石英支架及石英加热装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111733400A(43)申请公布日2020.10.02(21)申请号202010646128.0(22)申请日2020.07.07(71)申请人北京石墨烯技术研究院有限公司地址100094北京市海淀区永丰基地丰秀中路1号2幢1层01(72)发明人李学瑞张宝勋李炯利王旭东于公奇(74)专利代理机构北京华进京联知识产权代理有限公司11606代理人魏朋(51)Int.Cl.C23C16/26(2006.01)C23C16/54(2006.01)C01B32/186(2017.01)权利要求书2页说明书12页附图6页(54)发明名称石英支架及石英加热装置(57)摘要本申请涉及一种石英支架及石英加热装置。石英支架通过设置第一支架和第二支架，并在第一支架上设置至少三个第一滚环，在第二支架上设置三个第二滚环，第一滚环和第二滚环一一对应，且对应的第一滚环和第二滚环所在位置高相同。其中，第一滚环沿第一支架的延伸方向依次排布，相邻的第一滚环的位置高度不同。在上述结构中，由于第二滚环与对应的第一滚环的连线垂直于第一支架的延伸方向，且第一滚环和第二滚环可以支撑并传送待生长石墨的铜箔，可以避免铜箔与炉管接触，增加铜箔在炉管内的面积，从而增加单次生长石墨烯的面积。石英支架可以提高石墨烯生产效率，同时避免在炉管内的铜箔与石英管壁粘接造成石墨烯褶皱或撕裂，提高石墨烯的质量。CN111733400ACN111733400A权利要求书1/2页1.一种石英支架，其特征在于，包括：第一支架，设置有至少三个第一滚环，所述第一滚环沿所述第一支架的延伸方向依次排布，相邻的所述第一滚环的位置高度不同；以及第二支架，与所述第一支架相对设置，设置有至少三个第二滚环，所述第二滚环与所述第一滚环一一对应，所述第二滚环的位置与对应的所述第一滚环的位置高度相同，所述第二滚环与对应的所述第一滚环的连线垂直于所述第一支架的延伸方向；其中，所述第一滚环和所述第二滚环用于支撑并传送待生长石墨的铜箔，所述第一支架、所述第二支架、所述第一滚环和所述第二滚环均采用石英材料制成。2.根据权利要求1所述的石英支架，其特征在于，还包括支架本体，所述支架本体开设有一通槽，所述通槽的一个侧壁形成所述第一支架，另一个侧壁形成所述第二支架，所述第一支架的延伸方向为所述通槽的延伸方向。3.根据权利要求2所述的石英支架，其特征在于，所述第一支架开设有至少三个第一通孔，所述第一通孔沿所述通槽的延伸方向依次排布，相邻的所述第一通孔的位置高度不同，所述第二支架开设有至少三个第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔一一对应，所述第二通孔的位置与对应的所述第一通孔的位置的高度相同，所述第二通孔与对应的所述第一通孔的连线垂直于所述通槽的延伸方向；所述石英支架还包括多个滚环支杆，所述滚环支杆分别设置于每个所述第一通孔和每个所述第二通孔，所述第一滚环和所述第二滚环套设于所述滚环支杆，所述第一滚环和所述第二滚环用于沿所述滚环支杆转动。4.根据权利要求3所述的石英支架，其特征在于，所述第一滚环和/或所述第二滚环与所述滚环支杆接触的表面设置有半圆形凸起，所述半圆形凸起用于减小所述第一滚环和/或所述第二滚环与所述滚环支杆之间的摩擦。5.根据权利要求3所述的石英支架，其特征在于，所述滚环支杆包括支杆头部和支杆杆部，所述支杆头部靠近所述支杆杆部的一侧加工有第一环形凸台，所述第一环形凸台的外径小于所述支杆头部的直径且大于所述支杆杆部的直径；所述通槽中所述第一通孔和所述第二通孔所在位置的侧壁加工有第二环形凸台，所述第二环形凸台的外径与所述第一环形凸台的外径相同；所述第一滚环沿轴向的两端开分别开设有环形凹槽，所述环形凹槽的直径与所述第一环形凸台的外径相同，所述环形凹槽用于将所述第一滚环的两侧分别固定于所述第一环形凸台和所述第二环形凸台，所述第二滚环与所述第一滚环的结构相同。6.根据权利要求5所述的石英支架，其特征在于，所述支杆杆部与所述第一通孔和/或所述第二通孔为螺纹连接。7.根据权利要求2所述的石英支架，其特征在于，所述支架本体开设有两个安装凹槽，所述安装凹槽位于所述支架本体沿所述通槽延伸方向的两端，且位于所述支架本体远离所述通槽的一侧；所述石英支架系统还包括两个安装挡块，所述安装挡块的一端抵接于所述安装凹槽，所述安装挡块的另一端用于抵接于石英加热管，所述安装挡块和所述安装凹槽用于固定所述支架本体。8.根据权利要求2所述的石英支架，其特征在于，所述支架本体远离所述通槽的一侧加2CN111733400A权利要求书2/2页工有斜面，所述斜面用于将所述支架本体固定于石英加热管内壁。9.一种石英加热装置，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的石英支架和石英加热管，所述石英加