预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共12页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111490130A(43)申请公布日2020.08.04(21)申请号202010317202.4(22)申请日2020.04.21(71)申请人浙江正泰太阳能科技有限公司地址310051浙江省杭州市滨江区滨安路1335号申请人海宁正泰新能源科技有限公司(72)发明人马玉超廖晖何保杨单伟何胜徐伟智(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人田媛媛(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/068(2012.01)H01L31/0216(2014.01)权利要求书2页说明书5页附图4页(54)发明名称一种背钝化太阳能电池及其制备方法(57)摘要本申请公开了背钝化太阳能电池制备方法,包括获得太阳能电池的前驱体,前驱体包括由上至下依次层叠的隧穿层、发射极层、P型硅片;将前驱体置于链式或板式机台的炉腔,控制炉腔温度在170℃至190℃之间,并向炉腔内通入臭氧,在前驱体的下表面形成氧化硅层;在氧化硅层的下表面形成钝化层;在隧穿层的上表面形成第一减反层;在钝化层的下表面形成第二减反层,并对第二减反层进行开孔处理,得到处理后减反层;在第一减反层的上表面形成正面电极,并在处理后减反层的下表面形成背面电极。在制备氧化硅层时是用链式或板式热臭氧氧化法形成,有利于P型硅片的运输,且温度在170-190℃之间,致密度提升,能耗降低。本申请还提供一种电池。CN111490130ACN111490130A权利要求书1/2页1.一种背钝化太阳能电池制备方法,其特征在于,包括:获得太阳能电池的前驱体,所述前驱体包括由上至下依次层叠的隧穿层、发射极层、P型硅片;将所述前驱体置于链式机台或板式机台的炉腔,控制所述炉腔温度在170℃至190℃之间,并向所述炉腔内通入臭氧,在所述前驱体的下表面形成氧化硅层;在所述氧化硅层的下表面形成钝化层;在所述隧穿层的上表面形成第一减反层;在所述钝化层的下表面形成第二减反层,并对所述第二减反层进行开孔处理,得到处理后减反层;在所述第一减反层的上表面形成正面电极,并在所述处理后减反层的下表面形成背面电极。2.如权利要求1所述的背钝化太阳能电池制备方法,其特征在于,所述获得太阳能电池的前驱体包括:对所述P型硅片的上表面进行磷掺杂形成发射极层;去除磷扩散形成的磷硅玻璃,并对所述P型硅片的下表面进行抛光处理;在所述发射极层的上表面形成所述隧穿层。3.如权利要求2所述的背钝化太阳能电池制备方法,其特征在于,所述在所述发射极层的上表面形成所述隧穿层包括:利用高温热氧化法、硝酸氧化法、链式热臭氧氧化法、板式热臭氧氧化法、化学气相沉积法中的任一种方法,在所述发射极层的上表面形成所述隧穿层。4.如权利要求3所述的背钝化太阳能电池制备方法,其特征在于,在所述对所述P型硅片的上表面进行磷扩散形成发射极层之前,还包括:对所述P型硅片的所述上表面进行制绒。5.如权利要求4所述的背钝化太阳能电池制备方法,其特征在于,对所述P型硅片进行制绒的方法为湿法碱制绒或者反应离子刻蚀法。6.如权利要求5所述的背钝化太阳能电池制备方法,其特征在于,在所述去除磷扩散形成的磷硅玻璃之前,还包括:对所述发射极层进行选择性发射电极掺杂。7.如权利要求1所述的背钝化太阳能电池制备方法,其特征在于,所述在所述隧穿层的上表面形成第一减反层包括:利用等离子体增强化学气相沉积法,在所述隧穿层的上表面形成所述第一减反层。8.如权利要求1所述的背钝化太阳能电池制备方法,其特征在于,所述在所述氧化硅层的下表面形成钝化层包括:利用原子层沉积方法,在所述氧化硅层的下表面形成所述钝化层。9.一种背钝化太阳能电池,其特征在于,所述背钝化太阳能电池由如权利要求1至8任一项所述的背钝化太阳能电池制备方法制得,其中,所述背钝化太阳能电池包括由上至下依次层叠的正面电极、第一减反层、隧穿层、发射极层、P型硅片、氧化硅层、钝化层、处理后减反层、背面电极。10.如权利要求9所述的背钝化太阳能电池,其特征在于,所述氧化硅层的厚度取值范2CN111490130A权利要求书2/2页围为1纳米至30纳米,包括端点值。3CN111490130A说明书1/5页一种背钝化太阳能电池及其制备方法技术领域[0001]本申请涉及太阳能电池制备技术领域,特别是涉及一种背钝化太阳能电池及其制备方法。背景技术[0002]钝化发射极和背面电池(passivatedemitterandrearcontact,PERC)是光伏行业目前的主流产品,其在背面具有氧化铝和氮化硅叠层钝化结构,通过激光开孔形成金属局部接触,显著降低背表面电流复合密度,提升开路电压,另外,良好的背表面内反射机制增加了对光的吸收,有效提升短路电流。[0