一种单晶炉除尘过滤系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111111333A(43)申请公布日2020.05.08(21)申请号201911367050.2(22)申请日2019.12.26(71)申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司地址710065陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室(72)发明人潘浩(74)专利代理机构西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)61230代理人刘长春(51)Int.Cl.B01D46/00(2006.01)B01D46/48(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图4页(54)发明名称一种单晶炉除尘过滤系统(57)摘要本发明公开了一种单晶炉除尘过滤系统，包括除尘罐主体和真空泵组件，所述除尘罐主体与单晶炉连通，其中，所述除尘罐主体的内部设置有过滤单元，以过滤所述单晶炉排放的气体；所述除尘罐主体的下端设置有用于排放杂质颗粒的排放口；所述真空泵组件包括：抽真空管路和设置在所述抽真空管路上的真空泵；所述抽真空管路与所述除尘罐主体连通，所述真空泵组件用于在所述单晶炉进行拉晶时对所述除尘罐主体内腔进行抽真空并在所述单晶炉结束拉晶时对所述除尘罐主体内腔进行吹气。该除尘过滤系统能够有效地将沉积在过滤单元和罐体底部的氧化物等杂质颗粒排出，防止堵塞排气管道，改善除尘效果。CN111111333ACN111111333A权利要求书1/1页1.一种单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，包括除尘罐主体(1)和真空泵组件，所述除尘罐主体(1)与单晶炉(2)连通，其中，所述除尘罐主体(1)的内部设置有过滤单元(3)，以过滤所述单晶炉(2)排放的气体；所述除尘罐主体(1)的下端设置有用于排放杂质颗粒(15)的排放口(6)；所述真空泵组件包括：抽真空管路(4)和设置在所述抽真空管路(4)上的真空泵(5)；所述抽真空管路(4)与所述除尘罐主体(1)连通，所述真空泵组件用于在所述单晶炉(2)进行拉晶时对所述除尘罐主体(1)内腔进行抽真空并在所述单晶炉(2)结束拉晶时对所述除尘罐主体(1)内腔进行吹气。2.根据权利要求1所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述除尘罐主体(1)通过连接管路(7)与所述单晶炉(2)连通，并且所述连接管路(7)上设置有泄爆阀(8)。3.根据权利要求2所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述过滤单元(3)设置在所述除尘罐主体(1)的内腔上部，并且所述连接管路(7)与所述除尘罐主体(1)连接处的开口方向朝向所述过滤单元(3)。4.根据权利要求2所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述连接管路(7)上还设置有单向逆止阀(9)，用于防止所述除尘罐主体(1)内的气体进入所述单晶炉(2)。5.根据权利要求1所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述抽真空管路(4)包括主管路(41)以及与所述主管路(41)连通的第一支管(42)和第二支管(43)，其中，所述真空泵(5)设置在所述主管路(41)上。6.根据权利要求5所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述第一支管(42)连接至所述除尘罐主体(1)的上端侧壁，所述第一支管(42)上设置有第一阀门(10)；所述第二支管(43)连接至所述除尘罐主体(1)的下端侧壁，所述第二支管(43)上设置有第二阀门(11)。7.根据权利要求6所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述除尘罐主体(1)的下端侧壁上开设有吹气口(12)，所述第二支管(43)沿与所述除尘罐主体(1)外壁相切的方向与所述吹气口(12)连接。8.根据权利要求7所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述除尘罐主体(1)的内腔设置有螺旋状引流板(13)，所述螺旋状引流板(13)以螺旋盘绕的方式固定在所述除尘罐主体(1)的内侧壁，且所述螺旋状引流板(13)的下端设置在所述吹气口(12)的下侧。9.根据权利要求1所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述过滤单元(3)包括多个竖向平行排列的面板型过滤网(31)，所述面板型过滤网(31)均固定至所述除尘罐主体(1)的内侧壁。10.根据权利要求1至9中任一项所述的单晶炉除尘过滤系统，其特征在于，所述排放口(6)处设置有排气泵(14)。2CN111111333A说明书1/6页一种单晶炉除尘过滤系统技术领域[0001]本发明涉及晶圆制造技术领域，更具体地，涉及一种单晶炉除尘过滤系统。背景技术[0002]单晶生长时，对真空要求较高，因此每台单晶炉都配有独立的真空泵来抽真空。请参见图1，图1是一种现有的单晶炉除尘系统的结构示意图。该单晶炉除尘系统结构简单，包括相互连通的除尘罐主体1和真空泵5，除尘罐主体1的底部为聚料区域，在拉晶炉2进行单晶拉制的过程中，真空泵5不断向外抽取拉晶炉2内气体，并使气体等杂质从排放口6排出。[0003]然而，现有的单晶炉除