一种化学气相沉积制备石墨烯的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103409728A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103409728103409728A(43)申请公布日2013.11.27(21)申请号201310299309.0(22)申请日2013.07.17(71)申请人苏州艾特斯环保材料有限公司地址215211江苏省苏州市汾湖高新技术开发区莘塔联南西路551号(72)发明人林耀朋张旭吴军(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200代理人李纪昌(51)Int.Cl.C23C16/26(2006.01)权利要求书1页权利要求书1页说明书2页说明书2页(54)发明名称一种化学气相沉积制备石墨烯的方法(57)摘要一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，包括以下步骤：将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次，在50℃～80℃下烘干；将钴镍合金衬底放入石英炉中，加热温度至880℃～890℃，通氦气，氦气流速为50sccm；保持温度在880℃～890℃下向石英炉中均匀加入乙苯；将石英炉降温到室温，取出样品；将样品进行超声处理，超声处理功率为800w，时间为60～90min，获得石墨烯。制备得到的石墨烯具有较大的载流子迁移率。CN103409728ACN10349728ACN103409728A权利要求书1/1页1.一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次，在50℃～80℃下烘干；（2）将钴镍合金衬底放入石英炉中，加热温度至880℃～890℃，通氦气，氦气流速为50sccm；（3）保持温度在880℃～890℃下向石英炉中均匀加入乙苯；（4）将石英炉降温到室温，取出样品；（5）将样品进行超声处理，超声处理功率为800w，时间为60～90min，获得石墨烯。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于烘干温度为60℃。3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于石英炉加热至温度为885℃。4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于石英炉加热过程中升温速率为25℃/min。2CN103409728A说明书1/2页一种化学气相沉积制备石墨烯的方法技术领域[0001]本发明涉及一种制备石墨烯的方法，特别是涉及通过化学气相沉积制备石墨烯的方法。背景技术[0002]石墨烯具有非常良好的性能，近些年已经成为科学家们研究的热点。石墨烯的制备方法较多，其中化学气相沉积法和化学还原法研究最多。在化学气相沉积过程中，衬底材料的选择非常重要，衬底材料选择较差，则会导致最终获得的石墨烯性能较差，如不具备良好的载流子迁移率等。因此开发一种具有良好的载流子迁移率的石墨烯，可以拓展石墨烯的市场空间。发明内容[0003]要解决的技术问题：常规化学气相沉积法制备得到的石墨烯载流子迁移率较低的问题。[0004]一种化学气相沉积制备石墨烯的方法，包括以下步骤：（1）将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次，在50℃～80℃下烘干，优选烘干温度为60℃；（2）将钴镍合金衬底放入石英炉中，加热温度至880℃～890℃，升温速率为25℃/min，通氦气，氦气流速为50sccm；（3）保持温度在880℃～890℃下向石英炉中均匀加入乙苯；（4）将石英炉降温到室温，取出样品；（5）将样品进行超声处理，超声处理功率为800w，时间为60～90min，获得石墨烯。其中石英炉加热温度优选为885℃。[0005]有益效果：化学气相沉积制备得到的石墨烯具有较大的载流子迁移率。具体实施方式[0006]实施例1将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次，在50℃下烘干。将钴镍合金衬底放入石英炉中，加热温度至880℃，升温速率为25℃/min，通氦气，氦气流速为50sccm；保持温度在880℃下向石英炉中均匀加入乙苯；将石英炉降温到室温，取出样品；将样品进行超声处理，超声处理功率为800w，时间为60min，获得石墨烯。测定其载流子迁移率，载流子迁移率为1.57×105cm2/Vs。[0007]实施例2将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次，在80℃下烘干。将钴镍合金衬底放入石英炉中，加热温度至890℃，升温速率为25℃/min，通氦气，氦气流速为50sccm；保持温度在890℃下向石英炉中均匀加入乙苯；将石英炉降温到室温，取出样品；将样品进行超声处理，超声处理功率为800w，时间为90min，获得石墨烯。测定其载流子迁移率，载流子迁移率为1.64×105cm2/Vs。[0008]实施例33CN103409728A说明书2/2页将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次，在60℃下烘干