一种用于单晶硅的高效生产设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107881552A(43)申请公布日2018.04.06(21)申请号201711446141.6(22)申请日2017.12.27(71)申请人河北宁通电子材料有限公司地址055550河北省邢台市大曹庄管理区第一工业园(72)发明人刘彬国李德建李红友杨伟强黄旭光李朝阳(74)专利代理机构石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙)13115代理人张建茹(51)Int.Cl.C30B15/12(2006.01)C30B15/16(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种用于单晶硅的高效生产设备(57)摘要本发明涉及一种用于单晶硅的高效生产设备，该生产设备包括单晶炉及用于单晶炉的加热系统，单晶炉内部设置有用于承载硅液的石英坩埚，加热系统包括微波发生装置和微波传输机构，微波传输机构为带有防微波抽真空回路的不锈钢管道，微波发生装置的输出端借助不锈钢管道与单晶炉相连并进行微波输送，所述单晶炉中设置有用于支撑石英坩埚升降旋转的石墨埚杆，石英坩埚外部设置有石墨坩埚，单晶炉内部由上到下依次设置有石英导流筒、带有钼质反射板的石墨保温桶、带有钼质反射板的石墨支撑块、圆筒形的保温毡、石英保温桶、排气孔及微波防护网以及带有钼质反射板的成型炉底；该设备利用微波加热进行拉晶，送温快，生产效率和产量均有显著提高。CN107881552ACN107881552A权利要求书1/1页1.一种用于单晶硅的高效生产设备，该生产设备包括单晶炉(11)及用于单晶炉(11)的加热系统，单晶炉(11)内部设置有用于承载硅液的石英坩埚(10)，其特征在于：所述的加热系统包括微波发生装置(13)和微波传输机构，微波传输机构为带有防微波抽真空回路(17)的不锈钢管道(12)，微波发生装置(13)的输出端借助不锈钢管道(12)与单晶炉(11)相连并进行微波输送，所述单晶炉(11)中设置有用于支撑石英坩埚(10)升降旋转的石墨埚杆(8)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅的高效生产设备，其特征在于：所述的石英坩埚(10)外部设置有石墨坩埚(9)，石英坩埚(10)的外表面紧贴于石墨坩埚(9)的内表面，石墨坩埚(9)的上端面高于石英坩埚(10)的上端面。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅的高效生产设备，其特征在于：所述的单晶炉(11)内部由上到下依次设置有石英导流筒(1)、带有钼质反射板的石墨保温桶(2)、带有钼质反射板的石墨支撑块(3)、圆筒形的保温毡(4)、石英保温桶(5)、排气孔(6)及微波防护网(14)以及带有钼质反射板的成型炉底(7)；石墨支撑块(3)固定于单晶炉(11)内壁上且用于支撑石墨保温桶(2)，石英导流筒(1)横截面为上宽下窄的圆锥筒，石英坩埚(10)位于保温毡(4)形成的圆筒形内部。4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅的高效生产设备，其特征在于：所述的微波发生装置(13)为微波发生器，微波发生器的微波输出端借助不锈钢管道(12)与单晶炉(11)相连，防微波抽真空回路(17)为两端分别连接不锈钢管道(12)和单晶炉(11)的管道，不锈钢管道(12)还连接有抽真空设备(18)，抽真空设备(18)与不锈钢管道(12)连接处、防微波抽真空回路(17)与单晶炉(11)连接处均设置有不锈钢屏蔽网(19)。2CN107881552A说明书1/3页一种用于单晶硅的高效生产设备技术领域[0001]本发明属于单晶硅生产技术领域，具体涉及一种用于单晶硅的高效生产设备。背景技术[0002]单晶制造业是一个高耗能的产业，在生产单晶硅的过程中需要电能转化成热能来提供单晶硅的生长环境，单晶生产时消耗电能总量较大，电费的昂贵和持续增长是导致单晶制造成本居高不下的一个主要原因，利用电能发热进行单晶生产的方式还会导致民用电紧张，对日常生活和其他工业用电都会造成不小的影响，因此，需要对现有的单晶生产方式进行改进。发明内容[0003]本发明克服了现有技术的缺陷，提供了一种用于单晶硅的高效生产设备，该设备能够最大限度降低电能消耗，为单晶拉制提供操作环境，并且能够显著提高单晶拉制的产量。[0004]本发明的具体技术方案是：[0005]一种用于单晶硅的高效生产设备，该生产设备包括单晶炉及用于单晶炉的加热系统，单晶炉内部设置有用于承载硅液的石英坩埚，关键点是，所述的加热系统包括微波发生装置和微波传输机构，微波传输机构为带有防微波抽真空回路的不锈钢管道，微波发生装置的输出端借助不锈钢管道与单晶炉相连并进行微波输送，所述单晶炉中设置有用于支撑石英坩埚升降旋转的石墨埚杆。[0006]所述的石英坩埚外部设置有石墨坩埚，石英坩埚的外表面紧