快速升降温加热器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109429382A(43)申请公布日2019.03.05(21)申请号201710734162.1(22)申请日2017.08.24(71)申请人江苏威能电气有限公司地址225800江苏省扬州市宝应开发区北区大寨河路3号(72)发明人张学权(51)Int.Cl.H05B3/02(2006.01)H05B1/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称快速升降温加热器(57)摘要本发明公开了一种快速升降温加热器。所述快速升降温加热器，包括炉体，还包括设置在炉体上的一层或多层金属板10和发热丝8，所述金属板10的顶部设有聚轻纤维涂层23，所述聚轻纤维涂层23的顶部还设有高反射率的超高温涂层24，所述金属板10、聚轻纤维涂层23和超高温涂层24为一体化结构；在金属板10一体化结构的基础上，还增设有多个半导体制冷芯片25和多个温度传感器26，所述温度传感器26实时检测金属板10的温度通过微处理器27控制半导体制冷芯片25对金属板10进行升降温，进一步加快升降温速率。本发明具有降温速率高、生产周期短、生产成本较低、自动化程度高、使用寿命长的优点。CN109429382ACN109429382A权利要求书1/1页1.一种快速升降温加热器，包括炉体，其特征在于：还包括设置在炉体上的一层或多层金属板(10)和发热丝(8)，所述金属板(10)的顶部设有聚轻纤维涂层(23)，所述聚轻纤维涂层(23)的顶部还设有高反射率的超高温涂层(24)，所述金属板(10)、聚轻纤维涂层(23)和超高温涂层(24)为一体化结构；还包括多个半导体制冷芯片(25)和多个温度传感器(26)，所述半导体制冷芯片(25)均布在金属板(10)的底部，所述温度传感器(26)均布在超高温涂层(24)的顶部和金属板(10)的底部，所述温度传感器(26)和半导体制冷芯片(25)在金属板(10)的底部间隔设置。2.根据权利要求1所述的一种快速升降温加热器，其特征在于：还包括微处理器(27)和温度显示单元(28)，所述温度传感器(26)、半导体制冷芯片(25)和温度显示单元(28)均与微处理器(27)电连接；所述微处理器(27)位于炉体的内部。3.据权利要求2所述的一种快速升降温加热器，其特征在于：所述温度传感器(26)用于检测金属板(10)和超高温涂层(24)的温度，将检测到的温度传输给微处理器(27)，通过微处理器(27)在温度显示单元(28)进行实时显示；所述温度传感器(26)检测金属板(10)的温度高于预设值上限时，通过微处理器(27)控制半导体制冷芯片(25)对金属板(10)进行降温；所述温度传感器(26)检测金属板(10)的温度低于预设值下限时，通过微处理器(27)控制半导体制冷芯片(25)对金属板(10)进行升温。4.据权利要求2的一种快速升降温加热器，其特征在于：所述温度显示单元(28)为触摸显示屏，位于炉体的外表面。5.根据权利要求2所述的一种快速升降温加热器，其特征在于：还包括设置在炉体内的电极(13)、正电极(15)、第一紧固部件(1)、第二紧固部件(2)和第三紧固部件(6)、多个绝缘件和多个支撑架(9)；所述负电极(13)通过第一紧固部件(1)和绝缘件与金属板(10)一体化结构固定连接，且位于金属板(10)的下方，所述正电极(15)通过第三紧固部件(6)和绝缘件与负电极(13)固定连接并绝缘，且位于负电极(13)的下方；所述正电极(15)向下引出设备电极正引脚(20)，向上绝缘贯穿负电极(13)和金属板(10)一体化结构引出发热丝电极正极(7)；所述负电极(13)向下绝缘贯穿正电极(15)引出设备电极负引脚(16)，向上导电贯穿负金属板(10)一体化结构引出发热丝电极负极(5)；所述发热丝(8)通过支撑架(9)支撑于金属板(10)一体化结构的上方，所述支撑架(9)绝缘贯穿金属板(10)一体化结构和负电极(13)固定在正电极(15)上。6.根据权利要求5所述的一种快速升降温加热器，其特征在于：所述绝缘件为聚轻纤维管。7.根据权利要求5所述的一种快速升降温加热器，其特征在于：所述电极负引脚(16)和电极正引脚(20)上端通过紧固件进行固定。8.根据权利要求5所述的一种快速升降温加热器，其特征在于：还包括固定板(14)，所述固定板(14)通过第二紧固部件(2)、第三紧固部件(6)和绝缘件固定在负电极(13)和正电极(15)之间，且与负电极(13)导电。2CN109429382A说明书1/3页快速升降温加热器技术领域[0001]本发明涉及一种加热器，具体涉及一种快速升降温加热器。背景技术[0002]传统的用于半导体领域的薄膜材料生产设备中，对衬底进行加热的加热器升降