一种多晶硅还原炉电源.pdf
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一种多晶硅还原炉电源.pdf
本申请公开了一种多晶硅还原炉电源,包括:还原变压器的一次侧连接供电线路,还原变压器的二次侧包括相互独立的启动电源和工作电源,启动电源、整流电路、启动开关和n个串联的硅芯串联,工作电源、工作开关和n个串联的硅芯串联,工作开关与整流电路和启动开关并联,每个击穿开关与相应的硅芯并联,n为正整数。可见,本发明利用启动开关和工作开关完成对启动模式和工作模式的切换,增加启动电源,为启动时增加电压,同时利用整流电路将工作电源的电压也用在启动上,再利用击穿开关,依次启动硅芯,完成了对硅芯启动顺序的控制,利用还原变压器的二
一种多晶硅还原炉电源系统.pdf
本发明公开了一种多晶硅还原炉电源系统,包括工频电源,工频电源的输出端连接于负载的两端,还包括高频电源和用于使高频电源与工频电源叠加的耦合谐振槽路,耦合谐振槽路设于高频电源的输出端,耦合谐振槽路的输出端连接于负载的两端。此种多晶硅还原炉电源系统中,工频电源与高频电源并列叠加运行为同一负载供电,硅棒内外温差梯度较小,硅棒内外温度分布更加均匀,可以防止硅芯熔化,减少硅芯机械应力,避免裂棒和系统停车,减少热点,使硅棒能够生长成的直径更大一些,生产效率得到提高;此种复合电源能够合理利用高频电源的集肤效应,以较小的电
一种多晶硅还原炉的电源系统.pdf
本申请公开了一种多晶硅还原炉的电源系统,包括还原电源模块、升压模块、可控开关模块和控制器;控制器分别与还原电源模块、升压模块和可控开关模块连接,还原电源模块与升压模块的输入端连接,升压模块的输出端与多晶硅还原炉的硅芯组连接,可控开关模块分别与还原电源模块的输出端和硅芯组连接;控制器用于多晶硅还原炉启动时控制升压模块将还原电源模块提供的初始电压升压至多晶硅还原炉的启动电压,以击穿硅芯组,还用于当硅芯组中产生电流时闭合可控开关模块,同时断开升压模块,以控制还原电源模块为多晶硅还原炉提供电能。本申请大大节约了多
一种多晶硅还原炉电源控制装置.pdf
本发明公开了一种多晶硅还原炉电源控制装置,它包括电压电流模件、温度传感模件、数字滤波模件、相位跟踪模件、开入开出模件、控制模件、光触发模件、现场总线模件、晶闸管驱动模件、HMI模件;电压电流模件将硅棒上的高电压、大电流变成小于5V的模拟信号,温度传感模件将还原炉硅棒的温度变成小于5V的模拟信号,模拟信号通过数字滤波模件将高频干扰信号滤除并采样生成计算机能识别的数字信号,控制模件根据数字信号实现控制策略,再通过光触发模件或开入开出模件实现对硅棒电流的控制及连接方法的转换,晶闸管驱动模件可以直接驱动高压一次部
多晶硅还原炉加热电源的设计.docx
多晶硅还原炉加热电源的设计多晶硅还原炉加热电源的设计摘要多晶硅还原炉是制备单晶硅的关键设备之一。在多晶硅还原炉的运行中,加热电源起着至关重要的作用。本文主要介绍了多晶硅还原炉加热电源的设计原理和关键技术,分析了不同类型加热电源的优缺点,并提出了进一步改进的建议。1.引言多晶硅还原炉是制备单晶硅的核心设备之一。在多晶硅还原炉的运行过程中,加热电源负责提供所需的热能。加热电源的设计和性能直接影响多晶硅还原炉的工作效率和晶体质量。本论文将围绕多晶硅还原炉加热电源的设计进行研究。2.多晶硅还原炉加热电源的设计原理