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外延炉冷却系统及冷却方法.pdf
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一只****懿呀
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本发明提供了一种外延炉冷却系统及冷却方法，所述外延炉冷却系统包括：冷却腔体、温度检测器以及冷却腔体控制器，其中所述冷却腔体用于冷却放置于其内的晶圆，温度检测器用于检测放置于所述冷却腔体内晶圆的温度，并将所述晶圆的实际温度传输至所述冷却腔体控制器，所述冷却腔体控制器具有一预设温度，并实时接收所述实际温度，并将所述实际温度与设定温度进行比较，如果所述实际温度大于所述设定温度，则控制所述冷却腔体继续冷却，如果所述实际温度等于或小于所述设定温度，则控制所述冷却腔体结束冷却，由此可以有效控制所述晶圆的冷却温度而及时
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