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一种铸锭加热器及铸锭炉.pdf
2023-06-16
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一吃****继勇
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一种铸锭加热器及铸锭炉.pdf
本申请公开了一种铸锭加热器，包括侧部加热器及顶部加热器；所述侧部加热器设置在所述铸锭加热器的热场的四边，在所述热场内部的四个拐角处无连接，通过电极引出所述热场之外后互相电连接；所述顶部加热器设置在所述铸锭加热器的热场的顶部。本申请中在侧面设置了四个在热场内部互不接触的加热器，取消了热场内拐角处的连接器，避免了由于拐角处厚度难以控制带来的热场不均匀的风险，可以解决目前热场中存在的某个角过热，导致硅锭表面鼓包开裂、杂质位错多等质量问题；同时侧部加热器在热场内拐角处无连接，解决了拐角处对坩埚尺寸的限制，高质量晶
2023-06-16
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一种铸锭炉的加热器.pdf
本发明公开了一种铸锭炉的加热器，其具有第一电极、第二电极和位于第一电极和第二电极之间的热产生本体部，其中，热产生本体部与第一电极和第二电极分别电连接；第一电极和第二电极用于直接或间接地连接于电源以使在第一电极和第二电极之间的热产生本体部中形成电流；热产生本体部沿纵向和/或径向延伸以至少部分地包围坩埚的侧部和/或端部，其中，热产生本体部用于在纵向上和/或端部形成温度递变的热场。该加热器本身所占几何空间少，重量轻，能够产生梯度分布的温度场，能够提高长晶速度，此外，对于铸锭类单晶技术中保护籽晶及提供平面型固液界
2023-06-20
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一种侧加热器可移动的铸锭炉及其铸锭工艺.pdf
本发明属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种侧加热器可移动的铸锭炉及其铸锭工艺，包括炉体，位于炉体内的隔热笼，隔热笼内设置有通过护板围合并在其内有多晶硅的容腔；其特征在于：所述炉体内壁设置有搁置台，隔热笼搁置在搁置台上；所述隔热笼连接有提升装置，所述容腔的两侧设置有侧加热装置，所述提升装置和侧加热装置通过并联架同步连接于炉体外。本发明在铸锭的加热、熔化、长晶及退火阶段调节侧部加热器与石英坩埚的相对位置，来实现对多晶硅内部温度分布的有效控制，充分利用能量，并获得一个平坦的固液界面，从而实现节能、高效、高品质铸锭。
2023-06-17
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本发明公开了一种多晶铸锭炉加热器，包括用以对硅料加热的顶部加热器和侧部加热器，所述顶部加热器和所述侧部加热器配合形成容置坩埚及硅料的空间；还包括用以驱动所述顶部加热器运动的第一驱动机构和用以驱动所述侧部加热器运动的第二驱动机构，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的运动相互独立。上述多晶铸锭炉加热器便于控制形成有利于硅锭快速长晶成型的微凸热场，且对现有多晶铸锭炉改造较小，节约了改造成本。
2023-06-16
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本发明属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种侧部加热器可移动的铸锭炉及铸锭生产工艺。其装置包括炉体，炉体内有石英坩埚，石英坩埚的外壁由内向外依次环绕有侧部加热器和保温碳毡，石英坩埚上方固定安装有顶部加热器，石英坩埚下方安装有热交换块，侧部加热器沿环绕方向上等距安装有导热杆，导热杆的另一端与炉体外顶部的电极棒固定相连。其工艺包括装料抽真空，加氩气升压，加热使硅料熔化，晶体长晶，退火保温及冷却降温，加热阶段和硅料熔化阶段，侧部加热器在石英坩埚的竖直方向上做往复运动；长晶过程中，侧部加热器保持在石英坩埚中部；退火保温
2023-06-19
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