具有可移动式热交换器的定向固化炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103797164103797164A(43)申请公布日2014.05.14(21)申请号201280045042.6C30B29/06(2006.01)(22)申请日2012.09.13C01B33/037(2006.01)C30B28/06(2006.01)(30)优先权数据61/534,5682011.09.14US(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.03.14(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2012/0551772012.09.13(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/040219EN2013.03.21(71)申请人MEMC新加坡私人有限公司地址新加坡新加坡(72)发明人B·M·迈耶L·W·弗里(74)专利代理机构北京市中咨律师事务所11247代理人秘凤华马江立(51)Int.Cl.C30B11/00(2006.01)权权利要求书3页利要求书3页说明书11页说明书11页附图27页附图27页(54)发明名称具有可移动式热交换器的定向固化炉(57)摘要本发明公开了一种定向固化炉，该炉包括设置在坩埚下方的一个或多个可移动的冷却板。在第一位置，冷却板不与邻近坩埚设置的坩埚支承件接触。在第二位置，冷却板与坩埚支承件接触。控制系统用于控制由冷却板施加在坩埚上的力的量值。CN103797164ACN1037964ACN103797164A权利要求书1/3页1.一种用于生产多晶硅晶锭的定向固化炉，所述炉包括：用于容纳硅装载物的坩埚；邻近所述坩埚设置的用于支承所述坩埚的坩埚支承件，所述坩埚支承件具有底座；设置在所述坩埚支承件的所述底座的下方的冷却板；用于在第一位置和第二位置之间移动所述冷却板的提升系统，在第一位置，所述冷却板不与所述坩埚支承件的所述底座接触，在第二位置，所述冷却板与所述坩埚支承件的所述底座接触；和用于控制所述冷却板施加在所述坩埚支承件的所述底座上的力的量值的控制系统。2.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，所述提升系统包括线性致动器。3.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，所述提升系统包括联接到与齿条配合的小齿轮的旋转致动器。4.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，所述提升系统包括与下部板件分隔开的上部板件和位于板件之间的至少一个弹簧，所述至少一个弹簧具有表征弹簧的刚度的弹性系数，当所述冷却板位于所述第二位置时，所述至少一个弹簧被压缩。5.根据权利要求4所述的炉，其特征在于，所述提升系统包括限位开关，所述限位开关能操作成确定所述下部板件是否与所述上部板件分隔开小于设定距离的距离。6.根据权利要求5所述的炉，其特征在于，所述限位开关与所述控制系统通信耦合，以使得当所述下部板件与所述上部板件分隔开小于所述设定距离的距离时，所述限位开关向所述控制系统通信。7.根据权利要求4所述的炉，其特征在于，所述提升系统包括用于测量所述上部板件和所述下部板件之间的距离的距离测量装置。8.根据权利要求7所述的炉，其特征在于，所述距离测量装置为柱塞。9.根据权利要求7所述的炉，其特征在于，所述控制系统配置成：基于由所述距离测量装置测得的所述上部板件和所述下部板件之间的距离以及所述至少一个弹簧的弹性系数，确定所述冷却板施加在所述坩埚支承件的所述底座上的力的量值。10.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，所述炉还包括设置在所述坩埚支承件的所述底座的下方的多个绝热元件，所述绝热元件能够沿侧向在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述绝热元件限制热量从所述坩埚流出，在所述第二位置，所述绝热元件不限制热量从所述坩埚流出，其中，当所述绝热元件位于它们的第一位置时，所述冷却板位于所述第一位置，并且当所述绝热元件位于它们的第二位置时，所述冷却板位于所述第二位置。11.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，所述炉还包括邻近所述坩埚的多个侧面设置的多个绝热元件，所述绝热元件能够在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述绝热元件限制热量从所述坩埚流出，在所述第二位置，所述绝热元件不明显限制热量从所述坩埚的侧面流出，其中，当所述多个绝热元件位于它们的第一位置时，所述冷却板位于所述第一位置，并且当所述绝热元件位于它们的第二位置时，所述冷却板位于所述第二位置。12.一种用于提升和降低在用于生产多晶硅晶锭的定向固化炉中的一个或多个冷却板的系统，所述炉包括用于容纳硅装载物的坩埚和邻近所述坩埚设置的支承件，所述系统包2CN103797164A权利要求书2/3页括：设置在所述支承件的底座的下方的一个或多个冷却板；用于在第一位置和第二位置之间移动所述冷却板的提升系统，在第一位置，所述冷却板不与所述坩埚支承件的所述底座接触，在第二位置，所述