一种退火炉温场校准温度计自动升降装置.pdf
一条****淑淑
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一种退火炉温场校准温度计自动升降装置.pdf
本发明涉及一种退火炉温场校准温度计自动升降装置。所述装置主要包括调平垫、固定底座、控制器、水平仪、声光提示器、刻度尺、导轨基座、电机、螺杆、滑臂、指针与固定夹。本发明使用时,调平垫与水平仪使装置与工作台面保持水平;控制器控制电机使滑臂带动校准温度计上下移动;声光提示器提醒操作人员记录数据。避免了人工操作温度计易与孔壁摩擦,移动距离、时间不准确的问题。具有结构简单,操作方便,安全可靠等优点,有效降低了劳动强度并提高了退火炉温场校准的效率与水平。
退火炉温度计校准方法及装置.pdf
本发明提供了一种退火炉温度计校准方法及装置,属于半导体制造技术领域。退火炉温度计校准方法,包括:确定退火炉的待校准的温度计对应的第一关系曲线,所述第一关系曲线为硅片氧化膜厚度与温度之间的对应关系曲线;获取所述退火炉内、所述待校准的温度计的位置处的硅片的第一氧化膜厚度;根据所述第一关系曲线确定与所述第一氧化膜厚度对应的温度值;根据所述温度值对所述待校准的温度计的示数进行校准。本发明的技术方案能够对退火炉的温度计进行校准,进而利用温度计可以对退火工艺过程中的温度进行准确监测。
一种利用标准热电偶自动校准检定炉温度场的装置.pdf
本发明涉及一种利用标准热电偶自动校准检定炉温度场的装置,包括底座、用于固定标准热电偶的固定机构、可固定和驱动与标准热电偶平行设置的移动热电偶沿标准热电偶长度方向移动的直线机构、可固定和驱动与标准热电偶平行设置的旋转热电偶以标准热电偶的轴线为圆心绕标准热电偶旋转的旋转机构和控制器。使用时,通过主令开关、触摸屏幕上的指令按钮或软件来控制步进电机进而驱动直线机构和旋转机构运动,进一步的驱动直线移动用标准热电偶和旋转用标准热电偶的运动;测得的热电动势则传输给控制器,并计算出炉内测点的温度,将温度和温场情况显示在触
退火电炉炉盖自动升降装置.pdf
本发明公开了一种退火电炉炉盖自动升降装置,该自动升降装置包括含有端头导轮和末端导轮在内的若干个导轮组成的导轮组,导轮组中的导轮连续有规律的排列分布在炉盖的侧框和顶框上,导轮组排列的长度与炉盖的垂直方向上的长度是一致的;还包括有连接导轮组中各个导轮的钢丝绳,所述钢丝绳由电机驱动,电机设置有启闭开关。采用本发明技术方案的炉盖自动升降装置,操作灵活、节省了工人劳动强度、实现了炉盖的自动升降。优选的技术方案是端头导轮卡合在所述侧框上设置的能够阻止端头导轮下滑的第一卡槽内,产生的有益效果是避免了炉盖在下降过程中因自
一种热处理马弗炉温度校准装置.pdf
本实用新型涉及温度校准装置技术领域,尤其是一种热处理马弗炉温度校准装置,包括依次连接的热电偶、补偿导线和无纸记录仪,所述热电偶的数量为5根,5根热电偶的测量头处于同一垂面内,其中4根热电偶的测量头分布于四周,1根热电偶的测量头位于中心。该装置可以快速满足马弗炉的温度校验的要求,从而保证在试验和生产中,合金热处理温度的准确性,提高科研、生产效率。