一种电磁加热感应炉用炉管温度监测装置.pdf
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一种电磁加热感应炉用炉管温度监测装置.pdf
一种电磁加热感应炉用炉管温度监测装置,包括电磁加热感应炉,电磁加热感应炉在其顶盖设置有一测温孔,在该测温孔处设置有一温度传感器,温度传感器其一端与中央控制室监控系统信号线路连接,而另一端则与一纵向定位管的上端连接,该纵向定位管的下端与设置在电磁加热感应炉内的温度监测装置连接,温度传感器的探针通过纵向定位管深入至温度监测装置来监测电磁加热感应炉的炉内温度,并将温度数据传递至温度传感器,最后再通过信号线路传递至中央控制室监控系统。本发明结构简单、安全可靠,检修、维护便捷。本发明有效地监测除感应式加任意一炉管温
一种加热温度监测装置.pdf
本发明公开了一种加热温度监测装置,包括外壳,所述外壳前端面从上往下依次设置有温度显示屏和调控按钮,所述外壳上端固定连接有等距分布的连接线,所述连接线的端头处固定连接有温度传感器。该加热温度监测装置,在装置的两端通过滑动槽和滑动块的配合使用,设置有可拆卸的侧支架,通过螺栓进一步加强侧支架的稳定性,在侧支架内侧设置有风扇,通过风扇的转动降低装置内的温度,提高装置内零部件的使用寿命,且装置两端开设有方形孔,方形孔内设置有叶片,通过风扇带动叶片转动,加速装置内空气的流通,提高散热效果,并且在风扇不启动的情况下,叶
一种用于电热转换的电磁加热器用温度调节装置.pdf
本实用新型公开了一种用于电热转换的电磁加热器用温度调节装置,涉及电磁加热器辅助设备技术领域,本实用新型包括机底座,机底座的顶部设有机箱,机箱的顶部设有箱顶板,箱顶板的顶部中心处贯穿开设有通风口,通风口的内部设有散热机构,机箱的内部设有升温机构。散热机构包括散热扇、吸汽棉、制冷器和螺旋冷却管,升温机构包括固定块、固定杆和螺旋电加热管,机箱的两内侧壁均对称固定连接有两个固定块,两个固定块之间固定连接有固定杆,固定杆的外周面套设有螺旋电加热管。本实用新型为一种用于电热转换的电磁加热器用温度调节装置,具备自动调节
一种电磁感应加热炉管.pdf
本申请实施例提供的一种电磁感应加热炉管,其特征在于,包括炉管、保温层、感应线圈、热电偶、控制设备和电源设备,其中炉管中连续通过被加热介质,保温层被布置于炉管的外壁,感应线圈缠绕于保温层的外部,通过控制设备与电源设备相连,以基于电磁感应原理加热炉管;热电偶用于测量炉管管壁温度或介质温度,控制设备根据热电偶的测量结果控制炉管管壁温度或介质温度;通过该电磁感应加热炉管可以对炉管内介质稳定、环保、高效的加热。
温度缓冲装置及炉管系统.pdf
本发明公开了一种温度缓冲装置及炉管系统,通过一个能够调控水蒸气温度的温度调控装置,将水蒸气的温度尽可能地靠近或达到所需要的温度,使得反应腔内的反应状况可以得到控制,避免了现有技术中温度差异较大而无法有效控制反应,即避免了产生二氧化硅层时厚度过厚,平整度较差等问题,从而提高了形成的二氧化硅层厚度的准确性和平整度,也能够保证晶圆之间的平整度差异较小,大大的提高了产品的质量。