电子管石墨阳极表面处理工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103715036103715036A(43)申请公布日2014.04.09(21)申请号201310740694.8(22)申请日2013.12.30(71)申请人锦州华光电子管有限公司地址121000辽宁省锦州市古塔区重庆路二段2号(72)发明人于丽梅张锦媚项兴奎王珏王凤兰(74)专利代理机构锦州辽西专利事务所21225代理人李辉(51)Int.Cl.H01J9/02(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图1页附图1页(54)发明名称电子管石墨阳极表面处理工艺(57)摘要本发明涉及一种电子管石墨阳极表面处理工艺，其特殊之处是，包括如下步骤：第一步，将石墨阳极放于半开放式的玻璃钟罩内，在玻璃钟罩的下部连接抽气装置，使整个玻璃钟罩处于密闭状态；第二步，启动抽气装置使玻璃钟罩处于真空状态，对准石墨阳极位置将高频线圈套在玻璃钟罩外相应高度处，启动高频炉对玻璃钟罩内石墨阳极加热，达到1200～1250℃时进行真空去气；第三步，关闭高频炉移开高频线圈，对玻璃钟罩及其内部石墨阳极进行冷却；第四步，冷却后关闭玻璃钟罩与抽气装置的连接通道，取下玻璃钟罩后再取出处理后的石墨阳极。解决了现有石墨阳极表面处理工艺存在的过程废品多、能源消耗大、制造成本大、安全性能低的问题。CN103715036ACN103756ACN103715036A权利要求书1/1页1.一种电子管石墨阳极表面处理工艺，其特征在于，包括如下步骤：第一步，首先将石墨阳极放置在半开放式的玻璃钟罩内，在所述玻璃钟罩的下部开放口位置连接有抽气装置，使整个玻璃钟罩内处于密闭状态；第二步，启动所述抽气装置使玻璃钟罩内处于真空状态，真空度达到3×10-4Pa～5×10-4Pa时，对准需去气的石墨阳极位置将高频线圈套在玻璃钟罩外相应高度处，启动与所述高频线圈相连的高频炉对玻璃钟罩内石墨阳极加热，达到1200～1250℃时进行真空去气，保温15～20分钟，同时抽气装置保持玻璃钟罩内真空度不低于2×10-3Pa～3×10-3Pa；第三步，关闭高频炉移开高频线圈，对玻璃钟罩及其内部石墨阳极进行冷却，冷却时间为90～100分钟，冷却时抽气装置保持运行使石墨阳极处在不低于2×10-3Pa～3×10-3Pa的真空状态中；第四步，冷却后关闭玻璃钟罩与抽气装置的连接通道，然后打开玻璃钟罩放气阀，取下玻璃钟罩后再取出处理后的石墨阳极。2CN103715036A说明书1/3页电子管石墨阳极表面处理工艺技术领域[0001]本发明涉及电子管阳极生产工艺，特别是一种电子管石墨阳极表面处理工艺。背景技术[0002]现有的电子管石墨阳极表面处理工艺是将石墨阳极处于大气状态下经过高频加热方式达1500℃高温进行空烧，然后用电动毛刷机采用机械刷光方法将石墨阳极表面浮碳清除干净。之后采用在阳极外表面喷涂锆粉，再经过1200℃高温烧结而成。其存在如下问题：1、由于这种阳极材料采用的是石墨材质，经过1500℃高温空烧后会在阳极表面生成许多细小的深孔，破坏了阳极的致密度且大量吸气不利于后序排气工艺操作。2、表面喷涂的锆粉颗粒只能达到360目左右，使阳极表面粗糙，并且喷涂液中的锆粉和硝棉溶液都是易燃易爆物品，操作过程中需要特制的设备及通风条件。特别是锆粉喷涂的利用率只有20%～30%左右，而残余锆粉的处理十分危险，需要与专业的安全部门共同完成。3、经过1200℃高温烧结后石墨阳极表面的松散颗粒在电子管的散粒效应作用下将增大电子管内部的噪音水平，影响音频放大时的输出信号质量。综上，现有的石墨阳极表面处理工艺存在过程废品多、能源消耗大、制造成本大、安全性能低等诸多弊病。发明内容[0003]本发明的目的是为了提供一种解决现有石墨阳极表面处理工艺存在的过程废品多、能源消耗大、制造成本大、安全性能低的问题的电子管石墨阳极表面处理工艺。[0004]本发明的技术方案是：一种电子管石墨阳极表面处理工艺，其特殊之处是，包括如下步骤：第一步，首先将石墨阳极放置在半开放式的玻璃钟罩内，在所述玻璃钟罩的下部开放口位置连接有抽气装置，使整个玻璃钟罩内处于密闭状态；第二步，启动所述抽气装置使玻璃钟罩内处于真空状态，真空度达到3×10-4Pa～5×10-4Pa时，对准需去气的石墨阳极位置将高频线圈套在玻璃钟罩外相应高度处，启动与所述高频线圈相连的高频炉对玻璃钟罩内石墨阳极加热，达到1200～1250℃时进行真空去气，保温15～20分钟，同时抽气装置保持玻璃钟罩内真空度不低于2×10-3Pa～3×10-3Pa；第三步，关闭高频炉移开高频线圈，对玻璃钟罩及其内部石墨阳极进行冷却，冷却时间为90～100分钟，冷却时抽气装置保持运行使石墨阳极处在