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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103556222103556222A(43)申请公布日2014.02.05(21)申请号201310564225.5(22)申请日2013.11.13(71)申请人英利集团有限公司地址071051河北省保定市朝阳北大街3399号(72)发明人潘家明何广川陈艳涛(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人吴贵明张永明(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/14(2006.01)C30B28/06(2006.01)权利要求书1页权利要求书1页说明书6页说明书6页(54)发明名称石墨加热器及其制备方法(57)摘要本发明公开了石墨加热器及其制备方法。其中石墨加热器包括石墨加热器主体和隔离层,隔离层包覆在石墨加热器主体的表面上,且隔离层材料的高温稳定性优于石墨。石墨加热器的制备方法包括以下步骤:提供石墨加热器主体;在石墨加热器主体的表面上形成高温稳定性优于石墨的隔离层。在本发明中通过在石墨加热器本体的表面上包覆隔离层,能够将石墨加热器本体与外界隔离开来。通过使用高温稳定性优于石墨的材料作为隔离层材料,能够避免石墨加热器在多晶硅铸锭和单晶棒拉制的过程中与铸锭炉或单晶炉中的气体发生反应,进而避免石墨加热器被腐蚀。CN103556222ACN103562ACN103556222A权利要求书1/1页1.一种石墨加热器,其特征在于,包括:石墨加热器主体;隔离层,包覆在所述石墨加热器主体的表面上,所述隔离层材料的高温稳定性优于石墨。2.根据权利要求1所述的石墨加热器,其特征在于,所述隔离层的材料为温度高于硅的沸点时不与含硅气体和/或含碳气体反应的材料。3.根据权利要求2所述的石墨加热器,其特征在于,所述隔离层的材料为α-碳化硅。4.一种石墨加热器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:提供石墨加热器主体;在所述石墨加热器主体的表面上形成高温稳定性优于石墨的隔离层。5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述隔离层为α-碳化硅层。6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,在所述石墨加热器主体的表面上形成所述隔离层的步骤包括:将所述石墨加热器主体置于真空反应器中,并将位于所述真空反应器中的所述石墨加热器主体的温度升至≥2100℃;向所述真空反应器中通入含硅气体,使所述含硅气体与所述石墨加热器主体表面上的石墨反应形成所述隔离层。7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,通入所述含硅气体前,所述真空反应器的气压为0.1×10-3个标准大气压;通入所述含硅气体后,所述真空反应器的气压为0.2~5个标准大气压。8.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述石墨加热器主体的温度升至2150±50℃,升温速率为100~500℃/h;所述含硅气体与所述石墨加热器主体的反应时间为0.2~10h。9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述升温速率为250~350℃/h;所述反应时间为2~4h。10.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述含硅气体为硅蒸气或一氧化硅气体。2CN103556222A说明书1/6页石墨加热器及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池制造领域,具体而言,涉及一种石墨加热器及其制备方法。背景技术[0002]目前的光伏行业中,以硅基底制作的太阳能电池片占所有光伏电池的99%以上,而硅基底的主要制备方法是多晶硅铸锭和单晶棒拉制。在多晶硅铸锭或单晶棒拉制的过程中,由于硅熔点较高(~1420℃),铸锭炉和单晶炉内的温度需要升至1500℃,用以完成硅料熔化及再结晶过程。单就多晶铸锭来说,目前单个硅锭的重量一般大约为500kg,更有重达1吨的大尺寸硅锭。这些大尺寸硅锭的铸造过程往往达到几十个小时,而铸锭炉内的温度需要一直保持在1300℃以上。为提供长时间的高温条件,常规的铸锭炉和单晶炉炉内的加热部件均为石墨加热器。但是,在使用石墨加热器的过程中,会出现以下问题:[0003]长时间的高温作用下,硅液中的杂质、碳元素同铸锭用的石英坩埚不断地发生氧化还原反应,产生一氧化硅气体。这些一氧化硅气体接触到高温的石墨加热器时,进一步会发生氧化还原反应,产生碳化硅和一氧化碳气体。具体的反应过程如下:[0004]C(s)+SiO2(s)→SiO(g)+CO(g)……①[0005]SiO(g)+2C(s)→SiC(s)+CO(g)……②[0006]上述反应结束后,反应并没有停止,一氧化碳会继续和高温硅液继续反应,形成一氧化硅和碳,反应如下:[0007]CO(g)+Si→SiO(g)+C……③[0008]经过上述的反应过程,石墨加热器中的碳元素会不断地转移至高温硅液内,而一氧化硅会继续