石墨化炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106458596A(43)申请公布日2017.02.22(21)申请号201580024640.9(74)专利代理机构上海立群专利代理事务所(普通(22)申请日2015.05.07合伙)31291代理人杨楷毛立群(30)优先权数据2014-0990652014.05.12JP(51)Int.Cl.2014-0990662014.05.12JPC01B31/04(2006.01)F27B1/08(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日F27D11/02(2006.01)2016.11.09H05B3/00(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据H05B3/62(2006.01)PCT/JP2015/0631942015.05.07(87)PCT国际申请的公布数据WO2015/174320JA2015.11.19(71)申请人株式会社IHI地址日本国东京都申请人IHI机械系统股份有限公司(72)发明人松田至康隐善厚生权利要求书1页说明书12页附图3页(54)发明名称石墨化炉(57)摘要该石墨化炉(1A)具备：第1电极(8)；第2电极(9)，与第1电极对置地配置；第1通电加热发热体(11)，被设置在与第2电极对置的第1电极的表面上；第2通电加热发热体(12)，被设置在与第1电极对置的第2电极的表面上。第1以及第2通电加热发热体，构成为在它们之间能够配置被处理物(W1)。此外，该石墨化炉以如下的方式构成：通过对第1电极和第2电极之间通电，加热被配置在第1以及第2通电加热发热体之间的被处理物而使其石墨化。CN106458596ACN106458596A权利要求书1/1页1.一种石墨化炉，加热被处理物而使其石墨化，具备：第1电极；第2电极，与所述第1电极对置地配置；第1通电加热发热体，设置在与所述第2电极对置的所述第1电极的表面上；第2通电加热发热体，设置在与所述第1电极对置的所述第2电极的表面上，所述第1通电加热发热体和所述第2通电加热发热体构成为在它们之间能够配置被处理物，通过对所述第1电极和所述第2电极之间通电，加热被配置在所述第1通电加热发热体和所述第2通电加热发热体之间的所述被处理物而使其石墨化。2.如权利要求1所述的石墨化炉，其特征在于，所述第1通电加热发热体和所述第2通电加热发热体构成为在它们之间能够挟持容纳有所述被处理物的导电性坩埚。3.如权利要求2所述的石墨化炉，其特征在于，所述第1通电加热发热体和所述第2通电加热发热体构成为在它们之间能够串联地配设多个所述坩埚。4.如权利要求2所述的石墨化炉，其特征在于，所述第1通电加热发热体以及所述第2通电加热发热体的电阻率均比所述坩埚的电阻率大。5.如权利要求3所述的石墨化炉，其特征在于，所述第1通电加热发热体以及所述第2通电加热发热体的电阻率均比所述多个坩埚的电阻率大。6.如权利要求2～5中的任一项所述的石墨化炉，其特征在于，与所述坩埚抵接的所述第1通电加热发热体的表面为与所述第1通电加热发热体抵接的所述坩埚的端面以上的大小，并且与所述坩埚抵接的所述第2通电加热发热体的表面为与所述第2通电加热发热体抵接的所述坩埚的端面以上的大小。7.如权利要求1所述的石墨化炉，其特征在于，所述第1通电加热发热体和所述第2通电加热发热体构成为在它们之间能够挟持成形后的导电性成形被处理物。8.如权利要求7所述的石墨化炉，其特征在于，所述第1通电加热发热体以及所述第2通电加热发热体的电阻率均比所述成形被处理物的电阻率大。9.如权利要求7或8所述的石墨化炉，其特征在于，与所述成形被处理物抵接的所述第1通电加热发热体的表面为与所述第1通电加热发热体抵接的所述成形被处理物的端面以上的大小，并且与所述成形被处理物抵接的所述第2通电加热发热体的表面为与所述第2通电加热发热体抵接的所述成形被处理物的端面以上的大小。2CN106458596A说明书1/12页石墨化炉技术领域[0001]本发明涉及石墨化炉。[0002]本申请基于2014年5月12日在日本申请的特愿2014－99065号、以及2014年5月12日在日本申请的特愿2014－99066号主张优先权，在此引用其内容。背景技术[0003]石墨(graphite)具有润滑性、导电性、耐热性、耐化学品性等在工业上的优良性质，被用于半导体领域、核领域、航空/机械领域等广泛的领域。石墨是例如将碳粉末在石墨化炉中加热到高温(例如2000℃～3000℃)制造的。[0004]作为这样的石墨化炉，提出有将碳粉末容纳在坩埚内，在该碳粉末中插入分离电极的下端部并对该分离电极通电加热，将容纳在坩埚内的碳粉末石墨化的技术(例如，参照专利文献1)。[0005]此外，近年来，使用各种性