一种生产单晶硅石英坩埚的机械装置.pdf
猫巷****觅蓉
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一种生产单晶硅石英坩埚的机械装置.pdf
本发明公开了一种生产单晶硅石英坩埚的机械装置,该装置属于熔融石英再加工领域,包括:粉碎机、第一振动筛、第二振动筛、不锈钢模具、烘干机、修坯机、窑炉;其特征是:粉碎机上设有熔融石英块进口、粉碎机1和第一振动筛间设有第一输送机,第一振动筛上设有0.4毫米以下级石英砂出口,第一振动筛和第二振动筛3间设有第二输送机,第二振动筛上设有0.6毫米以上级石英砂出口,第二振动筛和不锈钢模具间设有第三输送机,不锈钢模具上设有辅料进口,不锈钢模具和烘干机间设有第四输送机,烘干机和修坯机间设有第五输送机,修坯机和窑炉间设有第六
一种生产多晶硅石英坩埚的机械装置.pdf
本发明公开了一种生产多晶硅石英坩埚的机械装置,该装置属于熔融石英再加工领域,包括:球磨机(1)、均化机(2)、混料机(3)、坩埚模具(4)、烘干机(5)、窑炉(6、)车磨机(7);其特征是:球磨机(1)上设有熔融石英硅微粉进口(8)、球磨机(1)和均化机(2)间设有第一输送机(9),均化机(2)和混料机(3)间设有第二输送机(10),混料机(3)上设有辅料进口(11),混料机(3)和坩埚模具(4)间设有第三输送机(12),坩埚模具(4)和烘干机(5)间设有第四输送机(13),烘干机(5)和窑炉(6)间设有
坩埚支承底座、石英坩埚支承装置及单晶硅的制造方法.pdf
本发明的坩埚支承底座(12)具备能够嵌合分割石墨部件(11)的嵌合凹部(122),嵌合凹部(122)的开口边缘(123)构成为,与分割石墨部件(11)接触的接触部(P1)设置在比培育单晶硅之后残留在石英坩埚(221)的硅熔液的固化物(M1)的表面更高的位置,伴随着硅熔液固化时的膨胀而作用在分割石墨部件(11)的力作用在比接触部(P1)更低的位置。
一种用于生产单晶硅棒的石英坩埚、坩埚组件及拉晶炉.pdf
本发明实施例公开了一种石英坩埚,所述石英坩埚包括:底部部分;周向部分,所述周向部分包括径向内侧上的附加层;其中,所述附加层包括富氧层以及设置在所述富氧层上的硅基富氢层。石英坩埚的硅基富氢层将首先被分解并且分解出的氢将在对流的作用下浸入单晶硅棒中,由此可以抑制氧的析出,进而抑制单晶硅棒中缺陷的形核后进一步聚集长大以将该缺陷控制在较小尺寸并且可以很好地解决拉晶前期单晶硅棒局部氧偏高的问题,由此提高了晶棒的整体良率;而且随着硅基富氢层的减薄,富氧层暴露于硅溶液,大量的氧析出,提高了此时单晶硅棒中氧的浸入,进而提
一种石英坩埚制备装置.pdf
本发明公开了一种石英坩埚制备装置,包括纵截面为U型的模具主体,所述模具主体包括设置在内部的内腔体以及外部用于制备石英坩埚的外腔体,所述内腔体、所述外腔体与所述石英坩埚的外形相同,所述内腔体设置有竖直方向的冷却通道,所述冷却通道的进水口和出水口位于所述模具主体的底部。通过在模具主体设置在内部的内腔体以及外部用于制备石英坩埚的外腔体,在内腔体设置竖直方向的冷却通道,所述冷却通道的进水口和出水口位于所述模具主体的底部,使得可以在制备石英坩埚的过程中,通过冷却通道的进水口和出水口,将冷却水的输入和输出,使得可以使