一种可视的真空气氛烧结炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107747866A(43)申请公布日2018.03.02(21)申请号201711035551.1(22)申请日2017.10.30(71)申请人天津中环电炉股份有限公司地址300403天津市北辰区经济开发区双川道北(72)发明人张文祥刘冰谢洪波张海媛郝蓉(74)专利代理机构天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211代理人张峻(51)Int.Cl.F27B5/05(2006.01)F27B5/18(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称一种可视的真空气氛烧结炉(57)摘要本发明提供了一种可视的真空气氛烧结炉，其炉管的两端分别安装有一个水冷法兰，每个水冷法兰上均安装有一个视镜盲板组件；管式真空气氛炉的一侧设有平行光照射装置，另一侧设有成像系统；水冷法兰靠近炉管的外圆侧壁上设有循环水冷层；视镜盲板组件包括带有通孔的盲板和封堵该通孔的视镜；盲板与水冷法兰的端部密封固接，视镜置于水冷法兰内部，且与盲板之间密封连接。本发明通过炉管两端安装的水冷法兰，能够通过循环水冷层对炉管的端部进行降温，对视镜起到保护作用。同时，通过水冷法兰将隔热冷却、真空充气和视镜三种功能的结构进行集成组合，使得本发明的结构更加紧凑，成像更加清晰。CN107747866ACN107747866A权利要求书1/2页1.一种可视的真空气氛烧结炉，其特征在于，包括：管式真空气氛炉，其炉管(5)的两端分别安装有一个水冷法兰(2)，每个水冷法兰(2)上均安装有一个视镜盲板组件(8)；管式真空气氛炉的一侧设有平行光照射装置(1)，另一侧设有成像系统(7)；水冷法兰(2)，其一端与视镜盲板组件(8)密封连接；另一端套装于炉管(5)的外侧，且水冷法兰(2)与炉管(5)之间安装有O型密封圈；水冷法兰(2)靠近炉管(5)的外圆侧壁上设有循环水冷层；视镜盲板组件(8)，其包括带有通孔的盲板(801)和封堵该通孔的视镜(806)；盲板(801)与水冷法兰(2)的端部密封固接，视镜(806)置于水冷法兰(2)内部，且与盲板(801)之间密封连接。2.根据权利要求1所述的可视的真空气氛烧结炉，其特征在于：所述管式真空气氛炉的壳体内部填装有多晶莫来石纤维层(4)；壳体的上端安装有至少两组硅钼棒电热件(3)，硅钼棒电热件(3)对称分布于所述炉管(5)的两侧；炉管(5)为刚玉管。3.根据权利要求2所述的可视的真空气氛烧结炉，其特征在于：所述平行光照射装置(1)为一LED灯，LED灯发出的光为蓝色可见光。4.根据权利要求1所述的可视的真空气氛烧结炉，其特征在于：所述成像系统(7)包括一工业相机，所述工业相机上设有一双远心工业镜头，所述双远心工业镜头上设有一CCD传感器。5.根据权利要求1所述的可视的真空气氛烧结炉，其特征在于：所述管式电炉内的烧结温度为1600～2000℃。6.根据权利要求5所述的可视的真空气氛烧结炉，其特征在于：所述炉管(5)内的真空度为10-4pa。7.根据权利要求1所述的可视的真空气氛烧结炉，其特征在于：所述管式真空气氛炉与成像系统(7)之间设有一窄带滤光片(6)，窄带滤光片(6)允许通过的光波宽度小于50nm。8.根据权利要求1所述的可视的真空气氛烧结炉，其特征在于：所述水冷法兰(2)包括内径较小的过气段(201)和内径较大的管接段(202)，所述视镜盲板组件(8)安装于过气段(201)的端部，过气段(201)的外圆侧壁上还安装有与其内部连通的管接口(207)；管接段(202)的端部通过紧固螺栓安装有外法兰(204)，外法兰(204)上设有伸入管接段(202)内部的止口(203)；安装于管接段(202)内部的O型密封圈共有两个，且两个O型密封圈之间还安装有内压环(206)；管接段(202)的外圆侧壁上周圈密封固接有外套(208)，外套(208)与管接段(202)之间形成密闭的弧形腔(205)；外套(208)上还安装有进水接口和出水接口，且两者分别靠近弧形腔(205)的两端。9.根据权利要求8所述的可视的真空气氛烧结炉，其特征在于：其中一个所述水冷法兰(2)上的管接口(207)的内径较大，与真空抽气设备连接；另一个水冷法兰(2)上的管接口(207)内径较小，与进气设备连接。10.根据权利要求1所述的可视的真空气氛烧结炉，其特征在于：所述盲板(801)内壁上围绕所述通孔设有内止口(802)，内止口(802)焊接有与通孔同轴的视镜套(803)；所述视镜(806)置于视镜套(803)内，且视镜套(803)的开口端螺纹联接有视镜挡环(805)；视镜(806)2CN107747866A权利要求书2/2页与盲板(801)之间以及视镜(806)与视镜挡环(805)之间分别安装有一个视镜胶圈