一种双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105925962A(43)申请公布日2016.09.07(21)申请号201610511024.2(22)申请日2016.06.30(71)申请人电子科技大学地址611731四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号(72)发明人陶伯万陈果赵睿鹏张亚辉薛炎赵晓辉熊杰李言荣(74)专利代理机构电子科技大学专利中心51203代理人吴姗霖(51)Int.Cl.C23C18/12(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机(57)摘要一种双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，包括至少一个镀膜系统，每个镀膜系统包括卷绕装置、溶液槽、烧结炉、排气风机，卷绕装置包括用于换向的第一滑轮和第二滑轮，用于实现多次镀膜的上、下滚轮组；基材通过放卷盘进入镀膜系统，经第一滑轮换向后卷绕于下滚轮组的一个滚轮上，依次通过溶液槽和烧结炉后完成一次成膜，经上滚轮换向后继续进入下滚轮组中的另一个滚轮上，开始第二次成膜，多次重复，直到下滚轮组的滚轮上全部卷绕基材后，完成薄膜的沉积。本发明卷绕镀膜机在不增加溶液槽和烧结炉的情况下实现了一次卷绕周期内基材双面多层膜的沉积，大大提高了卷绕镀膜机双面镀膜的效率，可实现长带材上多层薄膜的沉积。CN105925962ACN105925962A权利要求书1/1页1.一种双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，包括至少一个镀膜系统，每个镀膜系统包括卷绕装置、溶液槽、烧结炉、排气风机，所述溶液槽和烧结炉用于实现在基材上镀膜，所述排气风机用于及时将烧结炉内的气体排出，所述卷绕装置用于实现基材的放卷和收卷，其特征在于，所述卷绕装置包括用于换向的第一滑轮和第二滑轮，用于实现多次镀膜的上、下滚轮组，所述下滚轮组上的滚轮比上滚轮组上的滚轮多一个，下滚轮组完全浸泡于溶液槽内，上滚轮组与下滚轮组之间设置烧结炉；基材通过放卷盘进入镀膜系统，经第一滑轮换向后卷绕于下滚轮组中的一个滚轮上，依次通过溶液槽和烧结炉后完成一次成膜，然后经上滚轮换向后继续进入下滚轮组中的另一个滚轮上，开始第二次成膜，多次重复，直到下滚轮组的滚轮上全部卷绕基材后，完成薄膜的沉积，最后通过第二滑轮将沉积有薄膜的基材送入下一个镀膜系统或者经收卷盘送出。2.根据权利要求1所述的双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，其特征在于，所述溶液槽和烧结炉之间还可设置隔热板，用于将溶液槽和烧结炉隔离。3.根据权利要求2所述的双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，其特征在于，所述隔热板上还可设置冷却水装置，用于降低隔热板的温度。4.根据权利要求1所述的双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，其特征在于，所述镀膜系统中还包括补液装置，用于在工作过程中向溶液槽内补充溶液而不会引起气泡造成液面的波动。5.根据权利要求1所述的双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，其特征在于，所述镀膜系统中还包括位于上滚轮组附近的冷凝盘管深冷机构，用于对基材成膜过程中产生的气体进行冷凝，以保证上滚轮组的清洁。6.根据权利要求1所述的双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，其特征在于，所述下滚轮组上的滚轮为可拆卸式的，方便清洗。7.根据权利要求1所述的双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机，其特征在于，所述镀膜系统的个数可根据实际需求调整，所述上、下滚轮组中滚轮的个数可根据实际需求调整。2CN105925962A说明书1/4页一种双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机技术领域[0001]本发明属于柔性基材卷绕镀膜设备领域，具体涉及一种双面连续镀多层膜的金属有机沉积卷绕镀膜机。背景技术[0002]金属有机沉积(MOD)卷绕镀膜技术是在一定条件下利用金属有机沉积技术在卷料基材表面制备一层或多层功能薄膜的技术。MOD卷绕镀膜设备主要有以下特点：其一，被镀基材为柔性基材，即具有可卷绕性；其二、镀膜过程具有连续性，即在一定时间内镀膜是连续进行的；其三、镀膜过程为浸渍—提拉—烧结，即基材经过溶液后，在其表面沉积液膜，经烧结后得到功能薄膜。MOD卷绕镀膜设备在放卷和收卷过程中，在基材表面通过金属有机沉积技术形成薄膜，得到的薄膜表面均匀，具有薄膜成分易控制、生产成本低、无需复杂真空设备等优点，目前已广泛应用于大规模工业生产中。[0003]采用金属有机沉积技术在柔性基材上镀膜时，通常需要制备多层薄膜以满足应用需求，比如在制备第二代YBCO超导带材时，需在哈氏合金上先镀700nm以上的Y2O3薄膜以实现平坦化作用，该700nm厚的Y2O3薄膜需在0.2mol/L的溶液中镀20层以上的薄膜才能得到，然后再在其上镀功能薄膜层，得到YBCO超导带材。然而，传统镀膜方式每镀一层膜需