一种钇掺杂氧化锆单晶衬底的处理方法.pdf

本发明提供一种钇掺杂氧化锆单晶衬底的处理方法，所述处理方法包括：提供一待处理的钇掺杂氧化锆单晶衬底，将所述钇掺杂氧化锆单晶衬底置于高温炉中，在1350℃～1450℃下进行空气氛围退火2～4小时，获得原子尺度的表面台阶，其中，所述钇掺杂氧化锆单晶衬底为(111)晶面。本发明的处理方法通过对(111)晶面的单晶衬底进行高温退火，使得原子内部按能量重新排列，表面再结晶，从而在衬底表面获得原子尺度的台阶，这种具有台阶的(111)单晶衬底有利于生长界面性能好、与衬底晶格匹配的氧化物薄膜，具有很大的应用潜力。

2023-06-19

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一种钇掺杂氧化锆粉体及其制备方法.pdf

本发明提供了一种钇掺杂氧化锆粉体及其制备方法。一种钇掺杂氧化锆粉体的制备方法,包括下列步骤:步骤A:将乙酸锆、乙酸钇和三氟乙酸的混合液加热至42?50℃后,进行减压蒸馏,得到凝胶;步骤B:在260～350℃氧气环境下将所述凝胶进行热解,得到钇掺杂氧化锆的前驱体;步骤C:在水蒸气环境中煅烧所述钇掺杂氧化锆的前驱体。本发明采用制凝胶——热解——水蒸气环境下反应的路线制得钇掺杂氧化锆粉体,解决了除盐难、废水排量大等技术问题,具有工艺过程易控制、操作简单、节能减排、粉体质量高等优点。

2023-06-10

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一种钪钇共掺杂氧化锆涂层及其制备方法.pdf

一种钪钇共掺杂氧化锆涂层及其制备方法，将钪钇共掺杂氧化锆粉末超声分散到以含有聚乙二醇的无水乙醇中，得到悬浮液，利用蠕动泵运输悬浮液，并用雾化器使其雾化后送入超音速等离子喷枪的射流中并在预热后的基体上制备涂层。采用超音速悬浮液等离子喷枪制备具有稳定四方相结构、高应变容限的ScYSZ热防护涂层。本发明制备的涂层是单一的四方相结构，比常用的YSZ涂层的隔热性能好、高温相稳定性好。本发明的热防护涂层能有效提高航空发动机和重型燃气轮机涡轮叶片等热端部件的使用温度、工作效率及服役寿命。

2023-08-29

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一种掺杂碳化硅单晶、衬底及制备方法和使用的装置.pdf

本申请公开了一种掺杂碳化硅单晶、衬底及制备方法和使用的装置，属于半导体材料制备领域。该制备方法包括：将原料装入坩埚侧壁的夹层形成的原料腔，将籽晶柱安装在坩埚内，组装后放入长晶炉；升高长晶炉温度，使得原料升华后的升华气体穿过夹层内侧壁并沿径向气相传输至籽晶柱表面长晶得掺杂碳化硅单晶；所述包括碳化硅，和；原料还包括固相掺杂剂和/或，向坩埚内通入的气相掺杂剂。该方法可以制得任意体积的掺杂碳化硅单晶，尤其体积大和厚度高，长晶效率高，切割的衬底片数多；该方法制得的掺杂碳化硅单晶的零微管、螺位错低于100cm

2023-06-16

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一种高性能钪钇共掺杂氧化锆热防护涂层及其制备方法.pdf

一种高性能钪钇共掺杂氧化锆热防护涂层及其制备方法，将钪钇共掺杂氧化锆粉末采用超音速等离子喷涂技术在基体上制备涂层，其中超音速等离子喷涂技术的参数为：电流为300～600A、电压为100～180V、主气氩气流量为50～200slpm、二次气氢气流量为8～30slpm、喷涂距离为80～150mm、送粉量为20～60g/min以及喷枪移动速度为500～800mm/s。本发明制备的涂层是成分均匀的单一四方相结构，比目前广泛应用的氧化钇部分稳定二氧化锆涂层的热导率更低、高温相稳定性更好。本发明的涂层可以极大提高航空

2023-08-29

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