖本体（1）中间开口设有隔离阀（2），所述炉盖本体（1）在隔离阀（2）的两侧开有进水口（3）和出水口（4），所述炉盖本体（1）上还开有观察窗（5）。这种带观察窗的单晶炉上炉盖在盖体上开设了一个通孔，并在通孔内装上了钢化玻璃作为观察窗，操作人员可以通过玻璃看到上炉体内单晶硅晶棒的拉拔情况，从而做出相应操作，方便了员工操作。CN103184503ACN103845ACN103184503A权利要求书1/1页1.一种带观察窗的单晶炉上炉盖，其特征在于：它包括炉盖本体（1），所述炉盖本体（1）中间开口设有隔离阀（2），所述炉盖本体（1）在隔离阀（2）的两侧开有进水口（3）和出水口（4），所述炉盖本体（1）上还开有观察窗（5）。2CN103184503A说明书1/1页带观察窗的单晶炉上炉盖[0001]技术领域本发明涉及一种带观察窗的单晶炉上炉盖，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。背景技术[0002]单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、上炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。[0003]在本发明做出之前，目前普遍采用的单晶炉的上炉盖为封闭式，由于这样便看不到上炉体内部单晶硅晶棒的拉拔情况，对操作人员的操作带来了不便。发明内容[0004]本发明的目的在于克服上述不足，提供一种方便操作人员判断和操作的带观察窗的单晶炉上炉盖。[0005]本发明的目的是这样实现的：本发明带观察窗的单晶炉上炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体中间开口设有隔离阀，所述炉盖本体在隔离阀的两侧开有进水口和出水口，所述炉盖本体上还开有观察窗。[0006]本发明带观察窗的单晶炉上炉盖具有以下优点：这种带观察窗的单晶炉上炉盖在盖体上开设了一个通孔，并在通孔内装上了钢化玻璃作为观察窗，操作人员可以通过玻璃看到上炉体内单晶硅晶棒的拉拔情况，从而做出相应操作，方便了员工操作。附图说明[0007]图1为本发明带观察窗的单晶炉上炉盖的结构示意图。[0008]图中：炉盖本体1、隔离阀2、进水口3、出水口4、观察窗5。具体实施方式[0009]参见图1，本发明涉及的一种带观察窗的单晶炉上炉盖，包括炉盖本体1，所述炉盖本体1中间开口设有隔离阀2，所述隔离阀2用于装上法兰与副炉连接，所述炉盖本体1在隔离阀2的两侧开有进水口3和出水口4，用于和进出水接头相连，所述炉盖本体1上还开有观察窗5用于观察上炉体内单晶硅晶棒的拉拔情况，所述观察窗5为开设在炉盖本体1顶部的通孔，并在通孔内装上了钢化玻璃。3CN103184503A说明书附图1/1页图14