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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109114983A(43)申请公布日2019.01.01(21)申请号201810924047.5(22)申请日2018.08.14(71)申请人通威太阳能(成都)有限公司地址610299四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内(72)发明人周公庆(74)专利代理机构成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230代理人杨保刚邓芸(51)Int.Cl.F27B21/00(2006.01)F27B21/08(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图1页(54)发明名称一种烧结炉及其使用方法(57)摘要本发明公开了一种烧结炉及其使用方法,属于晶硅太阳能电池生产制造技术领域,解决了现有的烧结炉的每个温区上下各只有一个进气孔,只能改变每个温区内进气孔的气流总量,但是不能改变每个温区内前后左右各个角落的气流氛围,影响浆料的烘干效果,进而影响电池的电性能的问题。包括烧结炉本体,所述烧结炉本体包括依次连通的烘干区、烧结区和冷却区,烧结炉本体内设有依次贯穿烘干区、烧结区和冷却区的传送网带,所述烘干区和烧结区内分别分成若干个加热温区,每个加热温区内分别设有若干个与外界气源连通的第一进气管道,所述第一进气管道等间距设置,烘干区的两端以及烧结区的两端分别设有废气排风管道;所述废气排风管道上设有抽风机。CN109114983ACN109114983A权利要求书1/1页1.一种烧结炉,包括烧结炉本体,所述烧结炉本体包括依次连通的烘干区(8)、烧结区(7)和冷却区(6),烧结炉本体内设有依次贯穿烘干区(8)、烧结区(7)和冷却区(6)的传送网带(1),传送网带(1)的上下两侧的烧结炉本体内分别设有加热管(2),其特征在于,所述烘干区(8)和烧结区(7)内分别分成若干个加热温区(10),每个加热温区(10)内分别设有若干个与外界气源连通的第一进气管道(3),所述第一进气管道(3)等间距设置,烘干区(8)的两端以及烧结区(7)的两端分别设有废气排风管道(4);所述废气排风管道(4)上设有抽风机(9)。2.根据权利要求1所述的一种烧结炉,其特征在于,所述冷却区(6)内分别设有若干个与外界气源连通的第二进气管道(5)。3.根据权利要求1所述的一种烧结炉,其特征在于,所述加热温区(10)内设有9个第一进气管道(3),第一进气管道(3)分成等间距的3列设置在加热温区(10)内,每列上的第一进气管等间距设置。4.一种如权利要求1-3任一所述烧结炉的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将硅片放入本发明的烧结炉本体的烘干区(8)内的传送网带(1)上,启动烧结炉本体内的加热管(2),把烘干区(8)内的温度设置成350-450℃,把烧结区(7)内的温度设置成600-900℃,把冷却区(6)内的温度设置成10-20℃;(2)当步骤(1)的硅片经过传送网带(1)进入到烘干区(8)内时,通过烘干区(8)的第一进气管道(3)向烘干区(8)内通入氮气与氧气的混合气体;并同时启动烘干区(8)两端的废气排风管道(4)上的抽风机(9);(3)当步骤(2)的硅片经过传送网带(1)进入到烧结区(7)内时,通过烧结区(7)的第一进气管道(3)向烧结区(7)内通入氮气与氧气的混合气体;并同时启动烧结区(7)两端的废气排风管道(4)上的抽风机(9);(4)当步骤(3)的硅片经过传送网带(1)进入到冷却区(6)内时,通过冷却区(6)的第一进气管道(3)向冷却区(6)内通入氮气与氧气的混合气体。5.根据权利要4所述的烧结炉的使用方法,其特征在于,所述步骤(2)中,通入的氮气与氧气的混合气体中,氧气含量为5-20%。6.根据权利要4所述的烧结炉的使用方法,其特征在于,所述步骤(3)中,通入的氮气与氧气的混合气体中,氧气含量为45-65%。7.根据权利要4所述的烧结炉的使用方法,其特征在于,所述步骤(4)中,通入的氮气与氧气的混合气体中,氧气含量为15-25%。2CN109114983A说明书1/6页一种烧结炉及其使用方法技术领域[0001]本发明涉及晶硅太阳能电池生产制造技术领域,具体涉及一种烧结炉及其使用方法。背景技术[0002]烧结工艺在整个硅电池制备领域中极其重要,所有硅电池的前道工序都在烧结工序中成型,成为最终的硅太阳能电池。烧结温度最高可以达到780℃。烧结工序中会将浆料中的有机物挥发并燃烧掉,而且浆料中很多物质也需要与氧气形成氧化物,但是由于浆料中的有机物量比较大,所以需要将一个合理的气流将浆料内的有机物挥发出来,另外还需要将挥发的有机物燃烧掉。[0003]常规烧结炉内部的每个温区上下各只有一个进气孔,而且只能改变每个温区内进气孔的气流总量,但是不能改变每个温区内前后左右各个角落的气流氛围,另一