一种带有烟羽脱白功能的废气处理系统.pdf
邻家****曼玉
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一种带有烟羽脱白功能的废气处理系统.pdf
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烟羽的形成机理及脱白技术分析烟羽的形成机理及脱白技术分析摘要:烟羽是一种常见于光刻过程中的现象,其形成机理复杂,与光刻胶的物理性质和光刻过程中的温度、湿度等因素密切相关。本文将探讨烟羽的形成机理,分析现有的脱白技术,并提出相应的改进方案。1.引言烟羽是光刻过程中的一种重要缺陷,对器件精度和可靠性产生不良影响。烟羽的形成通常与光刻胶中的杂质、碎屑等有关,给光刻过程带来一定的不确定性。因此,烟羽的形成机理以及有效的脱白技术对于提高光刻工艺的稳定性和可靠性具有重要意义。2.烟羽的形成机理烟羽在光刻过程中的形成机
带有重力传感功能的废气吸附处理系统.pdf
一种带有重力传感功能的废气吸附处理系统,包括吸附箱体,吸附箱体内设有移动树脂箱,吸附箱体包括吸附仓和再生仓,吸附仓底部向下延伸有分流腔,分流腔两侧内壁上设有支撑条板,支撑条板顶面与再生仓底面平齐,支撑条板两端底部设有连杆,连杆下端与设置在分流腔底面上的压重传感器接触;吸附箱体为两个,两个吸附箱体中的吸附仓底部连接在进废管上,吸附仓顶部设有排废管,进废管上设有第一进废阀和第二进废阀;压重传感器与控制器连接,控制器与第一进废阀和第二进废阀连接。本实用新型专利采用上述结构,通过并联的多台废气处理设备配合压重传感
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本发明湿烟羽冷凝离心式脱白装置,属于环保技术领域,主要解决现有技术不能真正去除烟气中的水分的问题。包括壳体、离心式轴流风机及旋流板,其特点是:所述壳体底部设置有湿烟气入口,顶部设置有脱白后的烟气排出口,壳体外壁下部设置有冷风入口,在所述冷风入口处设置有进风阀门,内部设置有离心式轴流风机,所述离心式轴流风机的底部进风口高于所述冷风入口,在壳体内离心式轴流风机之上设置有旋流板,所述旋流板一端固接在壳体的内壁上,另一端悬空,每两个旋流板之间留有间隙,并依次呈螺旋形上升状,在壳体的中部形成空洞。