石英管防划伤装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108857988A(43)申请公布日2018.11.23(21)申请号201810948863.X(22)申请日2018.08.20(71)申请人普乐新能源（蚌埠）有限公司地址233030安徽省蚌埠市汤和路268号(72)发明人葛怀庆孙友巍李晨孙嵩泉(74)专利代理机构蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司34102代理人张建宏和聚龙(51)Int.Cl.B25B11/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称石英管防划伤装置(57)摘要本发明给出了一种石英管防划伤装置；包括定位板和两个保护座，所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系，所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔，保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径；定位板分别与两个保护座固定连接。保护座与管状桨固定，管状桨在长期高温环境中，管状桨会有下弯，保护座代替管状桨与LPCVD管炉内壁接触，防止在取料的过程中，管状桨端部对炉管壁划伤；而且定位板可以限制两个管状桨端部的相对位置，避免两个管状桨之间距离发生改变，影响载片舟的固定。CN108857988ACN108857988A权利要求书1/1页1.一种石英管防划伤装置，其特征为：包括定位板和两个保护座，所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系，所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔，保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径；定位板分别与两个保护座固定连接。2.根据权利要求1所述的石英管防划伤装置，其特征是：所述的保护座为石墨材质。3.根据权利要求1所述的石英管防划伤装置，其特征是：所述保护座包括插入部和防划伤部，插入部伸入管状桨内孔中，使保护座与管状桨之间相对固定，防划伤部处于管状桨外，防划伤部的外径大于管状桨的外径。4.根据权利要求1所述的石英管防划伤装置，其特征是：定位板上开有两个通孔，两个通孔的位置与两个保护座位置对应，两个定位螺钉贯穿两个通孔且与保护座之间螺纹配合。5.根据权利要求4所述的石英管防划伤装置，其特征是：两个通孔的其中一个为腰形孔，腰形孔的长度方向与定位板的长度方向一致。2CN108857988A说明书1/2页石英管防划伤装置技术领域[0001]本发明涉及一种防止管状桨划伤石英管内壁的装置。背景技术[0002]在太阳能电池片生产过程中，需要在表面镀膜，例如多晶硅、氮化硅等，需要使用LPCVD进行镀膜。为提高产能，将单管LPCVD的装载量由几百片提高到1200片，导致炉管的长度、工艺恒温区的长度以及工艺气体分布要求大大提升，特别是工艺恒温区的中、后区对片间均匀性技术要求大大提升。[0003]现有的管式LPCVD(石英管)中，需要使用两根管状桨托住载片舟，进行输送，由于长期处于高温环境，桨会有下弯，导致桨头端触碰到炉管壁，在出炉的时候容易造成炉管壁划伤，可能造成炉管炸裂。目前缺少一种能有效保护LPCVD管炉内壁的装置。发明内容[0004]本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、使用方便的石英管防划伤装置。[0005]为解决上述技术问题，本发明提供了一种石英管防划伤装置；[0006]包括定位板和两个保护座，所述保护座与LPCVD管炉的管状桨为一一对应关系，所述保护座一端伸入对应的管状桨内孔，保护座另一端处于对应的管状桨外且此端部外径大于管状桨的外径；[0007]定位板分别与两个保护座固定连接。[0008]采用这样的结构后，保护座与管状桨固定，管状桨在长期高温环境中，管状桨会有下弯，保护座代替管状桨与LPCVD管炉内壁接触，防止在取料的过程中，管状桨端部对炉管壁划伤；而且定位板可以限制两个管状桨端部的相对位置，避免两个管状桨之间距离发生改变，影响载片舟的固定。[0009]为了更清楚的理解本发明的技术内容，以下将本石英管防划伤装置简称为本防划伤装置。[0010]本防划伤装置的保护座为石墨材质；采用这样的结构后，石墨材质不仅不会对炉管壁造成划伤，而且具有耐高温的优点，符合本防划伤装置的设计要求。[0011]本防划伤装置的保护座包括插入部和防划伤部，插入部伸入管状桨内孔中，使保护座与管状桨之间相对固定，防划伤部处于管状桨外，防划伤部的外径大于管状桨的外径；采用这样的结构后，保护座的结构更为具体，更加满足本防划伤装置的需要。[0012]本防划伤装置的定位板上开有两个通孔，两个通孔的位置与两个保护座位置对应，两个定位螺钉贯穿两个通孔且与保护座之间螺纹配合；采用这样的结构后，通过定位螺钉贯穿通孔的方式将保护座与定位板之间固定。[0013]本防划伤装置的两个通孔的其中一个为腰形孔，腰形孔的长度方向与定位板的长度方向一致；采用这样的结构后，可以根据管状桨中心距调节两个保护座的间距。