一种OLED玻璃基板烘烤冷却一体机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106207007A(43)申请公布日2016.12.07(21)申请号201510288862.3(22)申请日2015.05.29(66)本国优先权数据201410782153.62014.12.17CN(71)申请人四川虹视显示技术有限公司地址611731四川省成都市高新区(西区)科新西街168号(72)发明人任海(74)专利代理机构成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227代理人王伟(51)Int.Cl.H01L51/56(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种OLED玻璃基板烘烤冷却一体机(57)摘要本发明属于OLED显示技术领域，具体的说公开了一种OLED玻璃基板烘烤冷却一体机，包括烘烤炉和冷却炉，烘烤炉四周封闭，前端设置有进料炉门，烘烤炉后端通过过渡通道与冷却炉连通，烘烤炉与过渡通道间设置有活动隔离炉门，将烘烤与冷却设备集成为一体，OLED玻璃基板可以连续的完成烘烤冷却工序，整个设备的占用空间小，可以及时的冷却玻璃基板，加快了生产节拍，节约了时间，提高了效率，同时增加了过渡通道，使烘烤炉内的热量流失减慢，保证了烘烤炉内的温度的稳定，降低了能耗。CN106207007ACN106207007A权利要求书1/1页1.一种OLED玻璃基板烘烤冷却一体机，其特征在于：包括烘烤炉和冷却炉，烘烤炉四周封闭，前端设置有进料炉门，烘烤炉后端通过过渡通道与冷却炉连通，烘烤炉与过渡通道间设置有活动隔离炉门，烘烤炉内设置有至少一层烘烤单元，烘烤单元包括固定在烘烤炉侧壁的烘烤平台及安装在烘烤平台上的滚轮和升降针，冷却炉内与烘烤炉烘烤单元相对位置设置有冷却单元，冷却单元包括固定在支架上的冷却平台及安装在冷却平台上的滚轮和升降针，烘烤炉底部和侧壁均安装有加热电阻丝或者加热管道，冷却炉底部和顶部均安装有压缩空气吹气管。2.根据权利要求1所述的OLED玻璃基板烘烤冷却一体机，其特征在于：所述烘烤炉内还安装有循环风机。3.根据权利要求1所述的OLED玻璃基板烘烤冷却一体机，其特征在于：所述烘烤炉与冷却炉内的滚轮均由步进电机驱动，所述烘烤炉与冷却炉内的升降针均由气缸驱动。4.根据权利要求1所述的OLED玻璃基板烘烤冷却一体机，其特征在于：每个烘烤平台上的升降针有四个，安装在滚轮外侧，分别位于烘烤平台四角处，每个冷却平台上的升降针有四个，安装在滚轮外侧，分别位于冷却平台四角处。5.根据权利要求1所述的OLED玻璃基板烘烤冷却一体机，其特征在于：所述冷却平台上安装有玻璃基板检测传感器，所述玻璃基板检测传感器位于冷却炉进口处。6.根据权利要求1所述的OLED玻璃基板烘烤冷却一体机，其特征在于：所述过渡通道内设置有滚轮。2CN106207007A说明书1/3页一种OLED玻璃基板烘烤冷却一体机技术领域[0001]本发明属于OLED显示技术领域，具体的说公开了一种OLED玻璃基板烘烤冷却一体机。背景技术[0002]有机发光二极管简称OLED，又称为有机电激光显示。OLED显示技术具有自发光的特性，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏幕可视角度大，并且能够节省电能，现已得到广泛运用。OLED在制作过程中，会有很多低温烘烤工序，其主要目的是为了去除玻璃基板上残留的水分。为了满足工艺要求及生产节拍，一般低温烘烤的工艺条件为：温度，200-300℃，时间，30-40min，这样经过烘烤的玻璃基板温度会很高，会对后续制作造成一定影响，故需对烘烤过的玻璃基板进行冷却。目前常见的烘烤设备有以下几个缺点：(1)烘烤装置与冷却装置分离，设备占用洁净室面积大；(2)烘烤、冷却装置分离，延长了生产节拍；(3)烘烤装置与冷却装置内部温度无法测量，易造成烘烤和冷却的不足或者过渡，对玻璃基板的质量造成影响；(4)整个烘烤和冷却装置智能化自动化程度不高，造成生产效率的不高。发明内容[0003]本发明旨在提供一种OLED玻璃基板烘烤冷却一体机，很好的解决了上述问题，将烘烤与冷却设备集成为一体，OLED玻璃基板可以连续的完成烘烤冷却工序，整个设备的占用空间小，可以及时的冷却玻璃基板，加快了生产节拍，节约了时间，提高了效率，同时增加了过渡通道，使烘烤炉内的热量流失减慢，保证了烘烤炉内的温度的稳定，降低了能耗。[0004]本发明的技术方案具体为：一种OLED玻璃基板烘烤冷却一体机：包括烘烤炉和冷却炉，烘烤炉四周封闭，前端设置有进料炉门，烘烤炉后端通过过渡通道与冷却炉连通，烘烤炉与过渡通道间设置有活动隔离炉门，烘烤炉内设置有至少一层烘烤单元，烘烤单元包括固定在烘烤炉侧壁的烘烤平台及安装在烘烤平台上的滚轮和升降针，冷却炉内与烘烤炉烘烤单