低粗糙度掺磷多晶硅薄膜及其制备方法.pdf
小沛****文章
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低粗糙度掺磷多晶硅薄膜及其制备方法.pdf
本发明涉及一种低粗糙度掺磷多晶硅薄膜及其制备方法,该制备方法包括以下步骤:S1、提供衬底和反应炉;S2、将所述衬底至于所述反应炉中,在沉积温度为550‑650℃,工艺炉压为150‑450mt的条件下采用LPCVD工艺生长P掺杂多晶硅薄膜,其中,反应剂气体包括SiH
PECVD法制备掺磷非晶硅薄膜及其结构和性能的研究.docx
PECVD法制备掺磷非晶硅薄膜及其结构和性能的研究摘要:本文采用PECVD法制备掺磷非晶硅薄膜,并通过SEM、TEM、XRD、RAMAN、电学测试等手段对其结构和性能进行分析。结果表明,掺磷非晶硅薄膜的致密性与磷掺杂浓度有关,随着磷掺杂浓度的增加,致密性也增加;同时,掺磷非晶硅薄膜的电学性能也受掺杂浓度的影响,其电导率随磷掺杂浓度的增加而增加,但在一定范围内再增加掺杂浓度反而会降低电导率。关键词:PECVD法;掺磷非晶硅薄膜;结构;性能引言:近年来,由于其优异的结构和性能,非晶硅薄膜在太阳能电池、LED等
低磷、低硫的含镍生铁及其制备方法.pdf
本发明提供一种低磷、低硫的含镍生铁,它含有:C<4.5%,Ni,4.0~9.0%,S<0.05%,P<0.05%,杂质元素<0.2%,余为Fe。本发明还提供了以低品位镍矿为镍源制备上述低磷、低硫的含镍生铁的方法,该方法包括镍矿石的选矿、破碎及烧结;高炉粗炼及电弧炉精炼等步骤。
低磷洗洁精及其制备方法.pdf
本发明公开了低磷洗洁精,属于洗洁精制备技术领域,包括以下重量份数的原料:速溶耐酸碱透明增稠粉20~30份、高泡除油乳化剂30~50份、防腐剂10~20份、拉丝粉2~3份、纯碱1~3份、元明粉4~8份和碱性蛋白酶5~10份。本发明还公开了该低磷洗洁精的制备方法。本发明的低磷洗洁精,能迅速分解油污,清洁能力强,而且没有磷残留,环境友好;本发明的低磷洗洁精的制备方法,只需要简单搅拌即可,方法简单,具备很好的经济效益和实用性。
低磷去污粉及其制备方法.pdf
本发明公开了低磷去污粉,属于去污粉制备技术领域,包括以下重量份数的原料:速溶耐酸碱透明增稠粉20~30份、乳化硅油30~50份、月桂酸10~20份、水杨酸2~3份、纯碱1~3份、元明粉4~8份和碱性蛋白酶5~10份。本发明还公开了该低磷去污粉的制备方法。本发明的低磷去污粉,能迅速分解油污,清洁能力强,而且没有磷残留,环境友好;本发明的低磷去污粉的制备方法,只需要简单搅拌即可,方法简单,具备很好的经济效益和实用性。