一种自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106207004A(43)申请公布日2016.12.07(21)申请号201510279748.4(22)申请日2015.05.27(66)本国优先权数据201410722619.32014.12.02CN(71)申请人四川虹视显示技术有限公司地址611731四川省成都市高新区(西区)科新西街168号(72)发明人田朝勇(74)专利代理机构成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227代理人王伟(51)Int.Cl.H01L51/56(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置(57)摘要本发明公开了一种自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置，包括烘烤炉、冷却炉、传送带一、传送带二、程序控制器、电机一、电机二和控制电脑，控制电脑与程序控制器相连，程序控制器分别与电机一、电机二、烘烤炉、冷却炉和机械臂相连，电机一还与烘烤炉相连，电机二还与冷却炉相连；烘烤炉和冷却炉相邻，并且冷却炉安置在烘烤炉的出口处。本发明的有益效果：能及时冷却玻璃基板；烘烤炉与冷却炉一体，加快生产节拍，生产效率更高；降低设备占用空间。CN106207004ACN106207004A权利要求书1/1页1.一种自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置，包括烘烤炉、冷却炉、传送带一、传送带二、程序控制器、电机一、电机二和控制电脑，控制电脑与程序控制器相连，程序控制器分别与电机一、电机二、烘烤炉、冷却炉和机械臂相连，电机一还与烘烤炉相连，电机二还与冷却炉相连；其特征在于：烘烤炉和冷却炉相邻，并且冷却炉安置在烘烤炉的出口处；所述烘烤炉内设置有三十个烘烤单元；所述冷却炉内设置有十个冷却单元。2.如权利要求1所述的自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置，其特征在于：所述烘烤炉每个烘烤单元包括烘烤基板装载台(1)、烘烤升降针(2)、烘烤滚轮(3)和烘烤传感器(4)；烘烤升降针(2)设置在烘烤基板装载台(1)顶面上，烘烤滚轮(3)设置在烘烤升降针(2)外的烘烤基板装载台(1)顶面上，烘烤传感器(4)设置在烘烤基板装载台(1)的顶面的中心处。3.如权利要求2所述的自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置，其特征在于：所述烘烤炉还包括烘烤炉门(9)、烘烤架(10)、烘烤升降机(11)和烘烤炉电机(12)；所有烘烤单元均在烘烤架(10)中，烘烤炉电机(12)与烘烤升降机(11)相连，烘烤架(10)设置在烘烤升降机(11)上，烘烤炉门(9)设置在烘烤架(10)上。4.如权利要求1所述的自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置，其特征在于：所述冷却炉每个冷却单元包括冷却基板装载台(5)、冷却升降针(6)、冷却滚轮(7)和冷却传感器(8)；冷却升降针(6)设置在冷却基板装载台(5)顶面上，冷却滚轮(7)设置在冷却升降针(6)外的冷却基板装载台(5)顶面上，冷却传感器(8)设置在冷却基板装载台(5)的顶面的中心处。5.如权利要求4所述的自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置，其特征在于：所述冷却炉还包括冷却架(13)、冷却升降机(14)和冷却炉电机(15)；所有冷却单元均在冷却架(13)中，冷却炉电机(15)与冷却升降机(14)相连，冷却架(13)设置在冷却升降机(14)上。2CN106207004A说明书1/3页一种自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置技术领域[0001]本发明涉及有机发光二极管(OLED)显示技术领域，具体而言涉及一种OLED生产中玻璃基板烘烤冷却的装置。背景技术[0002]OLED器件对水汽很敏感，且在某些制程中会将光刻胶作为器件的一部分，故需对玻璃基板进行烘烤，以便起到除去水分及坚膜的作用。为了满足工艺要求及生产节拍，一般烘烤工艺条件为：温度，200-250℃，时间，30-40min，这样经过烘烤的玻璃基板温度会很高，需要对玻璃基板进行冷却。目前常见的烘烤设备有以下几个缺点：烘烤装置与冷却装置分离，设备占用空间大；分离导致玻璃基板在经过高温烘烤后，不及时冷却，会造成一定变形，有时会出现真空吸不住玻璃基板的情况，严重时会导致玻璃基板在机械手上偏位而碎片；由于烘烤装置与冷却装置分离，烘烤工艺完成后，需将玻璃基板取出烘烤炉后再搬运至冷却炉中冷却，极大地延长了生产节拍。发明内容[0003]本发明是解决上述问题，提供一种在烘烤炉的出口处集成冷却炉的自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置。[0004]本发明的自动OLED玻璃基板烘烤冷却装置，包括烘烤炉、冷却炉、机械手、程序控制器、电机一、电机二和控制电脑，控制电脑与程序控制器相连，程序控制器分别与电机一、电机二、烘烤炉、冷却炉和机械臂相连，电机一还与烘烤炉相连，电机二还与冷却炉相连；烘烤炉和冷却炉相邻，并且冷却炉安置在烘烤炉的出口处；所述烘烤炉内