单晶炉的取棒装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103184529A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103184529103184529A(43)申请公布日2013.07.03(21)申请号201110455234.1(22)申请日2011.12.31(71)申请人汤仁兴地址214434江苏省无锡市江阴市开发区滨江东路299号(72)发明人汤仁兴(74)专利代理机构江阴市同盛专利事务所(普通合伙)32210代理人唐纫兰曾丹(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)C30B15/00(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称单晶炉的取棒装置(57)摘要本发明涉及一种单晶炉的取棒装置，其特征在于：它包括机架（1）和升降杆（3），所述机架（1）上固定有上下两块夹持板（2），所述升降杆（3）穿过两块夹持板（2）上的通孔，所述升降杆（3）底部连有油缸（4），升降杆（3）的中部固定有钳子（5）。所述升降杆（3）的下部设有两个挡块（6），所述升降杆（3）与两个挡块（6）的连接处各开有一个环形凹槽（3.1），所述两个挡块（6）的一端套在环形凹槽（3.1）上，使挡块（6）与升降杆（3）活动连接。这种单晶炉的取棒装置能方便地将单晶硅晶棒取出，同时取出晶棒时不会抖动，使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂，从而保证了操作的安全。CN103184529ACN10384529ACN103184529A权利要求书1/1页1.一种单晶炉的取棒装置，其特征在于：它包括机架（1）和升降杆（3），所述机架（1）上固定有上下两块夹持板（2），所述升降杆（3）穿过两块夹持板（2）上的通孔，所述升降杆（3）底部连有油缸（4），升降杆（3）的上部固定有钳子（5），所述升降杆（3）的下部设有两个挡块（6），所述升降杆（3）与两个挡块（6）的连接处各开有一个环形凹槽（3.1），所述两个挡块（6）的一端套在环形凹槽（3.1）上，使挡块（6）与升降杆（3）活动连接。2CN103184529A说明书1/2页单晶炉的取棒装置技术领域[0001]本发明涉及一种单晶炉的取棒装置，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。背景技术[0002]单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。目前单晶硅的生长技术有两种：区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。在直拉法制造单晶硅时，单晶硅会被拉拔成晶棒，需要将其从单晶炉中取出。目前将单晶硅晶棒取出的方法是由操作人员带上手套，用钳子将晶棒夹出。然而这样的操作方式存在一定危险性，单晶硅晶棒的破裂强度与抗拉强度均较小，且晶棒在下降过程中存在一定的晃动，因此晶棒很容易出现断裂，存在极大的安全隐患。发明内容[0003]本发明的目的在于克服上述不足，提供一种完全可靠，能保证不出现断裂的单晶炉的取棒装置。[0004]本发明的目的是这样实现的：本发明单晶炉的取棒装置，包括机架和升降杆，所述机架上固定有上下两块夹持板，所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔，所述升降杆底部连有油缸，升降杆的上部固定有钳子，所述升降杆的下部设有两个挡块，所述升降杆与两个挡块的连接处各开有一个环形凹槽，所述两个挡块的一端套在环形凹槽上，使挡块与升降杆活动连接。[0005]这种单晶炉的取棒装置具有以下优点：这种单晶炉的取棒装置将机架放置于单晶炉旁的地面上后，用钳子夹住单晶硅晶棒的上部，并将两个挡块一左一右夹持住晶棒下部，随后松开两块夹持板，并用油缸推动升降杆上升，从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出，同时取出晶棒时不会抖动，使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂，从而保证了操作的安全。附图说明[0006]图1为本发明单晶炉的取棒装置的结构示意图。[0007]图2为图1中升降杆的结构示意图。[0008]图中：机架1、夹持板2、升降杆3、环形凹槽3.1、油缸4、钳子5、挡块6。具体实施方式[0009]参见图1和图2，本发明涉及的一种单晶炉的取棒装置，包括机架1和升降杆3，所述机架1上固定有上下两块夹持板2，所述升降杆3穿过两块夹持板2上的通孔，所述升降杆3底部连有油缸4，升降杆3的上部固定有钳子5，所述升降杆3的下部设有两个挡块6，所述升降杆3与两个挡块6的连接处各开有一个环形凹槽3.1，所述两个挡块6的一端套在环形凹槽3.1上，使得挡块6与升降杆3活动连接，挡块6能在升降杆3上360°范围内转3CN103184529A说明书2/2页动。[0010]当需要夹起单晶硅晶棒时，将机架1放置于单晶炉旁的地面上，用钳子5夹住单晶硅晶棒的上部，随后将两个挡块6一左一右转动，夹持住单晶硅晶棒的下部，使其不会晃动，随后松开两块夹持板2，并用