氧化镓单晶生长炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111893574A(43)申请公布日2020.11.06(21)申请号202010703744.5(22)申请日2020.07.21(71)申请人江苏利泷半导体科技有限公司地址221300江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区环城北路北侧、红旗路东侧(72)发明人肖迪(74)专利代理机构南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙)32326代理人李培(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)C30B29/16(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称氧化镓单晶生长炉(57)摘要本申请公开了氧化镓单晶生长炉，包括底座、脚轮、支撑板、防滑机构、调高机构以及夹持机构；其中所述底座底侧固定连接有脚轮，且底座右侧顶部贴合有支撑板；所述支撑板顶侧表面开设有导向槽，且支撑板顶侧表面中部开设有螺纹孔。该种氧化镓单晶生长炉设计新颖、结构简单、通过设置的防滑机构的作用下，便于将底座底部连接的脚轮脱离地面，通过推板将装置进行撑起，提高装置放置的稳定，满足工作者的使用需求，便于操作，在使用时，通过设置的夹持机构的作用下，便于通过夹板将放置在放置座表面的单晶生长炉主体进行稳定夹持，保障单晶生长炉主体稳定放置，避免单晶生长炉发生位移或者滑动情况，便于使用，适合推广使用。CN111893574ACN111893574A权利要求书1/2页1.氧化镓单晶生长炉，其特征在于：包括底座（1）、脚轮（2）、支撑板（7）、防滑机构、调高机构以及夹持机构；其中所述底座（1）底侧固定连接有脚轮（2），且底座（1）右侧顶部贴合有支撑板（7）；所述支撑板（7）顶侧表面开设有导向槽（701），且支撑板（7）顶侧表面中部开设有螺纹孔（702）；所述防滑机构包括第一电动推杆（4）、推板（3）以及吸盘（5），且第一电动推杆（4）固定连接在底座（1）底侧表面；所述第一电动推杆（4）输出端固定连接有推板（3），且推板（3）底侧固定连接有吸盘（5）；所述调高机构包括导向柱（10）、顶板（12）、电动机（11）、螺纹杆（13）、固定块（8）、放置座（6）以及固定螺栓（9），且导向柱（10）滑动贯穿在导向槽（701）中；所述导向柱（10）右侧设有螺纹连接在支撑板（7）表面的固定螺栓（9）；所述导向柱（10）底端与所述底座（1）右端顶部表面固定连接，且导向柱（10）顶端固定连接有顶板（12）；所述顶板（12）顶侧表面固定连接有电动机（11），且电动机（11）输出端连接有螺纹连接在螺纹孔（702）中的螺纹杆（13）；所述支撑板（7）底端左侧表面固定连接有固定块（8），且固定块（8）左侧固定连接有放置座（6）；所述放置座（6）顶侧的放置槽中设有单晶生长炉主体（21）；所述夹持机构包括连接块（14）、连接框（15）、第二电动推杆（16）、夹板（17）、限位块（18）、连接杆（20）以及连接筒（19），且连接块（14）固定连接在支撑板（7）顶端左侧表面；所述连接块（14）左侧固定连接有连接框（15），且连接框（15）相对的两侧表面螺纹连接有第二电动推杆（16）；所述第二电动推杆（16）输出端连接有夹板（17），且夹板（17）表面固定连接有与单晶生长炉主体（21）侧表面贴合的限位块（18）；所述连接框（15）相对的两侧表面固定镶嵌有连接筒（19），且连接筒（19）内滑动连接有与夹板（17）侧表面固定连接的连接杆（20）。2.根据权利要求1所述的氧化镓单晶生长炉，其特征在于：所述脚轮（2）数目为四个，四个所述脚轮（2）位于底座（1）四个拐角位置处。3.根据权利要求1所述的氧化镓单晶生长炉，其特征在于：所述吸盘（5）数目为若干个，若干个所述吸盘（5）在推板（3）底侧表面均匀分布。4.根据权利要求1所述的氧化镓单晶生长炉，其特征在于：所述连接杆（20）数目为两个，两个所述连接杆（20）关于螺纹杆（13）对称分布。5.根据权利要求1所述的氧化镓单晶生长炉，其特征在于：所述固定螺栓（9）与连接杆（20）数目相等，且固定螺栓（9）末端贯穿支撑板（7）顶侧表面与导向柱（10）表面紧密贴合。6.根据权利要求1所述的氧化镓单晶生长炉，其特征在于：所述连接框（15）横截面呈U型结构，所述连接框（15）右侧通过两个对称放置的连接块（14）与支撑板（7）左侧表面固定连接。7.根据权利要求1所述的氧化镓单晶生长炉，其特征在于：所述连接框（15）一侧表面固定连接有两个连接筒（19），所述连接筒（19）关于第二电动推杆（16）对称分布。8.根据权利要求1所述的氧化镓单晶生长炉，其特征在于：所述夹板（17）数目为两个，所述夹板（17）截面呈圆弧形结构，且夹板（17）关于单晶生长炉主体（21）对称分布。9.根据权利要求1所述的氧化镓