一种用于OVD沉积废气净化回收装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109647077A(43)申请公布日2019.04.19(21)申请号201910013443.7(22)申请日2019.01.07(71)申请人烽火通信科技股份有限公司地址430000湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新四路6号申请人武汉烽火锐拓科技有限公司(72)发明人金雾秦强伍淑坚田锦成(74)专利代理机构武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)42225代理人邱云雷(51)Int.Cl.B01D46/06(2006.01)B01D46/04(2006.01)B01D46/02(2006.01)B01D46/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称一种用于OVD沉积废气净化回收装置(57)摘要本发明公开了一种用于OVD沉积废气净化回收装置，包括进气总管、出气总管、排气机构、除尘机构、控制系统；进气总管与OVD沉积炉连通；排气机构与出气总管连通；除尘机构包括至少一个除尘单元，除尘单元包括除尘箱，除尘箱包括设置有过滤组件的过滤室、位于过滤室上方并与其相连通的净气室、位于过滤室下方并与其连通的集灰组件；过滤室通过进气支管与进气总管连通，净气室通过出气支管与出气总管连通；过滤组件包括滤袋、设于滤袋内的第一加热器；控制系统与第一加热器连接，并用于控制第一加热器工作。通过第一加热器加热提高过滤袋和过滤室内的温度，从而避免糊袋和板结，也避免了结露形成的碳酸溶液造成设备腐蚀脱落污染回收的二氧化硅粉尘。CN109647077ACN109647077A权利要求书1/2页1.一种用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于，包括：进气总管(1)，其与OVD沉积炉连通；出气总管(2)；排气机构(3)，其与所述出气总管(2)连通；除尘机构，其包括至少一个除尘单元(4)，所述除尘单元(4)包括除尘箱(40)，所述除尘箱(40)包括设置有过滤组件(41)的过滤室(42)、位于过滤室(42)上方并与其相连通的净气室(43)、位于过滤室(42)下方并与其连通的集灰组件(44)；所述过滤室(42)通过进气支管与所述进气总管(1)连通，所述净气室(43)通过出气支管与出气总管(2)连通；所述过滤组件(41)包括滤袋(410)、设于滤袋(410)内的第一加热器(411)；控制系统，其与所述第一加热器(411)连接，并用于控制所述第一加热器(411)工作。2.如权利要求1所述的用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于：所述第一加热器(411)采用远红外碳化硅加热圈。3.如权利要求1所述的用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于：所述过滤组件(41)还包括笼骨架(412)，所述笼骨架(412)设于所述滤袋(410)内并用于支撑所述滤袋(410)。4.如权利要求1所述的用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于：所述进气总管(1)与OVD沉积炉之间还设有缓冲罐(5)，所述缓冲罐(5)上设有压力变送器；所述控制系统与所述压力变送器和所述排气机构(3)相连，其还用于根据所述压力变送器传递的信号控制所述排气机构(3)。5.如权利要求1所述的用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于：所述除尘机构还包括清灰单元(6)，所述清灰单元(6)与每个所述除尘单元(4)分别连通，并用于对所述滤袋(410)清灰。6.如权利要求5所述的用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于，所述清灰单元(6)包括：压缩空气源；多个分气箱(60)，其与压缩空气源连通；第二加热器(61)，其设于所述分气箱(60)上并用于加热压缩空气；与分气箱(60)连通的喷吹管(62)，其出气口朝向所述滤袋(410)；设于喷吹管(62)上的第一控制阀(63)，所述控制系统与所述第一控制阀(63)及第二加热器(61)相连并用于控制第一控制阀(63)的启闭以及第二加热器(61)工作。7.如权利要求1所述的用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于：所述进气支管设有进气阀(45)，所述出气支管设有出气阀(46)。8.如权利要求1所述的用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于：所述集灰组件(44)包括位于所述过滤室(42)下方并与其连通的灰斗(440)、与所述灰斗(440)连通的卸灰设备。9.如权利要求1所述的用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于：所述排气机构(3)包括连接在所述出气总管(2)上的至少两个排气组件，各所述排气组件并联设置，所述排气组件中至少一个连通所述出气总管(2)。10.如权利要求9所述的用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于：所述排气组件包2CN109647077A权利要求书2/2页括变频风机(30)，所述变频风机(30)与所述出气总管(2)之间还设有第二控制阀(31)。3CN109647