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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110822903A(43)申请公布日2020.02.21(21)申请号201911182187.0(22)申请日2019.11.27(71)申请人湖南红太阳光电科技有限公司地址410205湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号(72)发明人朱辉李明张春成成秋云王理正郭艳(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人戴玲(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D11/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种电加热炉体(57)摘要本发明公开了一种电加热炉体,包括炉壳、隔热层、内腔体和加热装置,内腔体设于炉壳内,隔热层设于内腔体与炉壳之间,炉壳的两端分别设有端盖和炉门,加热装置包括至少一组环形布置的加热丝,加热丝设于隔热层与内腔体之间,加热丝由一根铠装电热丝沿圆周方向S形布置形成,铠装电热丝的两端各连接一个加热器冷端,加热器冷端固定在端盖上,各组加热丝沿轴向依次布置。本发明将内腔体即反应腔体跟炉壳做成一体式的炉体结构,免去是石英管的搬运和安装环节,用铠装电热丝代替原有结构的整个炉丝,降低炉丝的热容,免去复杂的绕丝和卡绝缘子,将用于与铠装电热丝接线的加热器冷端安装在端盖上,不在炉壳的外圆周面上,避免搬运安装过程中碰断。CN110822903ACN110822903A权利要求书1/1页1.一种电加热炉体,其特征在于:包括炉壳(1)、隔热层(2)、内腔体(3)和加热装置,所述内腔体(3)设于炉壳(1)内,所述隔热层(2)设于内腔体(3)与炉壳(1)之间,所述炉壳(1)的两端分别设有端盖(4)和炉门(5),所述加热装置包括至少一组环形布置的加热丝(6),所述加热丝(6)设于隔热层(2)与内腔体(3)之间,所述加热丝(6)由一根铠装电热丝(61)沿圆周方向S形布置形成,所述铠装电热丝(61)的两端各连接一个加热器冷端(7),所述加热器冷端(7)固定在端盖(4)上,各组加热丝(6)沿轴向依次布置。2.根据权利要求1所述的电加热炉体,其特征在于:每组加热丝(6)配设一个热电偶(8),所述热电偶(8)固定在端盖(4)上。3.根据权利要求1所述的电加热炉体,其特征在于:所述铠装电热丝(61)包括不锈钢外壳(611)、绝缘体(612)和发热体(613),所述发热体(613)设于不锈钢外壳(611)内,并通过绝缘体(612)与不锈钢外壳(611)隔开。4.根据权利要求1至3任意一项所述的电加热炉体,其特征在于:所述隔热层(2)与内腔体(3)之间设有防止加热丝(6)移动的锁紧件。5.根据权利要求4所述的电加热炉体,其特征在于:所述锁紧件为螺栓(9),所述螺栓(9)依次穿设于隔热层(2)与内腔体(3)上,且隔热层(2)与内腔体(3)上均设有与螺栓(9)配合的螺纹孔。6.根据权利要求1至3任意一项所述的电加热炉体,其特征在于:所述隔热层(2)包括至少一层含镐棉毯。7.根据权利要求2所述的电加热炉体,其特征在于:各热电偶(8)在端盖(4)上呈环形布置,各加热器冷端(7)在端盖(4)上呈环形布置,且加热器冷端(7)位于热电偶(8)的外周。8.根据权利要求1至3任意一项所述的电加热炉体,其特征在于:所述内腔体(3)为石英腔体。9.根据权利要求1至3任意一项所述的电加热炉体,其特征在于:所述炉壳(1)两端设有密封法兰(11),所述端盖(4)与一端的密封法兰(11)连接,所述炉门(5)与另一端的密封法兰(11)连接。2CN110822903A说明书1/3页一种电加热炉体技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池的制备设备,尤其涉及一种电加热炉体。背景技术[0002]太阳能电池片生产过程中,有两个重要环节,表面镀膜扩散,通常是在管式PECVD和扩散炉内炉体完成。炉体(或者叫电加热器)是管式PECVD和扩散炉的核心部件,炉体普遍采用石英管作为工艺反应室,石英材料的易碎性导致石英管在运输、安装、调试、使用过程中极易破裂损坏,管口处的缺口和管身的裂纹等缺陷均会引起真空系统漏气,在使用过程中也需频繁更换石英管,影响生产效率、增加维护成本。[0003]现有技术中,炉体由外到内依次是:炉壳1、保温棉毯101、炉丝102。炉体两端有棉圈103,相邻的炉丝102之间用绝缘子104分开,引线排105通过焊接沿半径方向引出,在炉体内安装石英管,两端通过端盖4和炉门5密封就构成了反应腔体,通过炉丝加热,抽真空,石墨舟载电池片,在石英管进行镀膜工艺。[0004]然而,石英管真空反应室是通过密封法兰将径向密封圈与石英管压合密封,对密封法兰的加工精度、安装技巧的要求非常高。在安装调试过程中,非常依赖安装调试人员的经验,安装压合不到位可能造成漏气