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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112077089A(43)申请公布日2020.12.15(21)申请号202010929818.7B08B9/34(2006.01)(22)申请日2020.09.07B08B3/08(2006.01)B08B3/14(2006.01)(71)申请人哈尔滨科友半导体产业装备与技术B08B13/00(2006.01)研究院有限公司地址150000黑龙江省哈尔滨市南岗区哈西大街与学府四道街交汇处第40栋-1-2层12号(72)发明人不公告发明人(74)专利代理机构哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)23209代理人赵君(51)Int.Cl.B08B9/08(2006.01)B08B9/087(2006.01)B08B9/093(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种可连续高效清洗炉体内壁的装置及方法(57)摘要一种可连续高效清洗炉体内壁的装置及方法,属于晶体生长领域。本发明包括出液装置、密封收集装置和清洁头,清洁头包覆安装在出液装置顶部,密封收集装置滑动安装在出液装置中部,出液装置与密封收集装置之间设置有密封圈。本发明研发目的是为了解决坩埚使用后更高效清洁的同时,保障的某些挥发性成分不会对人体产生危害的问题,本发明的一种可连续高效清洗炉体内壁的装置及方法,结构简单、设计巧妙、拆装方便、操作便利、密封性好、组装牢固,适于推广使用。CN112077089ACN112077089A权利要求书1/1页1.一种可连续高效清洗炉体内壁的装置,其特征在于:包括出液装置(1)、密封收集装置(2)和清洁头(3),清洁头(3)包覆安装在出液装置(1)顶部,密封收集装置(2)滑动安装在出液装置(1)中部,出液装置(1)与密封收集装置(2)之间设置有密封圈(4)。2.根据权利要求1所述的一种可连续高效清洗炉体内壁的装置,其特征在于:所述出液装置(1)包括出液盘(11)、旋转杆(12)和储液罐(13),旋转杆(12)上端安装有出液盘(11),出液盘(11)上加工有多个出液孔(111),旋转杆(12)内部加工有引流通道(121),旋转杆(12)一侧安装有储液罐(13),储液罐(13)通过旋转杆(12)内部的引流通道(121)与出液盘(11)上的出液孔(111)连通,储液罐(13)上加工有加压口(131)和加液口(132)。3.根据权利要求2所述的一种可连续高效清洗炉体内壁的装置,其特征在于:所述密封收集装置(2)包括废液盘(21)、密封套(22)和废液引流管(23),废液盘(21)外侧安装有密封套(22),废液盘(21)中心处加工有限位通孔(212),旋转杆(12)安装在限位通孔(212)内,旋转杆(12)与限位通孔(212)之间设置有密封圈(4),废液盘(21)上加工有废液引流槽(211),废液引流槽(211)与废液引流管(23)连通安装。4.根据权利要求1所述的一种可连续高效清洗炉体内壁的装置,其特征在于:所述清洁头(3)为无尘布,无尘布包裹在出液盘(11)的外部。5.根据权利要求1所述的一种可连续高效清洗炉体内壁的装置,其特征在于:还包括挡液板(5),挡液板(5)安装在出液装置(1)上。6.根据权利要求3所述的一种可连续高效清洗炉体内壁的装置,其特征在于:所述出液盘(11)、旋转杆(12)、储液罐(13)和废液盘(21)材质为聚四氟乙烯。7.一种可连续高效清洗炉体内壁的方法,基于权利要求1-5所诉的一种可连续高效清洗炉体内壁的装置,其特征在于:步骤a,将清洁头(3)放置在待清洗炉体(6)的内部,密封收集装置(2)紧密卡装在待清洗炉体(6)的炉口处;步骤b,废液引流管(23)末端与废液回收处理装置相连;步骤c,通过储液罐(13)上的加液口(132)向储液罐(13)内部加入清洁试剂,通过储液罐(13)上的加压口(131)向出液装置(1)内部输送压力;步骤d,清洁试剂在压力的作用下,从出液盘(11)的出液孔(111)流出,浸湿附着在清洁头(3)上;步骤e,旋转并上下移动旋转杆(12),对待清洗炉体(6)的内壁进行摩擦清洁,摩擦清洁过程中使用后的清洁试剂及污染物从废液盘(21)内部流出,通过废液引流管(23)流入废液回收处理装置内进行统一回收处理;步骤f,待清洗炉体(6)内部清洁完成后,将出液装置(1)、密封收集装置(2)和清洁头(3)从待清洗炉体(6)内部移除,移除后用丙酮擦拭待清洗炉体(6)内部,随后用清水冲洗,冲洗后用无水乙醇进行清理,清理后用清水冲洗;步骤g,用干燥的无尘布将冲洗后的待清洗炉体(6)内部进行擦干,以免留有水渍。2CN112077089A说明书1/4页一种可连续高效清洗炉体内壁的装置及方法技术领域[0001]本发明涉及一种可连续高