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蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法.pdf
2023-06-18
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新槐****公主
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蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法.pdf
本申请实施例公开一种蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法，该装置包括晶体生长室和坩埚置换室，晶体生长室设置于坩埚置换室的顶部，晶体生长室的底部与坩埚置换室连通，晶体生长室与坩埚置换室相连通的区域设置有开合部件；坩埚置换室内部设置有冷却平台、换料平台、上下料平台以及坩埚运送组件；通过本申请实施例提供的蓝宝石长晶炉置换坩埚装置及方法，可在坩埚置换室内，对装有退火后的高温晶体的坩埚与装有原料的坩埚进行置换，将装有原料的坩埚置换入长晶炉后直接升温、长晶；置换出的装有退火后的高温晶体的坩埚，可在坩埚置换室内自然冷却，缩短
2023-06-18
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蓝宝石长晶炉.pdf
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2023-06-18
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2023-06-20
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