一种氮气纯化器及氮气纯化方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105399064A(43)申请公布日2016.03.16(21)申请号201510907889.6(22)申请日2015.12.10(71)申请人无锡拓能自动化科技有限公司地址214101江苏省无锡市新区长江路7号34号地块科技创业园二区502室(72)发明人薛晓刚陈华张彬卫(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200代理人张惠忠(51)Int.Cl.C01B21/04(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种氮气纯化器及氮气纯化方法(57)摘要本发明属于气体纯化器领域，具体为一种氮气纯化器及氮气纯化方法，包括在两个端部分别设有进气口和出气口的燃烧炉，两端分别设有进气口和出气口并且内部装有磷粉的反应釜，带有进气管和出气管的密闭的盛水容器和上下两端分别带有进气管和出气管的干燥筒；所述干燥筒中自下而上分布有若干层硅胶层；燃烧炉、反应釜、盛水容器和干燥筒依次连接，干燥筒的出气管连接收集罐。其采用化学反应和物理吸收相结合的方法对用于混有氧气及还原性气体的氮气进行除杂，整个工艺过程，节能环保并且原器材均可重复利用，节能又环保。CN105399064ACN105399064A权利要求书1/1页1.一种氮气纯化器，用于混有氧气及还原性气体的氮气的纯化；其特征在于，包括在两个端部分别设有进气口和出气口的燃烧炉，两端分别设有进气口和出气口并且内部装有磷粉的反应釜，带有进气管和出气管的密闭的盛水容器和上下两端分别带有进气管和出气管的干燥筒；所述干燥筒中自下而上分布有若干层硅胶层；燃烧炉、反应釜、盛水容器和干燥筒依次连接，干燥筒的出气管连接收集罐。2.根据权利要求1所述的氮气纯化器，其特征在于，还包括连接于干燥筒与收集罐之间的分子筛，所述分子筛为3A、4A或5A分子筛。3.根据权利要求1所述的氮气纯化器，其特征在于，所述混有氧气及还原性气体的氮气中还原性气体主要为一氧化碳、氢气和有机气体。4.根据权利要求1所述的氮气纯化器，其特征在于，所述反应釜为无机陶瓷材料。5.根据权利要求1或4所述的氮气纯化器，其特征在于，所述反应釜内布置有电热丝。6.根据权利要求1或4所述的氮气纯化器，其特征在于，所述反应釜上还设有透明的观察窗。7.根据权利要求1所述的氮气纯化器，其特征在于，所述燃烧炉的进气口周边还布置有若干个均匀分布的纯氧供应孔。8.一种氮气纯化的方法，其特征在于，包括如下步骤：a、混有氧气及还原性气体的氮气通过燃烧炉的进气口进入燃烧炉，燃烧炉通电引弧使得混有氧气及还原性气体的氮气中氧气与还原性气体反应，除去还原性气体；b、加热反应釜至反应釜的温度为50-90℃，经燃烧炉出气口的气体通入内部装有磷粉的反应釜，气体中的氧气与磷粉反应，除去氧气；c、经过反应釜出气口的气体经过密闭的盛水容器，除去可溶于水的成分，得到从盛水容器出气管出的气体；d、从盛水容器出气管出的气体经过干燥筒，干燥筒中从下到上分层安置的硅胶进行吸水，在干燥筒的最上层的硅胶未变色时，经过干燥筒的气体直接收入氮气收集罐。9.根据权利要求8所述的氮气纯化的方法，其特征在于，所述磷粉为红磷。2CN105399064A说明书1/3页一种氮气纯化器及氮气纯化方法技术领域[0001]本发明属于气体纯化器领域，具体为一种氮气纯化器及氮气纯化方法。背景技术[0002]半导体工业中，经常需要氢气、氮气、惰性气体(氦、氖、氩、氪、氙)、还原性气体(砷化氢、磷化氢、氨气、硅化氢等)，并且需要这些气体具有“超高纯度”，尤其是需要具有极低级含量的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等杂质。[0003]市场上的气体纯化器，通常是用铝、镁、锆等“活泼金属”担当吸气剂。当氢气、氮气、惰性气体(氦、氖、氩、氪、氙)、还原性气体(砷化氢、磷化氢、氨气、硅化氢等)通过这些活泼金属时，其中的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳被这些活泼金属吸收，气体得到纯化。然而这些活泼金属都是固体，当固体的表面吸收含氧元素后，变成金属氧化物，在金属表面结成一层“壳”，这一层“壳”阻碍了固体内部的金属进一步吸收。如中国CN103816770A“一种气体纯化器”，该气体纯化器包含一种液体合金材料，该液体合金材料放在一个不锈钢容器中；不锈钢容器上有气体入口和气体出口，气体入口插入液体合金中，气体出口在液体合金上面；当气体通过液体合金时，气体中的含氧元素的杂质气体都被该液体合金吸收；在气体入口上有一个防液体合金逆流装置，防止液体合金逆流而从气体入口喷出。又如中国文献1992年《铝加工》中“铝液净化装置中氮气纯化土艺的研究”其采用工业普氮经二级纯化和复式流程提高为高纯氮的工艺过程。[0004]但这种方法，效率都很低，用于吸收杂质气体的金属液体在吸收完