一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109321970A(43)申请公布日2019.02.12(21)申请号201811188722.9(22)申请日2018.10.12(71)申请人方志兰地址241100安徽省芜湖市芜湖县湾沚镇蒲塘行政村小周自然村04号(72)发明人方志兰(51)Int.Cl.C30B27/02(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置(57)摘要本发明涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，包括生长炉、生长转动提升装置和氩气缓冲装置，所述生长炉的上端安装有生长转动提升装置，生长转动提升装置的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置，氩气缓冲装置包括氩气管，生长炉侧壁的上端设有通孔，通孔内连接有氩气管，氩气管为弧形结构，氩气管的出口处安装有缓冲垫，缓冲垫上均匀设有出气孔，氩气管外侧壁的上端安装有连接箱，氩气管的上端面安装有连接杆。本发明可以解决阀门控制氩气充入量时，氩气充入量不稳定、容易导致晶棒晃动和晶片质量不佳等问题，可以实现对氩气充入时的缓冲和控量的功能，具有对氩气进行缓冲，减轻气体对晶棒的冲击力、氩气充入量稳定和晶片质量有保障的优点。CN109321970ACN109321970A权利要求书1/1页1.一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，包括生长炉(1)、生长转动提升装置(2)和氩气缓冲装置(3)，其特征在于：所述生长炉(1)的上端安装有生长转动提升装置(2)，生长转动提升装置(2)的左右两侧面对称安装有氩气缓冲装置(3)；其中：所述的氩气缓冲装置(3)包括氩气管(31)，生长炉(1)侧壁的上端设有通孔，通孔内连接有氩气管(31)，氩气管(31)的出口处安装有缓冲垫(32)，缓冲垫(32)上均匀设有出气孔，氩气管(31)外侧壁的上端安装有连接箱(33)，氩气管(31)的上端面安装有连接杆(34)，连接杆(34)在其周向方向均匀分布，连接杆(34)的上端面安装有氩气连接管(35)，连接杆(34)上安装有控量机构(36)，连接箱(33)的上端面安装有倾斜防护板(37)，倾斜防护板(37)的上端与氩气连接管(35)侧壁的上端连接，氩气连接管(35)内侧壁的上下端均安装有连接板(38)，连接板(38)之间安装有固定杆(39)，固定杆(39)侧壁的上下端通过轴承安装有缓冲板(310)。2.根据权利要求1所述的一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，其特征在于：所述的控量机构(36)包括转动齿盘(361)，氩气管(31)外侧壁的顶端套接有转动齿盘(361)，转动齿盘(361)的左端啮合有转动齿轮(362)，转动齿轮(362)的下端面与转动电机(363)的输出轴相连接，转动电机(363)通过电机座安装在连接箱(33)内侧壁上，转动齿盘(361)内侧与氩气管(31)外侧壁之间连接有滑动杆(364)，转动齿盘(361)的下端面连接有转动球(365)，转动球(365)安装在承托板(366)的上端面，承托板(366)安装在氩气管(31)的外侧壁上，转动齿盘(361)的上端面安装有第一转动杆(367)，第一转动杆(367)沿其周向方向均匀分布，第一转动杆(367)侧壁通过轴承安装有转动板(368)，转动板(368)的另一端通过轴承安装在第二转动杆(369)上，第二转动杆(369)的下端安装有挡板(3610)，挡板(3610)的右端通过轴承安装在连接杆(34)的侧壁上。3.根据权利要求1所述的一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，其特征在于：所述的氩气管(31)为弧形结构。4.根据权利要求1所述的一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，其特征在于：所述的缓冲板(310)为不规则迷宫型。5.根据权利要求2所述的一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置，其特征在于：所述的挡板(3610)形状为花瓣形。2CN109321970A说明书1/4页一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置技术领域[0001]本发明涉及电子元器件领域，特别涉及一种LED灯晶片生长用氩气缓冲装置。背景技术[0002]发光二极管简称为LED，LED五大原物料包括晶片、支架、银胶、金线和环氧树脂，因其具有能效低、适用性强、稳定性好、使用寿命长和价格低的优点，LED被广泛应用于LED显示屏、交通信号灯、液晶屏背光源和照明光源等领域，其中用于生产LED的晶片要求很高，需要对晶片进行再处理，其中有一个重要的工序长晶，直径影响到晶片质量的好坏，在进行长晶工艺时有很多注意事项。[0003]氩气是一种惰性保护气体，无色无毒无味，在长晶的过程中会用到氩气，在对长晶炉内充入氩气时如果流量过大引起晶棒的晃动会影响到晶片质量的好坏，而在现有长晶生产设备中，大多都是通过阀门控制氩气的充入量，而氩气罐内的气压会随着氩气