一种基于银纳米颗粒的复合紫外增强薄膜及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107142453A(43)申请公布日2017.09.08(21)申请号201710277557.3(22)申请日2017.04.25(71)申请人上海理工大学地址200093上海市杨浦区军工路516号(72)发明人陶春先阮俊马守宝张大伟洪瑞金韩朝霞(74)专利代理机构上海德昭知识产权代理有限公司31204代理人郁旦蓉黄贞君(51)Int.Cl.C23C14/18(2006.01)C23C14/58(2006.01)C23C14/10(2006.01)C23C14/30(2006.01)C23C14/26(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种基于银纳米颗粒的复合紫外增强薄膜及其制备方法(57)摘要本发明是为了解决荧光单层薄膜在紫外波段发光效率很低的问题而进行的。本发明提供的基于银纳米颗粒的复合紫外增强薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤一，将石英衬底进行清洗后烘干；步骤二，利用真空热蒸发在石英衬底上形成一层银纳米薄膜，银纳米薄膜的厚度为10～25nm；步骤三，将附着银纳米薄膜的石英衬底在马弗炉中进行退火处理，退火温度为200～350℃退火10～15分钟，银纳米薄膜在石英衬底上转化为银纳米颗粒层；步骤四，利用电子束蒸发在银纳米颗粒层上制备SiO2薄膜层，SiO2薄膜的厚度为10～25nm；以及步骤五，通过热阻蒸发在SiO2薄膜层上制备荧光薄膜层，荧光薄膜层的厚度为10～25nm，制备得到附着在石英衬底上的复合紫外增强薄膜。CN107142453ACN107142453A权利要求书1/1页1.一种基于银纳米颗粒的复合紫外增强薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，将石英衬底进行清洗后烘干；步骤二，利用真空热蒸发在所述石英衬底上形成一层银纳米薄膜，所述银纳米薄膜的厚度为10～25nm；步骤三，将附着所述银纳米薄膜的所述石英衬底在马弗炉中进行退火处理，退火温度为200～350℃退火10～15分钟，所述银纳米薄膜在所述石英衬底上转化为银纳米颗粒层；步骤四，利用电子束蒸发在所述银纳米颗粒层上制备SiO2薄膜层，所述SiO2薄膜的厚度为10～25nm；以及步骤五，通过热阻蒸发在所述SiO2薄膜层上制备荧光薄膜层，所述荧光薄膜层的厚度为10～25nm，制备得到附着在所述石英衬底上的所述复合紫外增强薄膜。2.根据权利要求1所述的复合紫外增强薄膜的制备方法，其特征在于：其中，在步骤一中，将所述石英衬底依次用去离子水、弱碱性清洗试剂进行超声波清洗，再用体积比为3:7的无水乙醇与乙醚的混合溶液进行浸泡清洗，最后利用干燥箱烘干。3.根据权利要求1所述的复合紫外增强薄膜的制备方法，其特征在于：其中，在步骤二中，所述银纳米薄膜的沉积速率为0.2nm/s。4.根据权利要求1所述的复合紫外增强薄膜的制备方法，其特征在于：其中，在步骤四中，所述SiO2薄膜的蒸发速率为0.3nm/s。5.根据权利要求1所述的复合紫外增强薄膜的制备方法，其特征在于：其中，在步骤五中，所述荧光薄膜层的镀膜速率为0.2～0.5nm/s。6.一种复合紫外增强薄膜，覆着在石英衬底上，其特征在于：所述复合紫外增强薄膜是采用权利要求1～5中的任意一种方法制备得到。2CN107142453A说明书1/3页一种基于银纳米颗粒的复合紫外增强薄膜及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及一种基于银纳米颗粒的复合紫外增强薄膜及其制备方法。背景技术[0002]荧光在照明、生物医疗、食品安全、以及环境物质勘测方面有非常广泛的用途。如利用蛋白质的内源荧光对蛋白质的结构和性质以及含量变化进行探测，将荧光物质如ANS结合蛋白质并作为荧光探针对蛋白质的构像进行检测；利用荧光特性对含有一定毒性的合成食品色素的等食品添加剂进行检测；利用三维荧光光谱法对原油及石油产品进行了光谱指纹的鉴别等等。为了实现对荧光材料的高灵敏探测，除了需要灵敏度较高的荧光探测器之外，对荧光材料的量子效率和光稳定性都具有较高的要求。但多数的荧光材料的发光效率非常低，因此需要采取一种有效的方法来提高荧光材料的发光强度。发明内容[0003]本发明是为了解决荧光(Lumogen)单层薄膜在紫外波段发光效率很低的问题而进行的，目的在于提供一种基于银纳米颗粒的复合紫外增强薄膜及其制备方法。[0004]本发明提供了一种基于银纳米颗粒的复合紫外增强薄膜的制备方法，具有这样的特征，包括以下步骤：步骤一，将石英衬底进行清洗后烘干；步骤二，利用真空热蒸发在石英衬底上形成一层银纳米薄膜，银纳米薄膜的厚度为10～25nm；步骤三，将附着银纳米薄膜的石英衬底在马弗炉中进行退火处理，退火温度为200～350℃退火10～15分钟，银纳米薄膜在石英衬底上转化为银