一种烤炉体装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN104634111A(43)申请公布日2015.05.20(21)申请号201510057014.1(22)申请日2015.02.04(71)申请人北京七星华创电子股份有限公司地址100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号(72)发明人孙少东张乾周厉颖(74)专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275代理人陶金龙张磊(51)Int.Cl.F27D1/00(2006.01)F27D19/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种烤炉体装置(57)摘要本发明涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种烤炉体装置，箱体的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于主路上，主路上设有供电连接端子，支路的端部分别设有一个输出接线端子，输出接线端子用于连接炉体的接入接线端子，支路上均设有功率控制器，各功率控制器同时连接功率控制单元，功率控制单元用于向各支路上的功率控制器发送相同或不同的控制信号。该烤炉体装置配置多个输出接线端子，打破了传统装置单个输出接线端子的特点，可以达到对同台炉体分多段烘烤或者对多台多型号炉体同时烘烤的目的，使得工作效率和应用范围都得到显著的提高和拓展。CN104634111ACN104634111A权利要求书1/1页1.一种烤炉体装置，包括用于烘烤炉体的箱体，其特征在于，所述箱体的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于所述主路上，所述主路上设有供电连接端子，所述支路的端部分别设有一个输出接线端子，所述输出接线端子用于连接炉体的接入接线端子，所述支路上均设有功率控制器，各所述功率控制器同时连接所述功率控制单元，所述功率控制单元用于向各支路上的功率控制器发送相同或不同的控制信号。2.根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述功率控制单元连接用于检测炉体温度的温度测量系统，所述温度测量系统将测量的温度值反馈至所述功率控制单元，所述功率控制单元处理将测量的温度值与预设的温度值进行分析对比，并发送控制信号至各功率控制器。3.根据权利要求2所述的烤炉体装置，其特征在于，所述温度测量系统的包括至少两个温度测试点，所述温度测试点用于检测所述支路所对应的炉体位置的温度。4.根据权利要求1～3任一项所述的烤炉体装置，其特征在于，所述支路上均设有延时继电器，各所述延时继电器设置不同的延时参数，上电启动时，各支路按所对应的延时参数依次启动。5.根据权利要求1～3任一项所述的烤炉体装置，其特征在于，所述主路上设有主路过流保护器。6.根据权利要求1～3任一项所述的烤炉体装置，其特征在于，所述支路上均设有支路过流保护器。7.根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述支路上均设有输出端线路工作灯。8.根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体上还设置有炉体冷却水控制单元，该炉体冷却水控制单元包括供水进排水接水管口、进排水阀门以及水路流量表。9.根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体的顶部设有故障报警灯。10.根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体上设有控制面板，所述控制面板上设有急停按钮、功率控制单元显示屏、电力参数设定面板以及装置工作灯。11.根据权利要求10所述的烤炉体装置，其特征在于，所述电力参数设定面板上设有至少两个功率控制器的操作键以及显示屏。12.根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体的侧面设有接地接线端。13.根据权利要求1所述的烤炉体装置，其特征在于，所述箱体的底端设有用于平行移动的脚轮，所述箱体的顶端设有用于吊运的起吊环。2CN104634111A说明书1/4页一种烤炉体装置技术领域[0001]本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种在炉体制作过程中使用的可对炉体分段烘烤的烤炉体装置。背景技术[0002]对于使用含强化剂的保温层制作的炉体，在炉体使用之前，要对保温层进行高温烘烤处理，从而对保温层进行纯化，目前，对炉体的烘烤温度多在800℃以上，而某些高温炉体，由于保温层较厚，需要更高的温度对保温层进行纯化。[0003]传统的烤炉体装置对炉体进行烘烤纯化的加热源是炉体自身的电阻丝，由于烘烤过程中会有碳化物、硫化物等气体溢出，这种烘烤通常是不允许在机台上进行的，而对于一些高阻值的炉体，使用传统的烤炉体装置的烘烤温度往往达不到所需温度，必须要对炉体分段单独烘烤。[0004]现有的烤炉体装置通常具有单个输出接线端子，随着炉体保温层材料多样性的发展，以及针对不同厚度的炉体保温层，如何对炉体进行分段烘烤，已成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。发明内容[0005]本发明目的是提供一种在炉体制作过程中使用的可对炉体分段烘烤的烤