一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103579414103579414A(43)申请公布日2014.02.12(21)申请号201310337512.2(22)申请日2013.08.05(71)申请人北京吉阳技术股份有限公司地址100012北京市朝阳区北苑路40号2号楼(72)发明人孙良欣岳树民(74)专利代理机构北京市商泰律师事务所11255代理人毛燕生(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)F27B9/04(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图4页附图4页(54)发明名称一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法(57)摘要一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法，属于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉技术领域。设备内部腔室与外部进行隔离；有滚轴的输送结构，安装在滚轴上的滚轮将晶硅光伏电池从炉体一端输送到另一端；设备温度控制采用双重控温，即经过加热后的氮气通过管道进入炉体内部，在炉体内部通过红外加热灯管再次进行整体温度的调控；设备炉体中间光伏电池通过的空间为工艺腔室，在工艺腔室两侧为排气腔室；设备炉体上盖连接上盖板升降装置进行开闭；滚轴传动机构采用蜗轮蜗杆机构，机械传动装置连接伺服电机作为动力源；本发明达到了气流平稳、温度均匀、洁净输送、传动平稳、防止电池氧化、维护方便。CN103579414ACN1035794ACN103579414A权利要求书1/1页1.一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法，其特征在于含有以下步骤；防止光伏电池所用镍金属在高温工艺条件下氧化，整个设备内部腔体通入氮气，对腔体穿过腔体的灯管、传动轴间隙进行密封处理，减少氮气消耗；通过采用多腔室、匀流板方式，对气流的方向进行了控制；加热氮气从上入口、下入口进入链式气氛炉，通过上匀流板、下匀流板均匀进入链式气氛炉的炉体内部，之后进入两侧的排气腔室，经左排气管道、右排气管道排出；下匀流板、上匀流板表面密集开孔，促使通过的气流能够均匀的通过，确保炉体内部气流平稳和温度均匀，在工艺腔体外部设置硅酸铝陶瓷纤维保温层进行保温；采用双重温度控制方式，即先对氮气进行加热，然后才将其通入设备内部，在设备内部再通过红外灯管对整个腔室内的温度进行精密控制；使用滚轴式输送，安装在滚轴上的滚轮将晶硅光伏电池从炉体一端输送到另一端；顶盖升起机构方便设备维护时取出碎片。2.一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉，其特征在于设备内部腔室与外部进行隔离；有滚轴的输送结构，安装在滚轴上的滚轮将晶硅光伏电池从炉体一端输送到另一端；设备温度控制采用双重控温，即经过加热后的氮气通过管道进入炉体内部，在炉体内部通过红外加热灯管再次进行整体温度的调控；设备炉体中间光伏电池通过的空间为工艺腔室，在工艺腔室两侧为排气腔室；设备炉体上盖连接上盖板升降装置进行开闭；加热氮气从上入口、下入口进入设备，通过上匀流板、下匀流板均匀进入炉体内部，之后进入两侧的排气腔室，经左排气管道、右排气管道排出；下匀流板、上匀流板表面密集开孔，促使通过的气流能够均匀的通过，确保炉体内部气流平稳和温度均匀；滚轴传动机构采用蜗轮蜗杆机构，机械传动装置使用伺服电机作为动力源，伺服电机连接蜗轮蜗杆机构，蜗轮蜗杆机构连接滚轴；上盖板升降装置的开合机构采用梯形升降螺杆，螺杆具备位置自锁能力；在工艺腔室及排气腔室外部设置硅酸铝陶瓷纤维保温层进行保温；下匀流板、上匀流板表面分布有排气匀流孔、进气匀流孔和零部件安装用孔；温控仪表连接红外加热灯管；触摸控制器与温控仪表、红外加热灯管、机械传动装置连接。2CN103579414A说明书1/4页一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法技术领域[0001]本发明涉及一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法，属于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉技术领域。背景技术[0002]太阳能是人类取之不尽，用之不竭的可再生能源，它不产生任何环境污染，是完全清洁的能源。太阳光辐射能转化电能是近年来发展最快，最具活力的研究之一，人们研制和开发了不同类型的太阳能电池亦称光伏电池。光伏电池其独特优势，超过风能、水能、地热能、核能等资源，有望成为未来电力供应主要支柱。[0003]光伏电池简单的讲就是低电压高电流的发电器件。现已工业化大规模生产的晶体硅光伏电池，常规制造工艺采用丝网印刷并烧结银导体作为正面电极。这种情况下银的使用量非常大，其成本占到总制造成本的15％左右，是除硅片之外的第二大成本消耗。当前研发的新型镍硅合金技术，即是取消传统的丝网印刷，使金属镍替代现有的银，以期大幅降低光伏电池制造成本和生产损耗。[0004]由此必须研发新型的镍硅合金烧结设备，该烧结工艺的核心技术是如何实