铜铟镓硫硒太阳能电池、薄膜吸收层及其制备方法.pdf
雅云****彩妍
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铜铟镓硫硒太阳能电池、薄膜吸收层及其制备方法.pdf
本发明公开了一种铜铟镓硫硒薄膜吸收层制备方法,包括以下步骤:制备前驱体溶液;制备前驱体薄膜;对前驱体薄膜进行热处理;制备具有Ga梯度分布的CuIn1-xGaxS2薄膜;将Ga梯度分布的CuIn1-xGaxS2薄膜在硒化炉中进行硒化处理,制得CuIn1-xGax(S,Se)2薄膜吸收层。本发明还公开一种铜铟镓硫硒薄膜吸收层和包括铜铟镓硫硒薄膜吸收层的电池。由于前驱体溶液组分可调,通过调整溶液中In︰Ga摩尔比,实现Ga在吸收层中的梯度分布;同时利用硒化过程中Se原子部分取代S原子的体积膨胀效应,使铜铟镓硫硒
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层及其制备方法.pdf
本发明公开一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层,包括m组相层叠的基础吸收层,每组基础吸收层均包含由下至上层叠的铜铟镓膜层与硒膜层,2≤m≤5;在制备时按以下步骤:S1、采用磁控溅射工艺,在薄膜太阳能电池背电极上沉积铜铟镓膜层;S2、采用真空蒸镀或者磁控溅射工艺在铜铟镓膜层上沉积硒膜层,得到由铜铟镓膜层与硒膜层构成的基础吸收层;S3、重复步骤S1与S2的沉积过程,层叠m组基础吸收层,得到铜铟镓硒前驱体,2≤m≤5;S4、将铜铟镓硒前驱体置于真空硒化炉中进行RTP退火,得到铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层;该吸收层解
用作太阳能电池光吸收层的铜铟镓硒薄膜的制备方法.pdf
本发明涉及一种铜铟镓硒薄膜的制备方法,其特征在于,使用铜铟镓硒单靶磁控溅射和硒化退火工艺。将Mo靶和CuIn0.75Ga0.25Se2靶材安装于磁控溅射腔体内,先使用直流电源溅射双层Mo,再使用射频电源溅射铜铟镓硒预置层,然后在管式炉中采用单质Se源在Ar气流中对预置层进行硒化退火,获得所述的铜铟镓硒薄膜。所述的铜铟镓硒薄膜具有黄铜矿相结构,可用作薄膜太阳能电池的光吸收层。本发明所述的方法工艺简单,成本低,并且利于环保,适合大面积制备。
薄膜太阳能电池退火装置、铜铟镓硒薄膜电池及铜锌锡硫薄膜电池吸收层的制备方法.pdf
一种薄膜太阳能电池退火装置,用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化或者硫化,包括退火炉、基片架及第一加热灯管;所述退火炉为中空结构,其内部为密闭的退火腔;所述基片架设置于所述退火腔侧壁上,所述基片可装载于所述基片架上;所述第一加热灯管一端设置于所述退火腔侧壁上,所述第一加热灯管位于所述基片设置有金属薄膜预制层的一侧,所述第一加热灯管与所述基片相互间隔,且所述第一加热灯管与所述基片架所在平面平行,所述第一加热灯管与所述基片架之间可相对运动。上述薄膜太阳能电池退火装置中,第一加热灯管发出的热量直接辐射至基片表面
一种制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池光吸收层的方法.pdf
一种制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池光吸收层的方法。首先在玻璃基片上溅射制备Mo背电极;然后以Ga2Se3、In2Se3和CuSe三种二元陶瓷块交叉拼接靶材为靶材,各拼接陶瓷块角度分别为5°,20°,20°。在400℃~450℃条件下在Mo背电极上用射频磁控溅射沉积铜铟镓硒(CIGS)薄膜,随后将沉积获得的CIGS薄膜移入管式真空炉中,真空炉抽至真空小于8.0×10-3Pa,以20℃/min升温速率将CIGS薄膜加热至500℃~550℃,以5℃/min将硒源加热到230℃~280℃,用氩气(Ar)作