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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106493532A(43)申请公布日2017.03.15(21)申请号201610970993.4(22)申请日2016.10.28(71)申请人北京七星华创电子股份有限公司地址100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号(72)发明人邱江虹刘红丽康飞侯建明(74)专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275代理人陶金龙张磊(51)Int.Cl.B23P19/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称一种可快速定位的炉体装卸装置(57)摘要本发明公开了一种可快速定位的炉体装卸装置,通过在热处理设备和炉体装卸装置的对应位置之间设置炉体装卸定位机构,包括分设于热处理设备底板上的一对限位单元和对应设于炉体装卸装置主体支架底部的框架前端的一对滚动单元,限位单元设有导向板,滚动单元设有滚轮,两个导向板之间的开口大于两个滚轮之间的间距,在将炉体装卸装置移向热处理设备的要求位置以进行炉体装卸时,通过先调整使两个滚轮位于两个导向板的开口之间,利用导向板对滚轮的导向作用,以使炉体装卸装置被快速准确地定位至要求位置。本发明具有结构简单、操作方便且成本较低的有益优点。CN106493532ACN106493532A权利要求书1/2页1.一种可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,包括:主体支架,其为矩形框架结构;前传送架,一端安装在主体支架顶部的框架前端,并受驱动进行升降;中间传送架,安装在主体支架顶部的框架两侧,并与前传送架之间形成对接;后传送架,一端安装在主体支架顶部的框架后端,并与中间传送架之间形成对接;炉体装卸定位机构,包括分设于热处理设备底板上的一对限位单元和对应设于主体支架底部的框架前端的一对滚动单元,所述限位单元设有导向板,所述滚动单元设有滚轮,两个所述导向板之间的开口大于两个所述滚轮之间的间距;在将炉体装卸装置移向热处理设备的要求位置以进行炉体装卸时,通过先调整使两个所述滚轮位于两个所述导向板的开口之间,利用所述导向板对所述滚轮的导向作用,以使炉体装卸装置被快速准确地定位至要求位置。2.根据权利要求1所述的可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,所述限位单元包括:定位底块,与热处理设备底板连接;连接块,与定位底块连接,其具有面向滚动单元滚轮的限位端面,其决定炉体装卸装置相对于热处理设备的远近位置;导向板,连接在连接块外侧,其具有对滚动单元滚轮进行导向的限位侧面,其最里侧决定炉体装卸装置相对于热处理设备的横向位置。3.根据权利要求2所述的可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,所述滚动单元包括:定位板,与主体支架底部的框架前端连接;定位支撑板,与定位板连接,其前端具有安装滚轮的安装面;滚轮,水平转动安装在定位支撑板前端的安装面上;通过限位单元的连接块限位端面以及导向板限位侧面对滚轮的正向及侧向限位,使所述炉体装卸装置正确位于热处理设备的要求位置。4.根据权利要求2所述的可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,所述限位侧面为斜面或弧面。5.根据权利要求3所述的可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,所述定位支撑板前端的安装面为水平面,并与滚轮之间具有间隙。6.根据权利要求2所述的可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,所述导向板采用PTFE或PA材质制作。7.根据权利要求1所述的可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,还包括前传送架高度调整机构,安装在主体支架顶部的框架前端,所述前传送架的一端安装在前传送架高度调整机构上,并受其带动进行升降。8.根据权利要求1所述的可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,所述前传送架采用滚珠传动形式,所述中间传送架和后传送架采用滚轮传动形式。9.根据权利要求7所述的可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,还包括两个炉体固定支架,其中一个安装在前传送架高度调整机构上,另一个安装在主体支架顶部的框架后端,用于防止炉体在中间传送架上前后移动。2CN106493532A权利要求书2/2页10.根据权利要求1所述的可快速定位的炉体装卸装置,其特征在于,还包括:安全护板,安装在主体支架的框架顶部,用于在炉体装卸时供装配人员站立以进行辅助操作;配重块,在主体支架的框架中部位置活动设置,用于调节炉体装卸装置的重心;地脚,安装在主体支架底部的各个角部,用于支撑主体支架和调整炉体装卸装置的高度;脚轮,安装在主体支架底部的各个边部,其高度可调,用于移动炉体装卸装置;插板,固定在主体支架的底部前端,用于在炉体位于后传送架上时,防止炉体装卸装置向后侧倾倒。3CN106493532A说明书1/6页一种可快速定位的炉体装卸装置技术领域[0001]本发明涉及半导体设备技术领域,更具体地,涉及一种可快速定位的炉体装卸装置。背景技术[0