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一种HCL合成炉视镜自动清洗装置.pdf
2023-06-19
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猫巷****正德
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一种HCL合成炉视镜自动清洗装置.pdf
本发明涉及一种HCL合成炉视镜自动清洗装置，包括由左至右依次分布的视镜管路、清洗模块、石英视镜及压视镜法兰；石英视镜与压视镜法兰之间安装有密封垫A；清洗模块包括一视镜清洗底座，该视镜清洗底座与视镜管路之间安装有氟胶密封垫，与石英视镜之间安装有密封垫B，在视镜清洗底座的上端设置有一清洗液端口，该清洗液端口的下端连接有一倾斜设置并与视镜管路相连通的清洗液管道，且清洗液管道的出液口对着石英视镜，所述清洗液端口的进口处通过球阀与连接软管相连，所述连接软管的另一端通过自动控制阀与外界供水处相连。本发明的优点在于：能
2023-06-19
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