一种卧式还原气氛真空退火炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108204737A(43)申请公布日2018.06.26(21)申请号201810007000.2(22)申请日2018.01.04(71)申请人湖南新天力科技有限公司地址410004湖南省长沙市雨花区韶山中路448号融科三万英尺公寓8号栋住宅1820(72)发明人匡万兵谭俊峰聂勇(51)Int.Cl.F27B5/05(2006.01)F27B5/06(2006.01)F27B5/08(2006.01)F27B5/14(2006.01)F27B5/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种卧式还原气氛真空退火炉(57)摘要本发明提供一种卧式还原气氛真空退火炉，包括机架、炉体、炉门、炉胆、绝热保温炉衬、加热元件、真空系统、气氛系统、控制系统、安全装置和散热装置，真空系统和气氛系统安装在机架下部，控制系统安装机架后部；炉胆采用高低温区设计，高温区采用U型硅钼棒加热，硅钼棒两侧布置，低温区采用FEC陶瓷纤维加热器加热，圆周式布置，高低温区设计有隔板结构；本发明中炉胆采用高、低温区设计，可以有效实现温度梯度；轻质纤维材料热导率较低、比重小，能有效降低设备正常使用过程中的电耗；真空系统和气氛系统采用真空机组和质量流量计控制，使得真空度较高、气体流量控制精度较好，达到高、精、尖CVD工艺实验的指标要求。CN108204737ACN108204737A权利要求书1/1页1.一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，包括机架(1)、炉体(2)、炉门(3)、炉胆(4)、绝热保温炉衬(5)、加热元件(6)、真空系统(7)、气氛系统(8)、控制系统(9)、安全装置(10)和散热装置(11)，其中：炉体(2)安装在机架(1)上，炉门(3)与炉体(2)连接，炉胆(4)置于炉体(2)内部，绝热保温炉衬(5)安装在炉胆(4)内部，加热元件(6)在绝热保温炉衬(5)的两侧面布置安装，真空系统(7)和气氛系统(8)安装在机架(1)下部，控制系统(9)安装机架(1)后部，安全装置(10)和散热装置(11)安装在炉体(2)上部。2.根据权利要求1所述一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，所述炉体(2)内部两侧面安装导轨槽(201)，炉胆(4)与导轨槽(201)之间滑动配合连接，这样炉胆(4)能够在导轨槽(201)上自由滑动；炉体(2)下部焊接在鞍座(202)上，且炉体(2)与机架(1)固定连接为一体。3.根据权利要求1所述一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，转臂(301)一端通过调心装置(303)与炉门(3)连接，转臂(301)另一端通过转轴(302)与炉体(2)连接，这样炉门(3)能够绕转轴(302)转动，进行开启和关闭；调心装置(303)安装在炉门(3)外侧中心位置上，用于多向调节炉门(3)位置。4.根据权利要求1所述一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，所述炉胆(4)设置在炉体(2)内部，炉胆(4)两侧安装有滚轮(401)，这些滚轮(401)与导轨槽(201)之间滑动配合连接，使得滚轮(401)能够在导轨槽(201)上自由滑动，炉胆(4)安装有内炉门(402)，在将内炉门(402)关闭后形成封闭的加热空间。5.根据权利要求1所述一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，安装在炉胆(4)内部的绝热保温炉衬(5)是由多层耐火材料组成。6.根据权利要求1所述一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，所述控制系统(9)用于实时测量物料烧结时的温度和压力，并能根据物料烧结工艺进行气氛充注和置换，自动开启和关闭加热。7.根据权利要求1所述一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，所述安全装置(10)安装在炉体(2)上部，在炉体(2)内部超压或气体爆炸时工作，能保护设备安全。8.根据权利要求1所述一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，所述散热装置(11)安装在炉体(2)上部，用于降低炉体(2)的表面温度。2CN108204737A说明书1/3页一种卧式还原气氛真空退火炉技术领域[0001]本发明涉真空设备领域，尤其涉及的是一种卧式还原气氛真空退火炉。背景技术[0002]气氛真空退火炉系列设备主要适用于碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米ZnO的可控生长、陶瓷电容器(MLCC)的气氛烧结、金属材料的扩散焊等CVD工艺。目前，传统的气氛真空退火炉为单温区设计，很难实现温度梯度的控制，满足不了CVD工艺的要求；在炉管选择上，以往选择高铝管，其氧化铝含量低、耐温性能差，容易在高温情况下发生炉管开裂、断裂现象，导致工艺实验不能正常进行，同时，由于炉管两端和中间没有支撑，也会造成高温情况下的炉管变形弯曲甚至断裂；另外，真空系统、气氛系统采用传统的机械泵和浮子流量计控制，缺