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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107955931A(43)申请公布日2018.04.24(21)申请号201711161842.5(22)申请日2017.11.21(71)申请人西安航天发动机厂地址710100陕西省西安市58信箱3分信箱(72)发明人杨富宁马尧刘广续梁宝恩艾昌辉王少卫(74)专利代理机构西北工业大学专利中心61204代理人顾潮琪(51)Int.Cl.C23C10/44(2006.01)权利要求书1页说明书8页附图8页(54)发明名称立式高温真空包渗炉(57)摘要本发明提供了一种立式高温真空包渗炉,包括炉体、保温层、加热元件、活化剂装置和真空系统,所述的炉体为竖直放置的中空圆柱,两端分别通过上盖和下盖封闭;所述的炉体内壁布设保温层,保温层内形成热区;所述的加热元件安装在热区中;所述的真空系统与炉体连通;所述的活化剂装置安装在升降装置上,位于炉体下方,能够穿过炉体下盖的通孔进入炉体内;所述的活化剂装置中,活化剂置于活化剂容器内,活化剂容器外安装有独立加热器,待加工工件置于填充硅颗粒的产品箱内,活化剂容器和产品箱通过石墨管连通。本发明能够实现渗硅制备工艺。CN107955931ACN107955931A权利要求书1/1页1.一种立式高温真空包渗炉,包括炉体、保温层、加热元件、活化剂装置和真空系统,其特征在于:所述的炉体为竖直放置的中空圆柱,两端分别通过上盖和下盖封闭;所述的炉体内壁布设保温层,保温层内形成热区;所述的加热元件安装在热区中;所述的真空系统与炉体连通;所述的活化剂装置安装在升降装置上,位于炉体下方,能够穿过炉体下盖的通孔进入炉体内;所述的活化剂装置中,活化剂置于活化剂容器内,活化剂容器外安装有独立加热器,待加工工件置于填充硅颗粒的产品箱内,活化剂容器和产品箱通过石墨管连通。2.根据权利要求1所述的立式高温真空包渗炉,其特征在于:所述的炉体上安装有爆破膜片安全阀和压力传感器,炉体壳壁、上盖和下盖由不锈钢制成,有冷却夹套,冷却水下进上出。3.根据权利要求1所述的立式高温真空包渗炉,其特征在于:所述的上盖开孔安装连通活化剂结晶器的蒸汽导管,收集活化剂蒸汽并强制结晶。4.根据权利要求1所述的立式高温真空包渗炉,其特征在于:所述的蒸汽导管下端采用喇叭口形式,蒸汽管道内部采用隔板交错排列的方式延长活化剂蒸汽的排放路线。5.根据权利要求1所述的立式高温真空包渗炉,其特征在于:所述的保温层采用石墨硬毡制成。6.根据权利要求1所述的立式高温真空包渗炉,其特征在于:所述的加热元件采用三相加热器。7.根据权利要求1所述的立式高温真空包渗炉,其特征在于:所述的升降装置包括滑块、立柱、配重、吊索和支架;所述的滑块通过涡轮蜗杆减速器沿立柱侧壁的齿条上下运动;所述的立柱上端安装定滑轮,滑块和配种之间通过绕过定滑轮的吊索连接;所述的支架通过支撑轴承安装在滑块上,使得支架能够绕立柱转动;所述的活化剂装置通过若干弹簧安装到支架上;所述滑块的上下两端安装有限位开关。2CN107955931A说明书1/8页立式高温真空包渗炉技术领域[0001]本发明涉及一种抗氧化涂层制取的真空设备,尤其是对铌钨合金工件进行高温渗硅的真空抗氧化涂层设备。背景技术[0002]已知火箭发动机在工作过程中推力室承受高温烧蚀,采用高温合金表面喷涂改性层结构可以减轻推力室重量,有效提升推力室耐高温抗氧化性能,对于提高轨、姿控发动机比冲量、提高航天器寿命有重要作用。铌铪合金(NbHf10-1)是我国目前双组元液体火箭发动广泛使用的材料,该材料在硅化铌高温抗氧化涂层保护下工作温度为1200~1300℃。铌钨合金(Nb521)是近几年国内研制的用于发动机喷管的新材料,采用料浆喷涂或刷涂,然后烧结的工艺方法制备硅化物高温抗氧化涂层后,最高使用温度上限为1500℃,是目前材料的最高使用温度。[0003]但在生产实际中,某些推力室壁温测量温度已经达到1700℃。推力室材料体系的耐高温抗氧化能力实际上已经成为制约新型姿轨控发动机性能进一步提高的最大瓶颈。目前已知乌克兰等国家采用离子溅射工艺在铌钨合金基体内外表面沉积Mo层,然后采用真空包渗工艺使Mo层硅化生成MoSi2涂层,可以使推力室的工作温度提高到1700℃。这在国内尚属空白,因此,需要有一种实现渗硅制备工艺的真空设备。发明内容[0004]为了克服现有技术的不足,本发明提供一种对铌钨合金工件进行真空抗氧化涂层制备的设备,能够实现渗硅制备工艺。[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种高温真空包渗炉,包括炉体、保温层、加热元件、活化剂装置和真空系统。[0006]所述的炉体为竖直放置的中空圆柱,两端分别通过上盖和下盖封闭;所述的炉体内壁布设保温层,保温层内形成热区;所述的加