具有气相动力学控制的石墨烯化学气相法制备炉的多通道进气装置.pdf

本发明公开了一种具有气相动力学控制的石墨烯化学气相法制备炉的多通道进气装置，主要由进气导管、进气流控制器和输气管组成，每条进气导管都有进气流控制器，进气流控制器安装在进气导管上部，进气流控制器上部与输气管连接。该装置配合球形炉体使用，由于进气导管与球形炉体中心垂直线之间存在微小的夹角，使气流进入时形成微旋转的状态，在进气流控制器控制下，形成从球形炉体上端垂直流入直达基底材料表面的带有轻微旋转的气体气相路线，轻微旋转的气流加强了基底材料表面的气相动力学的均衡，消除了基底材料上不均衡的边界层，实现了石墨烯化学

2023-06-19

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具有气相动力学控制的石墨烯化学气相法制备炉的末端多口出气装置.pdf

本发明公开了一种具有气相动力学控制的石墨烯化学气相法制备炉的末端多口出气装置，主要由三通出气管、出气流控制器、真空阀、排气管和真空抽气管组成；三通出气管一端为连接端，另外两端为出气端，一个出气端依次连接出气流控制器和排气管，另一个出气端依次连接真空阀和真空抽气管。该装置配合球形炉体使用，在出气口通过计算机控制的出气流控制器、真空阀和真空抽气机来控制球形炉体中部排气以控制炉体内部气流气相动力学关系，在炉膛中形成一种弧形气流路径，控制基底材料表面气相动力学的平衡，消除了基底材料上不均衡的边界层，实现了石墨烯化

2023-06-19

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易于气相动力学平衡的石墨烯化学气相法制备炉体装置.pdf

本发明公开了一种易于气相动力学平衡的石墨烯化学气相法制备炉体装置，主要由炉体及其进气口和出气口组成，炉体为球形炉体。该装置完全抛弃了传统直管型真空炉的结构，创新运用球形炉体，将炉膛由原有的圆柱结构改变为弧形结构，因而炉膛内气体流动也由线性变为非线性流动方式。同时，本发明结合进气口和出气口的布置，可以实现对化学气相法制备石墨烯的气相动力学控制，解决了直管型真空炉炉体内气体径向、线性气流所引起的基底材料表面边界层的气相动力学平衡问题及其影响石墨烯质量的难题，实现了石墨烯化学气相法制备的气相动力学控制和平衡，进

2023-06-19

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石墨烯化学气相沉积法制备的衬底材料表面气相动力学控制方法.pdf

本发明公开了一种石墨烯化学气相沉积法制备的衬底材料表面气相动力学控制方法，该法采用易于气相动力学平衡的球形炉体的石墨烯化学气相法制备炉体装置，并通过计算机设置和控制气相动力学参数实现精确控制石墨烯生长衬底材料表面的气相动力学平衡，以达到控制碳原子在石墨烯生长衬底材料表面的均衡沉积从而制备高质量石墨烯的目的。本发明解决石墨烯化学气相沉积法制备过程中由于衬底材料表面气相动力学不平衡而影响石墨烯的质量的难题，从而实现可控制、高质量地制备石墨烯。

2023-06-19

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基于气相动力学平衡的石墨烯化学气相沉积法制备方法.pdf

本发明公开了一种基于气相动力学平衡的石墨烯化学气相沉积法制备方法，该法采用易于气相动力学平衡的球形炉体的石墨烯化学气相法制备炉体装置，按化学气相沉积法制备石墨烯，并通过计算机设置和控制气相动力学参数实现精确控制石墨烯生长衬底材料表面的气相动力学平衡，以达到控制碳原子在石墨烯生长衬底材料表面的均衡沉积从而制备高质量石墨烯的目的。本发明解决石墨烯化学气相沉积法制备过程中由于衬底材料表面气相动力学不平衡而影响石墨烯的质量的难题，从而实现可控制、高质量地制备石墨烯，获得的石墨烯生长均匀、缺陷少、质量高。

2023-06-19

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