可快速装卸料管式炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108800930A(43)申请公布日2018.11.13(21)申请号201810674318.6(22)申请日2018.06.26(71)申请人中国科学院半导体研究所地址100083北京市海淀区清华东路甲35号(72)发明人袁庆贺井红旗张秋月张俊杰仲莉刘素平马骁宇(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人汤宝平(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D3/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称可快速装卸料管式炉(57)摘要一种可快速装卸料管式炉，包括：一石英舟，其为半圆柱状槽体，该石英舟的两端面均有一圆环，圆环上各连接一根链条，链条的另一端各连接一金属栓子；一密封法兰，在密封法兰靠近中心处开出一个圆孔；一炉管，在炉管一端的外壁上开一个窗口，该窗口通过一盖板密封，该窗口用于装卸料；一卡具；其中，所述石英舟位于炉管内，通过石英舟两端的链条控制石英舟在炉管内的移动；所述卡具将盖板固定在炉管的窗口上。本发明简单易行、操作方便且与传统管式炉兼容，可行性高。CN108800930ACN108800930A权利要求书1/1页1.一种可快速装卸料管式炉，包括：一石英舟，其为半圆柱状槽体，该石英舟的两端面均有一圆环，圆环上各连接一根链条，链条的另一端各连接一金属栓子；一密封法兰，在密封法兰靠近中心处开出一个圆孔；一炉管，在炉管一端的外壁上开一个窗口，该窗口通过一盖板密封，该窗口用于装卸料；一卡具；其中，所述石英舟位于炉管内，通过石英舟两端的链条控制石英舟在炉管内的移动；所述卡具将盖板固定在炉管的窗口上。2.如权利要求1所述可快速装卸料管式炉，其中所述石英舟与圆环为一整体结构，材料为石英。3.如权利要求1所述可快速装卸料管式炉，其中所述链条的长度为炉管长度的1.5倍，所述炉管的材料为石英，所述链条的材料为线状玻璃纤维。4.如权利要求1所述可快速装卸料管式炉，其中所述法兰上的小孔上装有耐高温绝热密封圈，可供链条在其中自由通过。5.如权利要求1所述可快速装卸料管式炉，其中所述链条的连接的金属栓子为锥形，其细端直径小于密封法兰上小孔的内径，粗端直径大于小孔内径，其不能从密封法兰小孔中通过。6.如权利要求1所述可快速装卸料管式炉，其中所述卡具为双半圆结构，两者组合起来可以将炉管的窗口处完全密封。2CN108800930A说明书1/4页可快速装卸料管式炉技术领域[0001]本发明属于材料加工领域，特别是指一种可快速装卸料管式炉，其是对传统管式炉进行改造，省去了传统管式炉在装卸料时的复杂步骤，避免了操作过程中对管式炉造成的磨损，同时可以实现快速装卸料。背景技术[0002]管式炉具有操作简单、运行可靠、控制稳定、调整方便、抗干扰能力强、价格低廉等诸多优点，被广泛应用于半导体、纳米材料、石墨烯、碳纤维等新材料、新工艺等领域。目前，市场上大部分管式炉采用间歇式手动装卸料设计。装料时，首先将炉管一端密封法兰上通气管道取下，同时将此端密封法兰取下，将待处理样品放入石英舟并将石英舟放入炉管，之后再将密封法兰安装到炉管端。一般采用金属制推拉杆将石英舟推送到炉管内指定位置，推拉杆由密封法兰上通气孔进入。最后将通气管道连接到密封法兰的通气孔上。卸料时，步骤与上述类似，取下通气管道，用推拉杆将石英舟从炉管中拉至炉管端，取下密封法兰，取出石英舟。[0003]从上述内容可知，每进行一次装卸料需两次分别取下密封法兰和通气管道，操作过程十分繁杂且相当费时。同时，密封法兰和通气管道均是通过螺丝固定，反复取下与安装会造成材料的磨损。利用金属制推拉杆将石英舟推送到炉管内过程中，力度不好把握，一不小心造成石英舟倾斜，影响待处理样品；而推送指定位置是依靠推拉杆做标记，不太好掌控。发明内容[0004]本发明旨在提供一种可快速装卸料管式炉，省去了装卸料过程中的复杂步骤，节约时间成本，同时避免了操作过程中器件的磨损，利用水平链条保持平衡，并利用链条上的标尺标记位置。本发明简单易行、操作方便且与传统管式炉兼容，可行性高。[0005]为了实现上述目的，本发明提供一种可快速装卸料管式炉，包括：[0006]一石英舟，其为半圆柱状槽体，该石英舟的两端面均有一圆环，圆环上各连接一根链条，链条的另一端各连接一金属栓子；[0007]一密封法兰，在密封法兰靠近中心处开出一个圆孔；[0008]一炉管，在炉管一端的外壁上开一个窗口，该窗口通过一盖板密封，该窗口用于装卸料；[0009]一卡具；[0010]其中，所述石英舟位于炉管内，通过石英舟两端的链条控制石英舟在炉管内的移动；所述卡具将盖板固定在炉管的窗口上。[0011]从上述设计方案可以看出，本发明具有以下有益效果