用于将籽晶旋转杆与坩埚旋转基座对中的方法及系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112160023A(43)申请公布日2021.01.01(21)申请号202011073670.8(22)申请日2020.10.09(71)申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司地址710065陕西省西安市高新区西沣南路1888号申请人西安奕斯伟材料技术有限公司(72)发明人孙介楠朴星昱杨文武(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)61253代理人李斌栋姚勇政(51)Int.Cl.C30B15/30(2006.01)C30B15/26(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书3页说明书7页附图9页(54)发明名称用于将籽晶旋转杆与坩埚旋转基座对中的方法及系统(57)摘要本发明实施例公开了一种用于将拉晶炉中的籽晶旋转杆与坩埚旋转基座对中的方法及系统，该方法包括：使设置在籽晶旋转杆上的第一激光器向下发射第一颜色的第一激光束，以在水平地设置在籽晶旋转杆与坩埚旋转基座之间的透明板上形成第一光斑；使设置在坩埚旋转基座上的第二激光器向上发射第二颜色的第二激光束，以在透明板上形成第二光斑；相应于第一激光器位于籽晶旋转杆的旋转中心处并且第一激光束在竖直方向上以及第二激光器位于坩埚旋转基座的旋转中心处并且第二激光束在竖直方向上，检测第一光斑与第二光斑是否重合；若是则确认籽晶旋转杆与坩埚旋转基座对中；若否则调整籽晶旋转杆相对于坩埚旋转基座的位置，使得第一光斑与第二光斑重合。CN112160023ACN112160023A权利要求书1/3页1.一种用于将拉晶炉中的籽晶旋转杆与坩埚旋转基座对中的方法，其特征在于，包括：使设置在所述籽晶旋转杆上的第一激光器向下发射第一颜色的第一激光束，以在水平地设置在所述籽晶旋转杆与所述坩埚旋转基座之间的透明板上形成第一光斑；使设置在所述坩埚旋转基座上的第二激光器向上发射第二颜色的第二激光束，以在所述透明板上形成第二光斑，其中，所述第一颜色和所述第二颜色能够在视觉上明显区分；相应于所述第一激光器位于所述籽晶旋转杆的旋转中心处并且所述第一激光器沿竖直方向发射所述第一激光束以及所述第二激光器位于所述坩埚旋转基座的旋转中心处并且所述第二激光器沿竖直方向发射所述第二激光束，检测所述第一光斑是否与所述第二光斑重合；若是，则确认所述籽晶旋转杆与所述坩埚旋转基座对中，若否，则调整所述籽晶旋转杆相对于所述坩埚旋转基座的位置，使得所述第一光斑与所述第二光斑重合。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：使所述透明板沿竖直方向移动；检测所述第一光斑是否在所述透明板上平移；若是，则调整所述第一激光器发射所述第一激光束的方向使得所述第一光斑不在所述透明板上平移，若否，则确认所述第一激光器沿竖直方向发射所述第一激光束。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：当所述籽晶旋转杆旋转时检测所述第一光斑是否在所述透明板上沿圆周轨迹移动；若是，则调整所述第一激光器在所述籽晶旋转杆上的位置使得所述第一光斑不在所述透明板上沿圆周轨迹移动，若否，则确认所述第一激光器位于所述籽晶旋转杆的旋转中心处。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：使所述透明板沿竖直方向移动；检测所述第二光斑是否在所述透明板上平移；若是，则调整所述第二激光器发射所述第二激光束的方向使得所述第二光斑不在所述透明板上平移，若否，则确认所述第二激光器沿竖直方向发射所述第二激光束。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：当所述坩埚旋转基座旋转时检测所述第二光斑是否在所述透明板上沿圆周轨迹移动；若是，则调整所述第二激光器在所述坩埚旋转基座上的位置使得所述第二光斑不在所述透明板上沿圆周轨迹移动，若否，则确认所述第二激光器位于所述坩埚旋转基座的旋转中心处。6.一种用于将拉晶炉中的籽晶旋转杆与坩埚旋转基座对中的系统，其特征在于，包括：设置在所述籽晶旋转杆上的第一激光器，配置为向下发射第一颜色的第一激光束；设置在所述坩埚旋转基座上的第二激光器，配置为向上发射第二颜色的第二激光束，其中，所述第一颜色和所述第二颜色能够在视觉上明显区分；水平地设置在所述籽晶旋转杆与所述坩埚旋转基座之间的透明板，其中，所述第一激光束在所述透明板上形成第一光斑，所述第二激光束在所述透明板上形成第二光斑；检测单元；确认单元；2CN112160023A权利要求书2/3页第一调整单元，其中，所述检测单元配置为相应于所述第一激光器位于所述籽晶旋转杆的旋转中心处并且所述第一激光器沿竖直方向发射所述第一激光束以及所述第二激光器位于所述坩埚旋转基座的旋转中心处并且所述第二激光器沿竖直方向发射所述第二激光束，检测所述第一光斑与所述第二光斑是否重合，其中，所述确认单元