辉光离子渗氮内热壁式真空离子渗氮炉及其使用方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107385382A(43)申请公布日2017.11.24(21)申请号201710776211.8(22)申请日2017.08.31(71)申请人武汉武热研热处理科技有限公司地址430300湖北省武汉市黄陂区横店街正通大道98号（金禾机械院内）(72)发明人黄健(74)专利代理机构武汉宇晨专利事务所42001代理人王敏锋(51)Int.Cl.C23C8/36(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图2页(54)发明名称辉光离子渗氮内热壁式真空离子渗氮炉及其使用方法(57)摘要本发明公开了一种辉光离子渗氮内热壁式真空离子渗氮炉。它包括炉筒体、电阻加热元件，内热壁；内热壁呈环形，内热壁位于炉筒体内、内热壁内径大于阴极盘外径，三个或多个沿轴向重叠放置的内热壁构成一组内热壁组件，内热壁组件位于炉筒体内，内热壁组件的上端位于电阻加热元件上端的侧上方，内热壁组件的下端位于电阻加热元件下端的侧下方，阴极盘位于内热壁组件围成的环形区域内，待加工零件位于阴极盘上、且位于内热壁组件围成的环形区域内；电阻加热元件位于内热壁组件外侧。具有减少工作区内外及上下温差的优点。本发明还公开了所述的辉光离渗氮内热壁式真空离子渗氮炉的使用方法。CN107385382ACN107385382A权利要求书1/2页1.辉光离子渗氮内热壁式真空离子渗氮炉，包括炉筒体(1)、阴极盘(2)、电阻加热元件(3)，其特征在于：还包括内热壁(4)；内热壁(4)呈环形，内热壁(4)位于炉筒体(1)内、下端与阴极盘(2)下端齐平，内热壁(4)内径大于阴极盘(2)外径，三个或多个沿轴向重叠放置的内热壁(4)构成一组内热壁组件(5)，内热壁组件(5)位于炉筒体(1)内，阴极盘(2)位于内热壁组件(5)围成的环形区域内、且位于炉筒体(1)内部下端面中部，待加工零件(6)位于阴极盘(2)上、且位于内热壁组件(5)围成的环形区域内；电阻加热元件(3)按圆周均匀布置于炉筒体(1)内壁上，炉筒体(1)内壁呈柱形结构，电阻加热元件(3)位于内热壁组件(5)外侧、且与内热壁组件(5)相对应；气管(22)包括高压气流进气管(20)、高压气流排气管(21)；炉体上水包盖(7)位于炉筒体(1)上端，内嵌O型密封圈(8)位于炉体上水包盖(7)和炉筒体(1)上端之间，导风罩(9)位于阴极盘(2)下方、且位于电阻加热元件(3)侧下方，风扇叶轮(10)位于导风罩(9)内、且位于三相电机(11)正上方，炉体下水包(12)位于炉筒体(1)下端，内嵌O型密封圈(8)位于炉体下水包(12)和炉筒体(1)下端之间；三相电机(11)位于炉体下水包(12)正下方，衬套(13)设置于炉体下水包(12)中部，电机固定衬套(14)上下两端分别连接衬套(13)下端和三相电机(11)上端，联轴器(16)位于电机固定衬套(14)内、且一端固定于电机固定衬套(14)上端；风机轴(15)下端连接于三相电机(11)上，风机轴(15)上端轴向向上依次穿过联轴器(16)、电机固定衬套(14)、衬套(13)、风扇叶轮(10)的轴向中心，风机轴(15)上端向上伸出风扇叶轮(10)、且位于导风罩(9)内；电阻加热电极引出孔(17)设置于真空炉体外壁上、且与炉筒体(1)内部相连通，电阻加热热电偶引出孔(18)设置于真空炉体外壁上、且与炉筒体(1)内部相连通；电阻加热电极引出孔(17)和电阻加热热电偶引出孔(18)分别位于真空炉体两侧。2.根据权利要求1所述的辉光离子渗氮内热壁式真空离子渗氮炉，其特征在于：一组内热壁组件(5)内的任一内热壁(4)外侧均对应设置电阻加热元件(3)；一组内热壁组件(5)内的任一内热壁(4)内均设置有高压气流进气管(20)和高压气流排气管(21)；一组内热壁组件(5)内的任一内热壁(4)能完成加热、制冷双向控制功能。3.根据权利要求1或2所述的辉光离子渗氮内热壁式真空离子渗氮炉，其特征在于：内热壁(4)的材质为不锈钢或碳钢，内热壁(4)的加热温度小于或等于600℃。4.根据权利要求3所述的辉光离子渗氮内热壁式真空离子渗氮炉，其特征在于：内热壁(4)呈中空结构，高压气流进气管(20)和高压气流排气管(21)均位于内热壁(4)内，隔风板(19)焊接于内热壁(4)内、且位于高压气流进气管(20)和高压气流排气管(21)之间，高压气流进气管(20)和高压气流排气管(21)分别设置于内热壁(4)内的两端；高压气流进气管(20)和高压气流排气管(21)的下端位于内热壁(4)内、上端依次向上伸出内嵌O型密封圈(8)从炉体上水包盖(7)延伸到真空炉体外侧，高压气流进气管(20)的进气口和涡流风机连接、高压气流排气管(21)的排气口和大气相连通。5.根据权利要求4所述